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气体放电对金属平板强化传热作用的研究 被引量:12
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作者 岳永刚 丁兆军 +3 位作者 王科 艾忠良 杨兰均 张乔根 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期91-95,共5页
文中对比研究了电晕、介质阻挡以及辉光放电对空气-金属之间对流传热系数的影响作用。通过对加热器功率以及铜板电极温度测量,计算获得在自然对流以及电极间发生放电两种情况下对流传热系数。在气体放电强化传热的作用下对流传热系数获... 文中对比研究了电晕、介质阻挡以及辉光放电对空气-金属之间对流传热系数的影响作用。通过对加热器功率以及铜板电极温度测量,计算获得在自然对流以及电极间发生放电两种情况下对流传热系数。在气体放电强化传热的作用下对流传热系数获得数倍的增加。在直流电晕放电实验中,当均匀的直流辉光放电产生时,空气-金属之间传热速率获得最大幅度的提高。采用介质阻挡放电在提高空气-金属之间传热速率的同时,放电间隙击穿电压发生显著提高,也使放电在实际应用中更易于控制。 展开更多
关键词 强化传热 电晕放电 介质阻挡放电 辉光放电
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氮气空心阴极辉光放电等离子体离子的蒙特卡罗模拟研究 被引量:8
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作者 张连珠 傅凤清 +1 位作者 王增波 刘俊红 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期135-139,共5页
采用蒙特卡罗模型对氮空心阴极放电等离子体鞘层离子(N2+、N+)的输运过程进行了模拟研究,计算了阴极鞘层中氮离子(N2+、N+)的能量及角分布的空间变化和粒子密度及平均能量随放电参数的变化规律。研究结果表明:空心阴极放电产生的氮离子... 采用蒙特卡罗模型对氮空心阴极放电等离子体鞘层离子(N2+、N+)的输运过程进行了模拟研究,计算了阴极鞘层中氮离子(N2+、N+)的能量及角分布的空间变化和粒子密度及平均能量随放电参数的变化规律。研究结果表明:空心阴极放电产生的氮离子,在鞘层输运过程中,N2+是密度几乎不变的低能粒子;N+是密度逐渐减少的高能粒子。随着电压增加,N+密度减小,平均能量增加;N2+密度和平均能量变化不明显。能量及入射角的相对分布规律与平板电极氮直流辉光放电基本类似,但圆筒空心阴极放电更有利于氮离子的产生。 展开更多
关键词 氮圆筒空心阴极放电 氮离子 蒙特卡罗模型 直流辉光放电
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用发射光谱法测量氮气直流辉光放电的转动温度 被引量:7
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作者 刘莉莹 张家良 +1 位作者 马腾才 邓新绿 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1013-1018,共6页
本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极... 本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极鞘层区、正柱区以及阳极辉光区中分别选择一点进行了转动分辨的发射光谱的测量。利用自己编写的光谱拟合程序 ,获得了相应的实验条件下N+ 2 的转动温度 ,给出了转动温度随放电电压的变化趋势 ,其结果可以用直流放电的帕邢定律得到很好的解释。在 10和 2 0Pa气压下 ,放电的阴极鞘层区、正柱区、阳极辉光区中的转动温度都随放电电压呈现出了不同的变化趋势 ,甚至是完全相反的变化趋势。我们认为这是由于气压不同时 ,放电状态不同所致 :气压为 10Pa时的放电是正常辉光放电 ,而气压为时 2 0Pa的放电为反常辉光放电。 展开更多
关键词 发射光谱法 测量 氮气 直流辉光放电 转动温度 等离子体 温度测量
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直流辉光放电冷等离子体在高分子材料表面改性上的应用 被引量:5
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作者 林立中 《物理》 CAS 1999年第7期417-421,共5页
报道了利用直流辉光放电正柱区产生冷等离子体对高分子材料进行表面改性的工作,阐述了它在纺织材料和非极性塑料制品表面改性上的应用。
关键词 直流辉光放电 正柱区 等离子体 表面改性 高分子
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直流辉光氧等离子体刻蚀金刚石膜的研究 被引量:5
5
作者 郑先锋 马志斌 +3 位作者 张磊 王传新 满卫东 汪建华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2007年第1期35-38,43,共5页
在直流辉光放电等离子体装置上,利用不同直流功率和工作气压下产生的氧等离子体对CVD金刚石厚膜的表面进行了刻蚀。利用扫描电子显微镜、Raman光谱和电子微量分析天平,分别对刻蚀前后金刚石膜表面的形貌、结构和刻蚀速率进行了观测。结... 在直流辉光放电等离子体装置上,利用不同直流功率和工作气压下产生的氧等离子体对CVD金刚石厚膜的表面进行了刻蚀。利用扫描电子显微镜、Raman光谱和电子微量分析天平,分别对刻蚀前后金刚石膜表面的形貌、结构和刻蚀速率进行了观测。结果发现:在工作气压一定时,刻蚀速率随着直流功率的增加而增大,并且刻蚀由各向同性逐渐转变为各向异性。在直流功率一定时,工作气压的降低会导致刻蚀速率的增加,并且刻蚀由各向同性转变为各向异性。但过高的直流功率会导致金刚石膜表面沉积出无定形碳。基于实验研究结果和相关基本理论建立了刻蚀模型,并根据模型得到了影响刻蚀的主要原因在于等离子体中的电子温度和金刚石膜的悬浮鞘电位。 展开更多
