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金刚刀划片过程中的崩缺问题应对方案 被引量:3
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作者 肖海滨 《中国集成电路》 2014年第3期57-60,共4页
本文针对金刚刀划片崩缺问题,对比双刀划片和单刀划片试验,分析了崩缺产生的原因,提出了窄划片槽晶圆金刚刀划片崩缺问题的应对方案。金刚刀划片采用双刀划片降低崩缺风险优于单刀划片工艺,双刀划片刀宽度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深... 本文针对金刚刀划片崩缺问题,对比双刀划片和单刀划片试验,分析了崩缺产生的原因,提出了窄划片槽晶圆金刚刀划片崩缺问题的应对方案。金刚刀划片采用双刀划片降低崩缺风险优于单刀划片工艺,双刀划片刀宽度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深1/3厚度有利于降低崩缺风险。 展开更多
关键词 金刚刀 划片 崩缺
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金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模 被引量:3
2
作者 马岩 袁慧珠 +1 位作者 鞠仁忠 孙家全 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第5期74-77,共4页
介绍了硅片加工过程中三种划片方法。对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图。通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,... 介绍了硅片加工过程中三种划片方法。对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图。通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步基于参数化与智能化的划片机设计打下基础。 展开更多
关键词 金刚石砂轮刀片 硅片划切 有限元分析 三维建模
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划片机金刚石砂轮刀片性能研究 被引量:2
3
作者 马岩 袁惠珠 +1 位作者 张明明 孙家全 《电子工业专用设备》 2008年第11期30-32,37,共4页
以B1A系列砂轮刀片为例,对金刚石砂轮刀片进行力学分析与强度计算,并利用有限元分析软件ANSYS建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力云图和变形图。通过仿真分析,砂轮刀片孔壁处所受切向应力影响远大于径向应力,砂轮刀片的最大应力发生... 以B1A系列砂轮刀片为例,对金刚石砂轮刀片进行力学分析与强度计算,并利用有限元分析软件ANSYS建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力云图和变形图。通过仿真分析,砂轮刀片孔壁处所受切向应力影响远大于径向应力,砂轮刀片的最大应力发生在孔的内壁处,而在砂轮外圆处切向应力较小。通过输入不同转速对比,外圆切向应力随转速提高而增加,破坏趋势也明显。 展开更多
关键词 金刚石砂轮刀片 力学分析 ANSYS有限元分析
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镀液杂质对内圆刀片镍-金刚石复合镀层的影响 被引量:2
4
作者 李志南 《电镀与精饰》 CAS 1998年第2期35-37,共3页
研究了一些有害杂质对金刚石内圆刀片质量的影响,结果表明,把有害杂质控制在复合电镀的工艺允许范围内,可以镀制出优异的复合镀层,稳定了刀片的质量。
关键词 刀片 复合镀层 镀层 镀液 镀镍 刀具 镀金刚石
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刀头偏摆对多层焊接陶瓷锯片拖尾的影响
5
作者 邹新光 刘一波 +1 位作者 梁甫 崔博超 《超硬材料工程》 CAS 2023年第6期25-28,共4页
通过分析多层焊接陶瓷锯片的刀头偏摆影响因素,验证了刀头偏摆对陶瓷岩板片的影响。刀头偏摆的大小与基体偏摆、两侧偏移对称度、刀头平行度相关,而拖尾现象与刀头偏摆的大小、砖的宽度相关。最后通过试验验证了在固定砖宽的情况下,刀... 通过分析多层焊接陶瓷锯片的刀头偏摆影响因素,验证了刀头偏摆对陶瓷岩板片的影响。刀头偏摆的大小与基体偏摆、两侧偏移对称度、刀头平行度相关,而拖尾现象与刀头偏摆的大小、砖的宽度相关。最后通过试验验证了在固定砖宽的情况下,刀头偏摆的大小与拖尾现象的关系,验证了在固定刀头偏摆的情况下,随着砖的宽度增大,拖尾现象减小。 展开更多
关键词 金刚石锯片 多层焊接 陶瓷片 拖尾 偏摆
