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题名新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究
被引量：5
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作者
李兰
董典红
刘铮
邓军
徐晨
邹德恕
沈光地
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机构
北京工业大学电子信息和控制工程学院北京市光电子技术实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2003年第6期651-654,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(69976004)
北京市自然科学基金资助项目(4982005)
北京市教委资助项目(KM200310005009)
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文摘
基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量。
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关键词
微机械
红外探测器
湿法腐蚀
epw腐蚀液
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Keywords
Micro-machinery
IR detector
Wet etching
epw etching juice
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分类号
TN304.05
[电子电信—物理电子学]
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题名EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜研究
被引量：1
- 2
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作者
赵晓锋
温殿忠
王天琦
任华
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机构
黑龙江大学电子工程黑龙江省高校重点实验室
黑龙江大学集成电路重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1430-1433,共4页
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基金
黑龙江大学青年科学基金项目资助(200514)
黑龙江大学集成电路重点实验室项目资助
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文摘
研究了〈100〉单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜,在EPW腐蚀液中因〈100〉单晶硅腐蚀速率各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜.基于EPW腐蚀液中〈100〉单晶硅存在严重凸角削角,采用带锯齿(9个、20个、36个)结构的齿轮掩膜图形腐蚀制作近似圆形硅膜,通过采用SEM观察,随腐蚀时间增加,圆形掩膜EPW腐蚀后硅膜为近似方形,而带有36个锯齿结构的齿轮掩膜腐蚀后硅膜近似圆形.结果表明,利用掩膜锯齿结构在EPW腐蚀液中存在凸角削角现象,能够实现近似圆形硅膜的制作.
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关键词
epw腐蚀液
圆形硅膜
凸角削角
各向异性腐蚀
MEMS
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Keywords
epw etchant
circular silicon membrane
convex corner and short corner
anisotropic etching
MEMS
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分类号
TN43
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于MEMS技术U形悬臂梁制作工艺研究及特性模拟
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作者
刘焱
李日东
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《水利科技与经济》
2019年第8期81-84,共4页
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文摘
针对在〈100〉硅片上采用EPW各向异性腐蚀液制作U形悬臂梁工艺进行研究。因各向异性腐蚀使(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使U形悬臂梁凸角掩模下的硅受到侧向腐蚀。对(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面进行掩模补偿,实验制作出300μm×1200μm的U形悬臂梁。在此基础上,对相同尺寸U形悬臂梁和矩形悬臂梁采用ANSYS软件进行特性模拟,给出其应力分布的模拟结果。
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关键词
epw腐蚀液
U形悬臂梁
微电子机械系统
ANSYS软件
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Keywords
epw corrosive liquid
U-shape cantilever beam
micro-electromechanical systems(MEMS)
ANSYS software
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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