关键词 金刚石膜 刻蚀 直流辉光放电薄 氧离子体
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Experimental Studies of the Enhanced Heat Transfer from a Heating Vertical Flat Plate by Ionic Wind 被引量:1
6
作者 岳永刚 侯俊平 +2 位作者 艾忠良 杨兰均 张乔根 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第6期697-700,共4页
The effects of the ionic wind on the heat transfer rate from a heated vertical flat plate are described. The ionic wind is induced by three different types of discharge, corona discharge, dielectric barrier discharge ... The effects of the ionic wind on the heat transfer rate from a heated vertical flat plate are described. The ionic wind is induced by three different types of discharge, corona discharge, dielectric barrier discharge (DBD) and dc glow discharge. The heat transfer coefficients for the heated copperplate under free convection conditions with and without an ionic wind are obtained by measuring the temperature and the heating power of the copper plate. It has been proved that the convective heat transfer coefficients increase by several times with the help of the ionic wind. With the ionic wind induced by a uniform dc glow discharge, the heat transfer coefficient of the heated copper plate is highly enhanced compared with those induced by a corona discharge or DBD. With the use of DBD, the breakdown voltage is increased significantly, which is helpful in avoiding a breakdown when heat transfer is enhanced by the ionic wind. In addition, it makes the application of the ionic wind much safer. 展开更多
关键词 enhanced heat transfer heat transfer enhancement ionic wind corona discharge DBD dc glow discharge
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直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术 被引量:3
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作者 于红 张家良 +2 位作者 任春生 王友年 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期255-259,共5页
光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近... 光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近的增强放电和直流辉光放电等离子体空间分辨诊断的发射光谱装置。其特点是光学收集系统的位置可以水平精细移动 ,因而可以对放电区域进行空间分辨发射光谱测量。作者利用这套装置对氩气的ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体进行诊断。在ECR微波等离子体的下游区内氩离子谱线的发射强度很弱 ,主要是高激发态原子的辐射。在磁共振增强放电区 ,离子谱线强度有所增加但仍比原子谱线弱 ,类似于直流辉光放电正柱区的光发射特性。 展开更多
关键词 发射光谱 直流辉光放电 激发态原子 激发温度 类似 行空间 微波等离子体 空间分辨 光发射 电子回旋共振
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辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜 被引量:3
8
作者 傅广生 于威 +3 位作者 王淑芳 李晓苇 张连水 韩理 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期2263-2268,共6页
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,... 利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,沉积薄膜为含有非晶SiN和晶态氮化碳颗粒结构 ,晶态成分呈多晶态 ,主要为α C3N4 相、β C3N4 相 ,晶粒大小为 4 0— 60nm .碳氮之间主要以C N非极性共价键形式相结合 . 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 直流辉光放电 碳氮薄膜 等离子体 Si 薄膜生成 XECL准分子激光
