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近空间升华法制备CdTe薄膜 被引量：13
1
作者 蔡伟 张静全 +5 位作者 郑家贵 黎兵 蔡亚平 武莉莉 邵烨 冯良桓 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期121-123,127,共4页
研究了衬底材料和基片温度对膜微结构的影响。衬底温度在 4 0 0℃以上薄膜结晶状况较为完整。在结晶状况较好的CdS薄膜上生长的CdTe薄膜晶粒较大 ,尺寸均匀。在CdTe膜面涂敷CdCl2 甲醇溶液 。
关键词 cdte薄膜 近空间升华法 太阳电池
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CdTe薄膜的制备和后处理研究 被引量：6
2
作者 蔡伟 冯良桓 +2 位作者 蔡亚平 张静全 武莉莉 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期273-276,共4页
用近空间升华法制备CdTe薄膜 .研究了在不同衬底材料、基片温度下薄膜的微结构 .衬底温度在 4 0 0℃以上薄膜结晶状况较为完整 .结晶状况较好的CdS薄膜上生长的CdTe薄膜晶粒较大 ,尺寸均匀 .对CdTe薄膜进行了加热后处理研究 ,结果表明 ... 用近空间升华法制备CdTe薄膜 .研究了在不同衬底材料、基片温度下薄膜的微结构 .衬底温度在 4 0 0℃以上薄膜结晶状况较为完整 .结晶状况较好的CdS薄膜上生长的CdTe薄膜晶粒较大 ,尺寸均匀 .对CdTe薄膜进行了加热后处理研究 ,结果表明 ,加用CdCl2 展开更多
关键词 cdte薄膜 近空间升华法 退火 碲化镉薄膜 多晶薄膜电阳电池 热处理 薄膜生长 制备方法
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CdTe薄膜的制备方法比较及其结构性能研究 被引量：8
3
作者 李锦 郑毓峰 +2 位作者 徐金宝 孙严飞 陈树义 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期508-510,共3页
采用真空热蒸发VE、射频溅射沉积RF和近距离升华CSS技术制备CdTe薄膜 ,并对其进行掺杂研究。样品利用XRD、SEM、紫外 可见分光光度计和霍尔系数测量系统进行测试。结果显示 ,CSS制备的CdTe薄膜与VE和RF法制备的薄膜相比 ,晶粒大 ,晶形... 采用真空热蒸发VE、射频溅射沉积RF和近距离升华CSS技术制备CdTe薄膜 ,并对其进行掺杂研究。样品利用XRD、SEM、紫外 可见分光光度计和霍尔系数测量系统进行测试。结果显示 ,CSS制备的CdTe薄膜与VE和RF法制备的薄膜相比 ,晶粒大 ,晶形好。适当的掺杂某些元素 ,适当的掺杂量 ,可以改善CdTe薄膜的结晶性能 ,提高其导电性能。掺杂对CdTe薄膜的光能隙影响不大。 展开更多
关键词 cdte薄膜 制备方法 结构 性能 掺杂
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Er^(3+)注入CdTe薄膜的结构和光电性能研究 被引量：7
4
作者 侯娟 郑毓峰 +3 位作者 董有忠 匡代洪 孙言飞 李强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期6684-6690,共7页
采用离子注入技术对近距离升华制备的CdTe薄膜进行Er3+掺杂研究.讨论了不同掺Er3+浓度对CdTe薄膜的结构和光电性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、霍耳效应测试系统和复阻抗分析仪对样品进行测试.结果表... 采用离子注入技术对近距离升华制备的CdTe薄膜进行Er3+掺杂研究.讨论了不同掺Er3+浓度对CdTe薄膜的结构和光电性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、霍耳效应测试系统和复阻抗分析仪对样品进行测试.结果表明,适当的掺杂量可以改善CdTe薄膜的结晶性能,降低晶界势垒高度,提高其导电性能.在一定掺杂范围内掺Er3+对CdTe薄膜的光能隙影响不大. 展开更多
关键词 cdte薄膜 离子注入 晶界势垒 光能隙
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真空蒸发制备稀土Dy掺杂CdTe薄膜及其特性研究 被引量：6
5
作者 董海成 李蓉萍 +2 位作者 李忠贤 何志刚 安晓晖 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期588-592,共5页