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金刚石锯片中不同生产方式铁粉的性能研究
6
作者 李运海 罗文来 +1 位作者 王智慧 黄静翎 《大众科技》 2012年第1期96-98,共3页
文章对不同生产方式铁粉的粒度进行分析对比,制作空白胎体进行机械性能对比,制作样片进行室内锯切性能对比。结果显示空白胎体中电解Fe粉显示脆性,微米铁粉和羰基铁粉显示韧性;电解铁粉的烧结硬度比微米铁粉和羰基铁粉高;做成锯片锯切... 文章对不同生产方式铁粉的粒度进行分析对比,制作空白胎体进行机械性能对比,制作样片进行室内锯切性能对比。结果显示空白胎体中电解Fe粉显示脆性,微米铁粉和羰基铁粉显示韧性;电解铁粉的烧结硬度比微米铁粉和羰基铁粉高;做成锯片锯切混凝土对比,锋利度的排序是:Basf羰基Fe粉>国产羰基Fe粉>国产微米Fe粉>电解Fe粉;寿命排序为:国产微米Fe粉>国产羰基Fe粉>Basf羰基Fe粉>电解铁粉。 展开更多
关键词 电解铁粉 微米铁粉 羰基铁粉 金刚石锯片 锯片性能
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金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模
7
作者 马岩 袁慧珠 +2 位作者 鞠仁忠 孙家全 夏宗群 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期274-276,共3页
介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀... 介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步进行参数化设计打下基础。 展开更多
关键词 金刚石砂轮刀片 划切过程 有限元分析 三维建模
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金刚石砂轮刀片划切过程仿真研究
8
作者 马岩 孙家全 +1 位作者 袁慧珠 王国伟 《新技术新工艺》 2010年第1期53-55,共3页
对金刚石砂轮刀片进行力学分析,得到砂轮刀片切向应力与径向应力。应用有限元分析软件ANSYS建立砂轮刀片模型,分别对应8000~32000r/min不同转速下的砂轮刀片,应用第三强度理论,得到不同转速下砂轮刀片的等效应力云图。由仿真结果可以看... 对金刚石砂轮刀片进行力学分析,得到砂轮刀片切向应力与径向应力。应用有限元分析软件ANSYS建立砂轮刀片模型,分别对应8000~32000r/min不同转速下的砂轮刀片,应用第三强度理论,得到不同转速下砂轮刀片的等效应力云图。由仿真结果可以看出,砂轮刀片切向应力大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处,随着转速的提高,砂轮刀片的最大等效应力呈增长趋势。本文为研究划切时金刚石砂轮刀片的性能打下基础。 展开更多
关键词 金刚石砂轮刀片 等效应力 ANSYS 仿真
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超声振动对单晶硅锯切比能的影响 被引量:2
9
作者 陈剑彬 沈剑云 +1 位作者 王江全 徐西鹏 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期62-68,共7页
超声振动能很好地改善硬脆性材料的加工性能,为了探索超声振动锯切比能对单晶硅的影响,本文采用薄金刚石锯片,在有无超声振动的条件下对单晶硅进行锯切实验.实验结果表明:超声振动使锯切材料过程中的比能大幅度降低;2种锯切方式下锯切... 超声振动能很好地改善硬脆性材料的加工性能,为了探索超声振动锯切比能对单晶硅的影响,本文采用薄金刚石锯片,在有无超声振动的条件下对单晶硅进行锯切实验.实验结果表明:超声振动使锯切材料过程中的比能大幅度降低;2种锯切方式下锯切比能都随着单颗磨粒最大锯切厚度的增大而降低,但普通锯切方式下锯切比能呈幂指数递减趋势,而在超声振动的作用下比能变化趋势转变为良好的线性递减;并且单晶硅材料的去除方式由普通锯切中塑性去除为主导转变为脆性断裂去除,其破碎方式属于微破碎,趋于粉末状破碎,由此在不会对工件表面产生严重损伤的同时使材料去除所消耗的能量得到了有效降低.同时,超声振动使得锯片上的磨粒对单晶硅表面的高速冲击作用,使单晶硅产生大量微裂纹,对单晶硅的微小剥离起到很大作用.因此,超声振动在单晶硅材料的加工中有着很大的发展前景. 展开更多
关键词 超声振动 硬脆材料 金刚石薄锯片 单晶硅 锯切比能
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金刚石锯片节块成分的改进及应用 被引量:1
10
作者 陈建亚 《石材》 2004年第11期15-17,共3页