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DC Plasma Technology Applied to Powder Metallurgy: an Overview 被引量:1
9
作者 A. N. KLEIN R. P. CARDOSO +7 位作者 H. C. PAVANATI C. BINDER A. M. MALISKA G. HAMMES D. FUSAO A. SEEBER S. F. BRUNATTO J. L. R. MUZART 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第1期70-81,共12页
DC plasma is a very promising technology for processing different materials, and is becoming especially interesting when low environmental impact and high-performance treatments are needed. Some of the intrinsic chara... DC plasma is a very promising technology for processing different materials, and is becoming especially interesting when low environmental impact and high-performance treatments are needed. Some of the intrinsic characteristics of DC plasma technology, which make it suitable for powder metallurgy (PM) and powder injection molding (PIM) parts production, are low- pressure processing and plasma environment high reactivity. Moreover it can be considered as a highly competitive green technology. In this work, an overview of some of the important DC plasma techniques applied to PM and PIM parts processing is presented. Emphasis is given to the descriptions of the main characteristics and the technique potentials of plasma-assisted nitriding, plasma-assisted thermal debinding, plasma-assisted sintering, and simultaneously plasma-assisted sintering and surface alloying. The aspects presented and discussed in this paper indicate that DC plasma processes are promising and competitive techniques for PM and PIM parts processing. 展开更多
关键词 powder metallurgy dc glow discharge plasma nitriding plasma sintering plasma-assisted thermal debinding surface alloying
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Characterization of a New DC-Glow Discharge Plasma Set-Up to Enhance the Electronic Circuits Performance 被引量:1
10
作者 A. A. Talab Ashraf Yahia +1 位作者 M. A. Saudy M. Elsayed 《Journal of Modern Physics》 2020年第7期1044-1057,共14页
The (DC-GDPAU) is a DC glow discharge plasma experiment that was designed, established, and operated in the Physics Department at Ain Shams University (Egypt). The aim of this experiment is to study and improve some p... The (DC-GDPAU) is a DC glow discharge plasma experiment that was designed, established, and operated in the Physics Department at Ain Shams University (Egypt). The aim of this experiment is to study and improve some properties of a printed circuit board (PCB) by exposing it to the plasma. The device consists of cylindrical discharge chamber with movable parallel