采用双源蒸镀法制备了稀土Dy掺杂CdTe薄膜,并对薄膜的晶体学和光学性质进行了研究。结果表明,掺杂Dy使薄膜中富Te的情况更加严重,且使CdTe薄膜具有了沿(111)晶向的择优取向,同时掺杂抑制了CdTe的化合与结晶,使薄膜的晶粒尺寸明显增大、... 采用双源蒸镀法制备了稀土Dy掺杂CdTe薄膜,并对薄膜的晶体学和光学性质进行了研究。结果表明,掺杂Dy使薄膜中富Te的情况更加严重,且使CdTe薄膜具有了沿(111)晶向的择优取向,同时掺杂抑制了CdTe的化合与结晶,使薄膜的晶粒尺寸明显增大、光学带隙明显减小。 展开更多
关键词 cdte薄膜 特性研究 真空蒸发 稀土掺杂
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近距离升华沉积CdTe掺Cd薄膜的微结构和电学、光学特性 被引量：6
6
作者 李茜 郑毓峰 +2 位作者 周向玲 孙言飞 简基康 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期3880-3886,共7页
采用近距离升华技术制备了掺杂Cd元素的CdTe多晶薄膜.利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征其微结构,用霍尔效应测试仪和紫外可见分光光度计分析其电学、光学特性.结果显示,适量的掺杂Cd元素可改善CdTe薄膜晶形,显著提高薄膜的电导特性... 采用近距离升华技术制备了掺杂Cd元素的CdTe多晶薄膜.利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征其微结构,用霍尔效应测试仪和紫外可见分光光度计分析其电学、光学特性.结果显示,适量的掺杂Cd元素可改善CdTe薄膜晶形,显著提高薄膜的电导特性,由弱的p型电导转变为导电性能良好的n型电导,但对光能隙影响不大. 展开更多
关键词 近距离升华 cdte薄膜 掺杂Cd 电学和光学特性
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近距离升华制备CdTe掺Te薄膜的结构与电性能研究 被引量：3
7
作者 李锦 郑毓峰 +2 位作者 戴康 徐金宝 陈树义 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期195-199,共5页
采用近距离升华(Close-Spaced-Sublimation,CSS)技术制备CdTe及掺Te薄膜.并利用XRF、XRD、SEM及Hall系统研究了其含量、结构、表面形貌和电性能.结果表明,CSS技术制备的CdTe薄膜晶形好,晶粒度较RF方法制备的薄膜增大约100倍.Te掺入CdTe... 采用近距离升华(Close-Spaced-Sublimation,CSS)技术制备CdTe及掺Te薄膜.并利用XRF、XRD、SEM及Hall系统研究了其含量、结构、表面形貌和电性能.结果表明,CSS技术制备的CdTe薄膜晶形好,晶粒度较RF方法制备的薄膜增大约100倍.Te掺入CdTe薄膜后,改变了CdTe膜的结晶特性,适当掺入Te可以促进CdTe晶格的生长,并导致Cdrre膜晶格常数变大.薄膜面电阻率降低,面载流子浓度增大,以及载流子迁移率的增大,表明掺杂Te后CdTe膜的电导性能大大改善. 展开更多
关键词 Te 结构 电性能 近距离升华 cdte薄膜 CSS技术 太阳电池 碲化镉 碲 掺杂
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掺Sb-CdTe薄膜的结构及其光学特性研究 被引量：4
8
作者 李蓉萍 李琦 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期474-476,共3页
用真空蒸发技术在玻璃衬底上获得了掺杂Sb的CdTe薄膜 ,薄膜为立方晶系结构 ,具有沿 [111]晶向的择优取向。薄膜为p型呈高阻状态 ,在可见光范围内透过率很低。研究了不同掺杂浓度下薄膜的性质 ,并在不同条件下对薄膜进行热处理 。
关键词 SB cdte薄膜 结构 光学特性 真空蒸发 热处理 掺杂 碲化镉 半导体 掺杂 锑
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共溅射CdTe掺Nd薄膜的结构和电导性能 被引量：2
9
作者 郑毓峰 陈树义 +4 位作者 李锦 简基康 李冬来 马忠权 常爱民 《新疆大学学报（理工版）》 CAS 2002年第1期6-8,共3页
采用共溅射法在 ITo/玻璃基片上沉积 Cd Te掺 Nd薄膜 ,并利用 XRD和阻抗测试研究薄膜的结构和电导性能 .结果表明 ,适当 Nd掺入可以改善 Cd
关键词 共溅射法 cdte薄膜 晶界电阻 钕 掺杂 镉碲薄膜 薄膜结构 结晶特征 电导性能
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不同温度下制备的CdTe薄膜对太阳电池光电性能的影响 被引量：4
10
