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一种新型气敏传感器的研究
被引量：
7
1
作者
谢丹
蒋亚东
+3 位作者
姜健壮
吴志明
李言荣
潘伟
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1083-1085,共3页
本文以一种新型有机半导体材料———三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物 (Pr[Pc(OC8H17) 8]2 )为气敏材料 ,利用Langmuir Blodgett(LB)超薄膜技术 ,将Pr[Pc(OC8H17) 8]2 以 1:3的配比与十八烷醇 (OA)的混合LB多层膜(Pr[Pc(OC8H17) 8]2...
本文以一种新型有机半导体材料———三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物 (Pr[Pc(OC8H17) 8]2 )为气敏材料 ,利用Langmuir Blodgett(LB)超薄膜技术 ,将Pr[Pc(OC8H17) 8]2 以 1:3的配比与十八烷醇 (OA)的混合LB多层膜(Pr[Pc(OC8H17) 8]2 /OA)拉制在自行设计的场效应晶体管上 ,形成了一种新型的以LB膜取代通常的MOSFET中栅金属的化学场效应管器件 .将该器件放入NO2 气体中 ,随着气体浓度和LB膜层数的变化 ,器件的漏电流IDS将产生 0 0 5×10 -6A～ 1 5× 10 -6A的变化 ,探测灵敏度可达到 5ppmNO2 。
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关键词
气体传感器
化学场效应管
MOSFET
二氧化氮
镨双酞菁配合物
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职称材料
LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究
2
作者
赵善麒
徐宝琨
+3 位作者
赵慕愚
彭作岩
才宏
邢建力
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期145-147,共3页
本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性．
关键词
气体传感器
纳米晶薄膜
晶体管
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职称材料
题名
一种新型气敏传感器的研究
被引量：
7
1
作者
谢丹
蒋亚东
姜健壮
吴志明
李言荣
潘伟
机构
清华大学材料科学与工程系
电子科技大学信息材料工程学院
山东大学化学系
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1083-1085,共3页
基金
教育部基金资助项目 (No .)
文摘
本文以一种新型有机半导体材料———三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物 (Pr[Pc(OC8H17) 8]2 )为气敏材料 ,利用Langmuir Blodgett(LB)超薄膜技术 ,将Pr[Pc(OC8H17) 8]2 以 1:3的配比与十八烷醇 (OA)的混合LB多层膜(Pr[Pc(OC8H17) 8]2 /OA)拉制在自行设计的场效应晶体管上 ,形成了一种新型的以LB膜取代通常的MOSFET中栅金属的化学场效应管器件 .将该器件放入NO2 气体中 ,随着气体浓度和LB膜层数的变化 ,器件的漏电流IDS将产生 0 0 5×10 -6A～ 1 5× 10 -6A的变化 ,探测灵敏度可达到 5ppmNO2 。
关键词
气体传感器
化学场效应管
MOSFET
二氧化氮
镨双酞菁配合物
Keywords
chemically
sensitive
field
effect
transistors
Films
MOSFET
devices
Nitrogen
compounds
Semiconductor
materials
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究
2
作者
赵善麒
徐宝琨
赵慕愚
彭作岩
才宏
邢建力
机构
吉林大学电子工程系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期145-147,共3页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金
集成光电子学国家重点联合实验室资助
文摘
本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性．
关键词
气体传感器
纳米晶薄膜
晶体管
Keywords
chemically
sensitive
field
effect
transistors
Ethanol
Gas
absorption
Sol
gels
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型气敏传感器的研究
谢丹
蒋亚东
姜健壮
吴志明
李言荣
潘伟
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
7
下载PDF
职称材料
2
LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究
赵善麒
徐宝琨
赵慕愚
彭作岩
才宏
邢建力
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994
0
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职称材料
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