circular copper electrodes (cathode and anode) fixed inside it. The distance between them is 12 cm. This plasma experiment works in a low-pressure range (0.15 - 0.70 Torr) for Ar gas with a maximum DC power supply of 200 W. The Paschen curves and electrical plasma parameters (current, volt, power, resistance) characterized to the plasma have been measured and calculated at each cm between the two electrodes. Besides, the electron temperature and ion density are obtained at different radial distances using a double Langmuir probe. The electron temperature (<em>KT<sub>e</sub></em>) was kept stable in range 6.58 to 10.44 eV;whereas the ion density (<em>ni</em>) was in range from 0.91 × 10<sup>10</sup> cm<sup><span style="white-space:nowrap;">&minus;</span>3</sup> to 1.79 × 10<sup>10</sup> cm<sup><span style="white-space:nowrap;">&minus;</span>3</sup>. A digital optical microscope (800×) was employed to draw a comparison between the pre-and after effect of exposure to plasma on the shaping of the circuit layout. The experimental results show that the electrical conductivity increased after plasma exposure, also an improvement in the adhesion force in the Cu foil surface. A significant increase in the conductivity can be directly related to the position of the sample surfaces as well as to the time of exposure. This shows the importance of the obtained results in developing the PCBs manufacturing that uses in different microelectronics devices like those onboard of space vehicles. 展开更多
关键词 dc glow discharge Paschen Curve Cold Plasma Characteristics Double Electric Probe Printed Circuit Board (PCB) Properties Electronic Plasma Application
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直流辉光放电光谱分析铜合金的基本特性研究 被引量:2
11
作者 黄卫红 胡斌 +2 位作者 王雷 江祖成 廖振环 《武汉大学学报(自然科学版)》 CSCD 1999年第4期399-402,共4页
用自行组装的直流辉光放电原子发射光谱(dc G D A E S)仪器对分析铜合金的某些基本特性进行了研究 探讨了光源放电室结构、放电气体压力、放电电压等操作参数以及试样尺寸大小对放电性能及元素谱线强度的影响,并进行了... 用自行组装的直流辉光放电原子发射光谱(dc G D A E S)仪器对分析铜合金的某些基本特性进行了研究 探讨了光源放电室结构、放电气体压力、放电电压等操作参数以及试样尺寸大小对放电性能及元素谱线强度的影响,并进行了优化 考察了在不同放电气压条件下样品的溅射率和优化条件下辉光放电的稳定性最后,分析了铜合金标准样品中的 Al和 Mn。 展开更多
关键词 直流辉光放电 原子发射光谱 铜合金
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直流辉光放电低温等离子灭菌装置的研制 被引量:2
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作者 刘牮 张网军 《中国消毒学杂志》 CAS 2010年第5期549-551,646,共4页
目的研制直流辉光放电低温等离子灭菌装置。方法采用直流辉光放电等离子技术与激发过氧化氢气体,产生低温等离子体实施灭菌。结果通过最新设计和工艺条件,设计制造出了直流辉光放电低温等离子灭菌装置,利用直流辉光放电的方式在低气压... 目的研制直流辉光放电低温等离子灭菌装置。方法采用直流辉光放电等离子技术与激发过氧化氢气体,产生低温等离子体实施灭菌。结果通过最新设计和工艺条件,设计制造出了直流辉光放电低温等离子灭菌装置,利用直流辉光放电的方式在低气压的情况下产生低温过氧化氢等离子体。设置自控运行程序,实现"预真空阶段、第一次灭菌阶段、第二次灭菌阶段、排气干燥阶段"灭菌运行程序化。结论所研制的该直流辉光放电低温等离子灭菌装置,达到了设计要求。 展开更多
关键词 低温等离子体 直流辉光放电 灭菌装置
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利用直流辉光放电等离子体改善聚氯乙烯细管内表面亲水性的研究 被引量:2