作者 李愿杰 郑家贵 +8 位作者 冯良桓 黎兵 曾广根 蔡亚平 张静全 李卫 雷智 武莉莉 蔡伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期625-629,共5页
在不同温度下用近空间升华法(CSS)制备了CdTe多晶薄膜,结合I-V,C-V特性及深能级瞬态谱研究了不同温度制备的CdTe薄膜对CdS/CdTe太阳电池性能的影响.结果表明,制备温度对电池组件的开路电压影响不大,对短路电流和填充因子有影响,CdTe薄... 在不同温度下用近空间升华法(CSS)制备了CdTe多晶薄膜,结合I-V,C-V特性及深能级瞬态谱研究了不同温度制备的CdTe薄膜对CdS/CdTe太阳电池性能的影响.结果表明,制备温度对电池组件的开路电压影响不大,对短路电流和填充因子有影响,CdTe薄膜的深中心对温度和频率的响应基本一致.580℃制备的样品暗饱和电流密度最小,载流子浓度较高,光电特性较好,而且空穴陷阱浓度较低,深中心复合作用较小.在此研究基础上制备出了面积为300mm×400mm,组件转换效率为8.2%的大面积CdTe太阳电池. 展开更多
关键词 制备温度 cdte薄膜 深能级瞬态谱(DLTS) CdS/cdte太阳电池
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HgCdTe分子束外延薄膜的应变弛豫 被引量：3
11
作者 方维政 王元樟 +4 位作者 巫艳 刘从峰魏彦锋 王庆学 杨建荣 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期325-328,332,共5页
对不同衬底上外延生长的HgCdTe薄膜进行了倒易点二维图测试 ,分析了外延层与衬底之间的结构取向关系以及晶格常数的失配现象 .通过测定Cd1-yZnyTe衬底上的HgCdTe外延层的应变弛豫状况 ,获得了晶格匹配条件时衬底Zn组分的准确值 .实验结... 对不同衬底上外延生长的HgCdTe薄膜进行了倒易点二维图测试 ,分析了外延层与衬底之间的结构取向关系以及晶格常数的失配现象 .通过测定Cd1-yZnyTe衬底上的HgCdTe外延层的应变弛豫状况 ,获得了晶格匹配条件时衬底Zn组分的准确值 .实验结果还表明 :HgCdTe外延层与晶格失配的衬底之间存在着倾角 ,该倾角随失配度的增大而增大 ;当衬底失配度较小时 ,非对称倒易点二维图显示外延层并不处于全应变状态 ,而是处于应力部分释放状态 ;相反 ,当外延层晶格失配产生的应力全部释放时 ,外延层包含着较大的失配位错 ,摇摆曲线半峰宽展宽较大 . 展开更多
关键词 外延层 衬底 晶格失配 分子束外延 晶格匹配 外延生长 二维 弛豫 配位 cdte薄膜
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CdTe薄膜的微观结构分析 被引量：2
12
作者 杨笛 李蓉萍 荣利霞 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期508-512,共5页
应用真空蒸发技术制备 Cd Te薄膜 ,并借助于扫描电子显微镜 ( SEM)、扫描俄歇谱仪( AES)和 X射线衍射仪 ( XRD)对其微观结构进行分析 .主要研究了不同工艺条件、不同原子配比、以及不同掺杂浓度下制得的 Cd Te薄膜的结构、物相 ,研究结... 应用真空蒸发技术制备 Cd Te薄膜 ,并借助于扫描电子显微镜 ( SEM)、扫描俄歇谱仪( AES)和 X射线衍射仪 ( XRD)对其微观结构进行分析 .主要研究了不同工艺条件、不同原子配比、以及不同掺杂浓度下制得的 Cd Te薄膜的结构、物相 ,研究结果表明 :以 Cd∶ Te=0 .9∶1原子配比制得的 Cd Te薄膜具有最佳的结晶度和组分计量比 ;掺杂会使 Cd Te薄膜的结构。 展开更多
关键词 cdte薄膜 掺杂 微观结构 真空蒸发技术 原子配比 镉碲薄膜
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高质量HgCdTe薄膜的液相外延生长 被引量：4
13
作者 马庆华 陈建才 +1 位作者 姬荣斌 杨宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第1期42-44,共3页
用固态HgTe作为Hg补偿源,采用开管、水平滑块推舟的富Te液相外廷(LPE)方法在碲锌 镉(Cd1-yZnyTe,y=0.04)衬底上外延生长大面积Hg1-xCdxTe(x=0.2)薄膜材料,通过适当的生长条件 得到组分均匀、结构完整、表面形貌良好的长波碲镉汞薄膜。... 用固态HgTe作为Hg补偿源,采用开管、水平滑块推舟的富Te液相外廷(LPE)方法在碲锌 镉(Cd1-yZnyTe,y=0.04)衬底上外延生长大面积Hg1-xCdxTe(x=0.2)薄膜材料,通过适当的生长条件 得到组分均匀、结构完整、表面形貌良好的长波碲镉汞薄膜。测试结果表明本方法生长的HgCdTe薄 膜能满足目前研制红外焦平面器件的要求。 展开更多