本文提出采用Fe-C化合物(球墨铸铁粉);加工经200目过筛取代目前以铁粉为主体的金属结合剂制备金刚石锯片,从而解决铁粉在春天梅雨季节易氧化,造成胎体强度极大下降,失去对金刚石把持力,使金刚石锯片工作效率受到极大影响的问题。并探讨... 本文提出采用Fe-C化合物(球墨铸铁粉);加工经200目过筛取代目前以铁粉为主体的金属结合剂制备金刚石锯片,从而解决铁粉在春天梅雨季节易氧化,造成胎体强度极大下降,失去对金刚石把持力,使金刚石锯片工作效率受到极大影响的问题。并探讨了节块中各成分对产品的使用效率和产品性能的影响。 展开更多
关键词 节块 铁粉 成分 取代 胎体 金刚石锯片 制备 球墨铸铁 金属结合剂 强度
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锯切线速度对FeCuCo基结合剂金刚石绳锯性能影响
11
作者 刘志环 于盛睿 +3 位作者 廖才超 娄晶 陈浚阳 翟振鑫 《超硬材料工程》 CAS 2022年第6期1-8,共8页
采用FeCuCo基结合剂为原料和优化的制作工艺,以金刚石参数设计理论为依据,根据被切割石材的基本特征,制作出了金刚石绳锯进行石材矿山切割实验,研究绳锯线速度Vs对FeCuCo基结合剂金刚石绳锯锯切性能的影响规律。研究结果表明:不同线速度... 采用FeCuCo基结合剂为原料和优化的制作工艺,以金刚石参数设计理论为依据,根据被切割石材的基本特征,制作出了金刚石绳锯进行石材矿山切割实验,研究绳锯线速度Vs对FeCuCo基结合剂金刚石绳锯锯切性能的影响规律。研究结果表明:不同线速度时,随着锯切的进行和串珠直径的逐渐消耗,绳锯锯切效率逐渐提高,而工具理论寿命逐渐降低;随着锯切线速度的增加,绳锯串珠表面单颗金刚石平均切削厚度hc值呈逐渐减小的趋势;随着锯切线速度降低,绳锯串珠表面完整态金刚石出刃高度平均值呈逐渐升高的趋势,且锯切线速度越小,绳锯串珠表面金刚石出刃高度越大;随着锯切线速度的提高,岩屑D50粒度呈现逐渐降低的趋势,且明显远大于单颗金刚石平均切削厚度hc值,这是由于金刚石颗粒的切削机理属于有裂纹扩展的“体积破碎”方式产生的。 展开更多
关键词 FeCoCu 金刚石绳锯 锯切线速度 切削厚度 出刃高度
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金刚石锯片焊接技术的研究 被引量:25
12
作者 龙伟民 朱坤 +3 位作者 乔培新 耿桂华 曾大本 王海滨 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2002年第3期27-31,共5页
本文简要回顾了金刚石锯片焊接的发展历程 ,较详尽的综述了目前流行的几种焊接方法 ,并对各种焊接方法的特点进行了评价。主要讨论了钎焊技术的应用特点 ,研究了钎焊工艺过程对焊接结果的影响 ,指出了钎焊温度、保温时间与接头抗剪强度... 本文简要回顾了金刚石锯片焊接的发展历程 ,较详尽的综述了目前流行的几种焊接方法 ,并对各种焊接方法的特点进行了评价。主要讨论了钎焊技术的应用特点 ,研究了钎焊工艺过程对焊接结果的影响 ,指出了钎焊温度、保温时间与接头抗剪强度的关系 ,简要阐述了一系列专用钎料的性能以及选择要点。本文认为进一步改进金刚石锯片焊接用钎料是满足目前工业生产的主要手段 ,加强激光焊接技术的研究是实现金刚石锯片焊接强度跨越式发展的重要措施。 展开更多
关键词 金刚石锯片 钎焊 激光焊接 高温强度 润湿性
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金刚石锯片使用性能影响因素系统分析 被引量:17
13
作者 王秦生 宋诚 左宏森 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2001年第5期40-44,共5页
本文根据试验研究结果和生产实践经验 ,把石材加工用金刚石圆锯片的性能及使用效果的诸多影响因素视为系统工程问题 ,分别从原材料、制造工艺与装备、锯片的合理选择与正确使用等各个方面进行了系统分析 ,着重分析了金刚石和金属结合剂... 本文根据试验研究结果和生产实践经验 ,把石材加工用金刚石圆锯片的性能及使用效果的诸多影响因素视为系统工程问题 ,分别从原材料、制造工艺与装备、锯片的合理选择与正确使用等各个方面进行了系统分析 ,着重分析了金刚石和金属结合剂对锯片使用性能的影响规律 ,指出了存在的问题和改进的途径 ,对提高锯片的生产和使用的技术水平具有重要意义。 展开更多
关键词 金刚石锯片 使用性能 影响因素 石材加工
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金刚石圆锯片基体及锯齿结构的特性分析(一)——防侧面磨损、防应力变形、改善冷却性能的锯片结构 被引量:10
14
作者 胡映宁 王成勇 +1 位作者 魏昕 房延利 《工具技术》 北大核心 2001年第7期21-25,共5页
金刚石圆锯片是金刚石类工具中消耗量最大的刀具 ,优化金刚石圆锯片基体及锯齿结构是改善锯切效果的重要途径。综合介绍了国内外优化金刚石圆锯片基体及锯齿结构的有关成果 ,分析了各种防侧面磨损、防应力变形、改善冷却性能的锯片基体... 金刚石圆锯片是金刚石类工具中消耗量最大的刀具 ,优化金刚石圆锯片基体及锯齿结构是改善锯切效果的重要途径。综合介绍了国内外优化金刚石圆锯片基体及锯齿结构的有关成果 ,分析了各种防侧面磨损、防应力变形、改善冷却性能的锯片基体及锯齿结构的特点。 展开更多