13
作者 刘雪华 温小琼 +1 位作者 汪俊 刘贵师 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期77-79,共3页
采用低气压氩气直流辉光放电等离子体对PVC细管内表面进行了处理,使其内表面亲水性得到显著改善,且处理效果均匀。处理时间越长PVC细管内表面的水接触角越小。经过处理后的PVC细管放置室内大气环境后内表面的水接触角出现退化,72小时以... 采用低气压氩气直流辉光放电等离子体对PVC细管内表面进行了处理,使其内表面亲水性得到显著改善,且处理效果均匀。处理时间越长PVC细管内表面的水接触角越小。经过处理后的PVC细管放置室内大气环境后内表面的水接触角出现退化,72小时以后基本稳定,稳定后的内表面水接触角显著好于未经处理的PVC细管。 展开更多
关键词 内表面 聚氯乙烯管 直流辉光放电 亲水性
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Investigation of 50 Hz Pulsed DC Nitrogen Plasma with Active Screen Cage by Trace Rare Gas Optical Emission Spectroscopy
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作者 A.SAEED A.W.KHAN +4 位作者 M.SHAFIQ F.JAN M.ABRAR M.ZAKA-UL-ISLAM M.ZAKAULLAH 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期324-328,共5页
Optical emission spectroscopy is used to investigate the nitrogen-hydrogen with trace rare gas (4% Ar) plasma generated by 50 Hz pulsed DC discharges. The filling pressure varies from 1 mbar to 5 mbar and the curren... Optical emission spectroscopy is used to investigate the nitrogen-hydrogen with trace rare gas (4% Ar) plasma generated by 50 Hz pulsed DC discharges. The filling pressure varies from 1 mbar to 5 mbar and the current density ranges from 1 mA-cm-2 to 4 mA.cm-2. The hydrogen concentration in the mixture plasma varies from 0% to 80%, with the objective of identifying the optimum pressure, current density and hydrogen concentration for active species ([N] and IN2]) generation. It is observed that in an N2-H2 gas mixture, the concentration of N atom density decreases with filling pressure and increases with current density, with other parameters of the discharge kept unchanged. The maximum concentrations of active species were found for 40% H2 in the mixture at 3 mbar pressure and current density of 4 mA.cm-2. 展开更多
关键词 TRG-OES dc glow discharge reactive species
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等离子体发射光谱的诊断及N_(2)振动温度的测量 被引量:1
15
作者 杨世哲 陈翰霖 +4 位作者 冯鑫 刘晨宇 陶小平 王中平 张增明 《大学物理》 2022年第2期58-62,共5页
本文自行设计圆柱形真空管以产生可达几帕的低压环境,并在65 Pa空气和14 Pa的空气-CO_(2)混合气体直流放电中观测了管轴线上各点的发射光谱,并区分出其中最强的谱带系为N_(2)的第一正带系和第二正带系,进而利用第二正带系的相对强度计... 本文自行设计圆柱形真空管以产生可达几帕的低压环境,并在65 Pa空气和14 Pa的空气-CO_(2)混合气体直流放电中观测了管轴线上各点的发射光谱,并区分出其中最强的谱带系为N_(2)的第一正带系和第二正带系,进而利用第二正带系的相对强度计算了两种环境下氮气分子的振动温度沿放电管轴线的分布情况. 展开更多
关键词 等离子体 发射光谱 第二正带系 振动温度 直流辉光放电
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直流辉光放电正柱区辉纹的形态演变 被引量:1
16
作者 温睿 张淑娟 +1 位作者 张明华 张家良 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2017年第3期91-100,共10页
