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等离子体溅射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究
被引量：
1
1
作者
赵龙章
梁荣庆
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第3期52-54,共3页
提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法 (ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜 ,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性。该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点 。
关键词
ecr
等离子体
石英晶体
频率偏离
液体黏度测量
下载PDF
职称材料
微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO薄膜
2
作者
刘一声
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992年第2期41-46,共6页
低温沉积薄膜技术在制作先进的微电子学器件和集成多功能传感器方面非常重要。最近,应用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法沉积成高性能、高沉积速率和低基片温度的ZnO薄膜。本文叙述应用微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO膜的制法及其...
低温沉积薄膜技术在制作先进的微电子学器件和集成多功能传感器方面非常重要。最近,应用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法沉积成高性能、高沉积速率和低基片温度的ZnO薄膜。本文叙述应用微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO膜的制法及其性能。
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关键词
ZNO薄膜
等离子体溅射
沉积
制备
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职称材料
高电荷态ECR离子源的金属离子产生
被引量：
1
3
作者
曹云
马雷
+3 位作者
孙良亭
张子民
赵红卫
马保华
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期26-29,共4页
简单介绍了采用炉子加热、挥发性金属化合物和溅射产生ECR离子源的金属离子的3种方法和实验结果,主要研究了铜、锌、镍和铁等多种电荷态离子的产生.对3种方法分别进行了探讨.
关键词
ecr
离子源
加热炉
挥发性金属化合物法
高电荷态
等离子体溅射法
重离子加速器
放射性束产生
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职称材料
题名
等离子体溅射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究
被引量：
1
1
作者
赵龙章
梁荣庆
机构
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第3期52-54,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目 (1 98750 55) (1 999年~ 2 0 0 2年 )
文摘
提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法 (ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜 ,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性。该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点 。
关键词
ecr
等离子体
石英晶体
频率偏离
液体黏度测量
Keywords
ecr
plasma
sputtering
Quartz
Crystal
Frequency
Deviation
分类号
TH836 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO薄膜
2
作者
刘一声
机构
四川压电与声光技术研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992年第2期41-46,共6页
文摘
低温沉积薄膜技术在制作先进的微电子学器件和集成多功能传感器方面非常重要。最近,应用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法沉积成高性能、高沉积速率和低基片温度的ZnO薄膜。本文叙述应用微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO膜的制法及其性能。
关键词
ZNO薄膜
等离子体溅射
沉积
制备
Keywords
ZnO
thin
film,
ecr
plasma
,
microwave
plasma
sputtering
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高电荷态ECR离子源的金属离子产生
被引量：
1
3
作者
曹云
马雷
孙良亭
张子民
赵红卫
马保华
机构
中国科学院近物理研究所
出处
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期26-29,共4页
基金
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX1 90)
国家杰出青年科学基金资助项目(10225523)~~
文摘
简单介绍了采用炉子加热、挥发性金属化合物和溅射产生ECR离子源的金属离子的3种方法和实验结果,主要研究了铜、锌、镍和铁等多种电荷态离子的产生.对3种方法分别进行了探讨.
关键词
ecr
离子源
加热炉
挥发性金属化合物法
高电荷态
等离子体溅射法
重离子加速器
放射性束产生
Keywords
ecr
ion
source
heating
oven
metallic
ion
form
volatile
compound
highly
charged
state
plasma
sputter
.
分类号
TL503.3 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体溅射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究
赵龙章
梁荣庆
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002
1
下载PDF
职称材料
2
微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO薄膜
刘一声
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992
0
下载PDF
职称材料
3
高电荷态ECR离子源的金属离子产生
曹云
马雷
孙良亭
张子民
赵红卫
马保华
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
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