关键词 液相外延生长 红外焦平面器件 碲镉汞 衬底 cdte薄膜 高质量 长波 固态 表面形貌 薄膜材料
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真空蒸发法制备CdTe薄膜的光电特性 被引量：1
14
作者 杨笛 李蓉萍 李琦 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期17-20,共4页
真空蒸发技术制备的 Cd Te薄膜在可见光范围内的透射率很低 ,而且受材料配比和掺杂等因素的影响 .通过 Cd Te薄膜的透射光谱可计算出其吸收系数和光带隙 ,实验发现 ,掺In会使 Cd Te薄膜的光带隙变宽 .在电学特性上 ,Cd Te薄膜根据制备... 真空蒸发技术制备的 Cd Te薄膜在可见光范围内的透射率很低 ,而且受材料配比和掺杂等因素的影响 .通过 Cd Te薄膜的透射光谱可计算出其吸收系数和光带隙 ,实验发现 ,掺In会使 Cd Te薄膜的光带隙变宽 .在电学特性上 ,Cd Te薄膜根据制备工艺的不同表现出 n型和 p型两种导电类型 ,本文主要研究了材料配比、掺 In及热处理对导电类型的影响 .另外掺杂及热处理会使 Cd Te薄膜电阻率下降达 展开更多
关键词 cdte薄膜 光带隙 光电特性 真空蒸发法 透射光谱 电阻率 镉碲薄膜
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CdCl_2气相退火对CdTe/CdS太阳能电池的影响 被引量：1
15
作者 冷文建 蔡伟 +8 位作者 张静全 郑家贵 蔡亚平 李卫 黎兵 武莉莉 邵烨 蔡道林 冯良桓 《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2002年第S1期100-102,共2页
对CdTe薄膜进行CdCl2 热处理是制备高效率CdTe/CdS多晶太阳能薄膜电池的关键步骤 .研究了CdTe薄膜CdCl2 气相热处理 ,用XRD ,SEM表征热处理前后薄膜的结构、晶粒尺寸、晶格常数及能带宽度的变化 .比较研究了有无CdCl2 热处理的CdTe薄膜... 对CdTe薄膜进行CdCl2 热处理是制备高效率CdTe/CdS多晶太阳能薄膜电池的关键步骤 .研究了CdTe薄膜CdCl2 气相热处理 ,用XRD ,SEM表征热处理前后薄膜的结构、晶粒尺寸、晶格常数及能带宽度的变化 .比较研究了有无CdCl2 热处理的CdTe薄膜的结构差异 .CdCl2 热处理对CdTe/CdS异质结界面互扩散的影响 ,比较研究了有无CdCl2 热处理时 ,对CdTe/CdS太阳能薄膜电池的光I-V特性曲线的影响 . 展开更多
关键词 cdte/CdS太阳能电池 cdte薄膜 热处理
全文增补中
热壁外延碲化镉薄膜光学特性的分析及测试 被引量：2
16
作者 陈庭金 姚朝晖 +3 位作者 王履芳 汤叶华 夏朝凤 袁海荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期936-941,共6页
用热壁外延的方法,在清洁的玻璃衬底上外延生长了不同厚度的CdTe薄膜,对薄膜的本征吸收光学特性进行了全面的研究分析和测量。对玻璃衬底的样品模式:空气-CdTe薄膜-玻璃-空气系统经光照的反射、吸收和透射问题进行了严格的数学处理,给... 用热壁外延的方法,在清洁的玻璃衬底上外延生长了不同厚度的CdTe薄膜,对薄膜的本征吸收光学特性进行了全面的研究分析和测量。对玻璃衬底的样品模式:空气-CdTe薄膜-玻璃-空气系统经光照的反射、吸收和透射问题进行了严格的数学处理,给出了总反射率和透射率的表达式。用Cary5000型双光束分光光度计测试了样品薄膜的反射谱和透射谱,据测量结果经数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的本征光学吸收系数、消光系数、折射率和联系宏观可测量与微观量之间桥梁作用的复介电函数ε=ε1-iε2。用"Tauc"作图法,得到了薄膜的光学能隙Egopt,证明了材料是直接带隙结构,得到了薄膜厚度分别为0.12、0.48、0.81μm时相应的多晶晶粒尺寸增大的样品,其光学能隙分别变窄为1.54、1.48和1.46eV,向单晶CdTe能隙值1.44eV逼近。薄膜在本征吸收的可见光区有高的吸收系数。 展开更多
关键词 热壁外延 cdte薄膜 光学特性 测量
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玻璃上热壁真空沉积生长CdTe薄膜的结构及光学特性 被引量：3
17
作者 姚朝晖 陈庭金 +4 位作者 夏朝凤 袁海荣 刘祖明 廖华 王帆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1236-1240,共5页