本文采用石英放电管,在氮、氩和氦气中进行直流辉光放电,改变气压、气体流速和放电电流,正柱区可形成辉纹,且形态逐渐演变.为研究辉纹形态演变,使用可连拍工业相机获得辉纹区照片,通过照片亮度计算分析辉纹亮度分布特点及其变化.结果表... 本文采用石英放电管,在氮、氩和氦气中进行直流辉光放电,改变气压、气体流速和放电电流,正柱区可形成辉纹,且形态逐渐演变.为研究辉纹形态演变,使用可连拍工业相机获得辉纹区照片,通过照片亮度计算分析辉纹亮度分布特点及其变化.结果表明:正柱区辉纹均呈现良好空间周期性;同时,有些放电条件下,辉纹亮度呈现从阴极到阳极逐渐衰减的周期性.与两种惰性气体相比,氮气中的辉纹最为清晰.因此,以氮气辉纹为例,定量研究了辉纹形态(辉纹波长和衰减系数)随放电条件的演变,结果发现:辉纹波长与放电电流密度的对数值几乎呈线性关系;而与气压和气体流速的相关性更为复杂.与此类似,在不同气压和流速条件下,辉纹衰减系数随放电电流的变化趋势也相当一致. 展开更多
关键词 直流辉光放电 正柱区辉纹 发光亮度 形态演变
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直流辉光放电CVD法均匀生长纳米金刚石薄膜的研究 被引量:1
17
作者 游志恒 满卫东 +5 位作者 吕继磊 阳硕 何莲 徐群峰 白华 江南 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2746-2750,共5页
采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H2/CH4/Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20~40 nm的纳米金刚石薄膜。采用SEM、Raman、微摩擦试验机等分析了不同CH4浓度、Ar浓度对NCD薄膜生长特性的影响。研究结果表明:金刚... 采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H2/CH4/Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20~40 nm的纳米金刚石薄膜。采用SEM、Raman、微摩擦试验机等分析了不同CH4浓度、Ar浓度对NCD薄膜生长特性的影响。研究结果表明:金刚石薄膜的晶粒尺寸随着CH4浓度的增加而减小,但是过高的CH4浓度会导致石墨相大量生成;随着Ar浓度的增加,金刚石薄膜的晶粒尺寸逐渐细化,但过量Ar的掺入会降低金刚石薄膜的质量;在合适的工艺参数下,薄膜摩擦系数最低可以降低到0.12,NCD薄膜的最大沉积直径为140 mm。 展开更多
关键词 直流辉光放电 化学气相沉积 纳米金刚石 摩擦系数
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Ar/Ne,He/Ne,Ne/N_2,O_2混合气体直流放电及PIC模拟分析
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作者 卢山 王维 +2 位作者 邓明 王世平 周筑文 《贵州师范学院学报》 2015年第9期17-23,共7页
通过对混合气体氩和氖(Ar/Ne),氦和氖(He/Ne)以及氖和氮、氧气(Ne/N2,O2)直流辉光放电分析,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了Ar/Ne、He/Ne、Ne/N2,O2在直流高压500V^1000V,低气压0.5Torr^1Torr,几种混合气体的直流辉光放电过... 通过对混合气体氩和氖(Ar/Ne),氦和氖(He/Ne)以及氖和氮、氧气(Ne/N2,O2)直流辉光放电分析,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了Ar/Ne、He/Ne、Ne/N2,O2在直流高压500V^1000V,低气压0.5Torr^1Torr,几种混合气体的直流辉光放电过程。通过模拟实验分析和阐述了混合气体电离后各种离子、电子、二次电子的动能、密度、相空间以及空间和能量分布。分析这些物理参量,能合理地解释按一定比例混合气体氩、氖、氦、氮气、氧气的直流辉光放电现象,在一定程度上,为各种填充气体的霓虹灯工艺提供了一定的理论参考。 展开更多
关键词 混合气体 直流辉光放电 粒子模拟(PIC)
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一种低温等离子体清洗机的研制
19
作者 关自强 《真空》 CAS 2014年第5期25-31,共7页
本文介绍了干法清洗中发展较快、优势明显的等离子体清洗的机理、类型、工艺特点等。并根据在低气压下由直流辉光放电产生等离子体的方法,研制了一种适用于PCB微切片清洗的等离子体清洗机,同时对该等离子体清洗机的真空系统、高压电源... 本文介绍了干法清洗中发展较快、优势明显的等离子体清洗的机理、类型、工艺特点等。并根据在低气压下由直流辉光放电产生等离子体的方法,研制了一种适用于PCB微切片清洗的等离子体清洗机,同时对该等离子体清洗机的真空系统、高压电源、控制过程的设计作出了详细的说明。 展开更多
关键词 等离子体清洗 PCB 直流辉光放电 真空度 高压电源
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正柱区朗缪尔探针诊断教学实验设计
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作者 张莹莹 张家良 +2 位作者 王晓娜 邱宇 宋远红 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2019年第10期69-72,共4页
朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠.通过对单探针和双探针诊断结果的对比分析,学生不仅学习了两种探针... 朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠.通过对单探针和双探针诊断结果的对比分析,学生不仅学习了两种探针诊断的物理原理、诊断功能和分析方法,同时也认识到各自诊断技术的优缺点,锻炼了学生分析观察能力和创新思维能力,进而培养学生继续探索的科研兴趣. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 直流辉光放电 电流-电压特性曲线
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