关键词 金刚石圆锯片 基体结构 锯齿结构 磨损 应力变形
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金刚石圆锯片基体及锯齿结构的特性分析(二)——干切削、抗冲击、低噪音的锯片结构 被引量:13
15
作者 胡映宁 王成勇 +1 位作者 魏昕 房延利 《工具技术》 北大核心 2001年第8期10-15,共6页
综合介绍了国内外优化金刚石圆锯片基体及锯齿结构的有关成果 ,分析了各种用于干切削、抗冲击和低噪音的锯片基体及锯齿结构的特点及存在问题 ,并探讨了优化基体及锯齿结构的研究方向。
关键词 金刚石圆锯片 基体结构 锯齿结构 干切削 抗冲击 低噪音
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金刚石圆锯片振动与噪声机理及其减振降噪技术研究综述 被引量:16
16
作者 田永军 孙爽 +1 位作者 张翔宇 段国林 《机械设计》 CSCD 北大核心 2020年第3期1-13,共13页
回顾了圆锯片振动与噪声领域的研究进展,探讨了金刚石圆锯片固有特性及锯切稳定性对锯片振动特性的影响等相关问题,综述了圆锯片气动噪声、锯切噪声产生机理;在减振降噪技术评述中,针对锯切参数优化技术、阻尼减振降噪技术、自适应控制... 回顾了圆锯片振动与噪声领域的研究进展,探讨了金刚石圆锯片固有特性及锯切稳定性对锯片振动特性的影响等相关问题,综述了圆锯片气动噪声、锯切噪声产生机理;在减振降噪技术评述中,针对锯切参数优化技术、阻尼减振降噪技术、自适应控制技术、锯片结构尺寸优化技术和基体拓扑优化技术及其机理进行详细的综述;最后,梳理了金刚石圆锯片振动与噪声研究领域中依旧存在的问题和可能的解决方案。 展开更多
关键词 金刚石圆锯片 振动 噪声 减振降噪
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金刚石锯片使用性能与结合剂之间的关系 被引量:15
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作者 王秦生 左宏森 《郑州工业高等专科学校学报》 2002年第3期1-3,共3页
加工石材金刚石锯片的性能,既取决于金刚石,更取决于由金刚石与结合剂适当配合而构成的复合材料的整体性能。不同结合剂的类型,成份配比,相对密度,力学性能,均有着自身的特点和自身的适用范围。
关键词 金刚石锯片 使用性能 金属结合剂
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金刚石圆锯片的动态特性研究 被引量:16
18
作者 赵民 郎希影 周青 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第4期761-765,共5页
目的研究金刚石圆锯片的固有频率,分析各阶固有频率和主振型,确定较理想的锯片参数,避免在外界冲击作用下产生的频率与固有频率相近而发生的共振,提高金刚石锯片的使用寿命.方法通过ANSYS有限元分析软件对金刚石圆锯片进行模态分析,分... 目的研究金刚石圆锯片的固有频率,分析各阶固有频率和主振型,确定较理想的锯片参数,避免在外界冲击作用下产生的频率与固有频率相近而发生的共振,提高金刚石锯片的使用寿命.方法通过ANSYS有限元分析软件对金刚石圆锯片进行模态分析,分析了不同参数条件下的锯片的固有频率和主振型.结果金刚石圆锯片的参数对固有频率有很大的影响,锯片的固有频率随着法兰盘直径和锯片厚度的增加而增加,而随着锯片直径的增加而减小.结论通过改变锯片的几何参数来提高锯片刚度,对金刚石锯片在切割石材方面具有重要的意义. 展开更多
关键词 ANSYS分析 模态分析 固有频率 金刚石圆锯片
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消音型金刚石圆锯片的研究动态 被引量:11
19
作者 何艳艳 唐霞辉 朱国富 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2001年第3期12-15,共4页
金刚石圆锯片在切割时产生的噪声对周围环境产生相当大的污染和危害。本文阐述了金刚石圆锯片产生噪声的机理 ,讨论了几种常用的消音措施 ,同时比较了几种消音措施的利弊 。
关键词 金刚石圆锯片 切割噪声 激光切缝 消音
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金刚石锯片节块表面金刚石分布与单颗金刚石切削厚度的计算 被引量:11
20
作者 史冬梅 杨凯华 潘秉锁 《工具技术》 北大核心 2002年第5期7-10,共4页
通过分析金刚石圆锯片节块工作面上金刚石的分布状态和锯片工作时的运动特点 ,求出了节块工作面上出刃金刚石之间的距离和金刚石的运动轨迹 ,据此推导出单颗金刚石切削厚度的计算公式 。
关键词 金刚石锯片 节块 表面 金刚石分布 单颗金颗石 切削厚度 计算
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