采用热壁真空沉积的方法,在清洁的玻璃衬底上生长了不同膜厚的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进行了测量分析研究.XRD测试显示薄膜为多晶,具有标准的立方结构,沿(111)方向有明显的择优取向.晶格常数的计算值为0.649nm,与标... 采用热壁真空沉积的方法,在清洁的玻璃衬底上生长了不同膜厚的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进行了测量分析研究.XRD测试显示薄膜为多晶,具有标准的立方结构,沿(111)方向有明显的择优取向.晶格常数的计算值为0.649nm,与标准值符合得较好.用Cary 5000型双光束分光光度计测试了薄膜的反射谱和透射谱,显示在本征吸收区透过率随着膜厚的增加和波长的减小而减小.对测量的反射谱和透射谱采用较严格的数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的吸收系数、消光系数、折射率等.用(hνα)2对hν作图,得出了薄膜厚度为0.12,0.48和0.81μm的光学能隙分别为1.54,1.48和1.46eV,证实了材料是直接带隙结构,且在本征吸收的可见光区有高的吸收系数. 展开更多
关键词 热壁真空沉积 cdte薄膜 结构特性 光学特性
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Gd掺杂CdTe薄膜的结构和光学特性研究 被引量：2
18
作者 何志刚 李蓉萍 +3 位作者 董海成 安晓晖 吴蓉 李忠贤 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期11-14,共4页
用真空热蒸发法在玻璃衬底制备CdTe和Gd掺杂CdTe薄膜。研究热处理和Gd掺杂量对CdTe薄膜结构、光学特性的影响。结果表明,薄膜均为立方闪锌矿结构,Gd的掺入没有改变薄膜的晶体结构,但使薄膜的晶粒尺寸减小,晶格常数和晶胞体积略有增大,... 用真空热蒸发法在玻璃衬底制备CdTe和Gd掺杂CdTe薄膜。研究热处理和Gd掺杂量对CdTe薄膜结构、光学特性的影响。结果表明,薄膜均为立方闪锌矿结构,Gd的掺入没有改变薄膜的晶体结构,但使薄膜的晶粒尺寸减小,晶格常数和晶胞体积略有增大,并使其择优取向由[220]晶向变为[111]晶向。掺Gd使薄膜在可见光范围透过率增强,但对光能隙影响不大。 展开更多
关键词 真空蒸发 cdte薄膜 GD掺杂 光学特性
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真空气相沉积制备碲化镉薄膜的电学和光学特性
19
作者 季秉厚 孟凡英 +1 位作者 李健 其其格 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期134-137,共4页
用真空气相沉积法 ,同时蒸发Cd和Te材料 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。对CdTe薄膜掺杂In ,并用氮气作保护气体 ,在不同温度和时间下对薄膜进行热处理 ,研究薄膜的电学特性和光学特性。结果表明 ,用真空气相沉积法制备的CdTe薄膜的电学。
关键词 cdte薄膜 真空气相沉积 掺杂 热处理 碲化薄膜 电学特性 光学特性 铟 半导体
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真空气相沉积碲化镉薄膜特性研究 被引量：1
20
作者 季秉厚 孟凡英 +1 位作者 李健 其其格 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-44,共4页
用一种简便的制备CdTe薄膜的方法———真空气相沉积法 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中 ,同时蒸发Cd +Te材料 ,形成CdTe薄膜。为改善其性能 ,采用改变Cd∶Te的原子配比和在Cd +Te材料中掺杂In ,用N2 作保护气体 ... 用一种简便的制备CdTe薄膜的方法———真空气相沉积法 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中 ,同时蒸发Cd +Te材料 ,形成CdTe薄膜。为改善其性能 ,采用改变Cd∶Te的原子配比和在Cd +Te材料中掺杂In ,用N2 作保护气体 ,要不同温度下对薄膜进行热处理。通过SEM ,XRD ,SAM和AES等测试分析 ,分别研究了热处理前后CdTe薄膜的结构。 展开更多
关键词 cdte薄膜 真空气相沉积 掺杂 in 热处理 测试 碲化镉薄膜 太阳能电池
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