期刊文献+
共找到8篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
氧化铝陶瓷基片高效减薄和超光滑抛光加工研究 被引量:3
1
作者 陈建新 阎秋生 潘继生 《机电工程技术》 2016年第10期37-43,共7页
对氧化铝陶瓷基片进行了系统的单面研磨抛光和双面研磨抛光试验,结果表明,单面研磨抛光相对双面研磨抛光具有明显的效率优势,获得单面研磨的优化条件为:研磨压力15.19 kPa,研磨转速40 r/min,研磨液流量10 ml/min,研磨液浓度8wt%;以粒度... 对氧化铝陶瓷基片进行了系统的单面研磨抛光和双面研磨抛光试验,结果表明,单面研磨抛光相对双面研磨抛光具有明显的效率优势,获得单面研磨的优化条件为:研磨压力15.19 kPa,研磨转速40 r/min,研磨液流量10 ml/min,研磨液浓度8wt%;以粒度W40、W20和W5的金刚石磨料在优化工艺条件下进行粗研磨、半精研磨和精研磨,减薄加工获得表面粗糙度Ra0.12μm的研磨片,进而采用W0.5的SiC磨料进行单面抛光可以获得平均表面粗糙度Ra10 nm的光滑表面。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷基片 研磨 抛光 材料去除率 表面粗糙度
下载PDF
射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究 被引量:2
2
作者 侯廉平 陈培峰 陈清明 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期352-356,共5页
分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则。通过数值模拟和实验 ,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
关键词 RF Co2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片 数值模拟
下载PDF
一种用于TDD通信模式的大功率射频开关 被引量:3
3
作者 黄贞松 杨磊 《电信科学》 北大核心 2010年第4期81-84,共4页
采用氧化铝陶瓷基板、硅外延法制作的PIN二极管芯片,MCM(多芯片组装工艺)技术设计的功率开关,在1~3GHz频带内插入损耗小于0.5dB,可通过CW功率60W,隔离度大于45dB,尺寸为8mm×8mm,解决了射频大功率开关量产困难的问题,在我国的TD-SC... 采用氧化铝陶瓷基板、硅外延法制作的PIN二极管芯片,MCM(多芯片组装工艺)技术设计的功率开关,在1~3GHz频带内插入损耗小于0.5dB,可通过CW功率60W,隔离度大于45dB,尺寸为8mm×8mm,解决了射频大功率开关量产困难的问题,在我国的TD-SCDMA移动通信网中得到了广泛应用。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷基板 MCM 大功率 开关
下载PDF
Corrosion Resistance of Ceramic Coating on Steel Substrate
4
作者 XU Qiuhong WANG Zhi SUN Xiang SHI Guopu 《China's Refractories》 CAS 2007年第4期28-31,共4页
Fe/Al2O3 ceramic coating was made by spraying and sol-gel. The corrosion resistance between Fe/Al2O3 ceramic coating and steel 45# was studied. By microscope and X-ray diffraction, the binding and the composition of ... Fe/Al2O3 ceramic coating was made by spraying and sol-gel. The corrosion resistance between Fe/Al2O3 ceramic coating and steel 45# was studied. By microscope and X-ray diffraction, the binding and the composition of the interface were also analyzed. The results showed that Fe/Al2O3 ceramic coating had dense struc- ture, less porosity and better binding with the substrate which was effective to prevent erosive liquor immersing into the inside of ceramic coating. Some substances that distributed homogeneously in Fe/Al2O3 ceramic coating, such as α-Al2O3, FeAlO3 and Fe3Al, could improve the corrosion resistance of this material. 展开更多
关键词 Fe/al2o3 ceramic coating Steel substrate Corrosion resistance
下载PDF
Zn-Al涂层腐蚀电化学行为研究 被引量:7
5
作者 刘毅 魏世丞 +1 位作者 王玉江 徐滨士 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B04期226-229,共4页
通过电化学交流阻抗谱(EIS)研究了Zn-Al涂层在铜加速醋酸盐雾试验中的腐蚀行为,建立了等效电路模型并分析了相关电化学参数随时间的变化规律。采用扫描电镜及能谱仪分析了涂层腐蚀后的形貌及成分组成,阐释了电化学参数的演变规律。结果... 通过电化学交流阻抗谱(EIS)研究了Zn-Al涂层在铜加速醋酸盐雾试验中的腐蚀行为,建立了等效电路模型并分析了相关电化学参数随时间的变化规律。采用扫描电镜及能谱仪分析了涂层腐蚀后的形貌及成分组成,阐释了电化学参数的演变规律。结果表明,盐雾试验中Zn-Al涂层的腐蚀由电化学反应控制逐渐转变为扩散控制,最后进入基体腐蚀阶段。 展开更多
关键词 Zn-al涂层 腐蚀 电化学交流阻抗
下载PDF
陶瓷基微带带通滤波器的设计与制备 被引量:1
6
作者 刘明辉 袁海 +3 位作者 吴思诚 王明琼 谭晓惠 王博哲 《电子工艺技术》 2024年第2期41-43,58,共4页
为满足滤波器微型化、轻量化的迫切需求,设计一种中心频率为8.95 GHz,通带范围为7.85~10.10 GHz的带通滤波器。谐振单元采用微带交指结构,基板采用99.6%含量的Al_(2)O_(3)陶瓷基板。基于激光打孔、双面溅射和光刻腐蚀工艺,实现滤波器制... 为满足滤波器微型化、轻量化的迫切需求,设计一种中心频率为8.95 GHz,通带范围为7.85~10.10 GHz的带通滤波器。谐振单元采用微带交指结构,基板采用99.6%含量的Al_(2)O_(3)陶瓷基板。基于激光打孔、双面溅射和光刻腐蚀工艺,实现滤波器制备。测试结果表明中心频率为8.64 GHz,波形偏移0.31 GHz。 展开更多
关键词 al_(2)o_(3)陶瓷基板 滤波器 微型化 微带交指结构
下载PDF
Al_2O_3陶瓷基片上Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜可调介电性能的研究
7
作者 王元 蒋书文 陈湘亮 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B04期223-225,229,共4页
采用磁控溅射方法在Al2O3陶瓷基片上溅射生长Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜,使用光刻工艺制作平板结构的BST薄膜可变电容。研究了溅射条件对BST薄膜可调介电性能和介电损耗的影响。结果表明,在溅射气压为4Pa、O2:Ar比为30:70、基片温度... 采用磁控溅射方法在Al2O3陶瓷基片上溅射生长Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜,使用光刻工艺制作平板结构的BST薄膜可变电容。研究了溅射条件对BST薄膜可调介电性能和介电损耗的影响。结果表明,在溅射气压为4Pa、O2:Ar比为30:70、基片温度800℃下制备的BST薄膜具有较高的介电调谐率(约52%)和较低的损耗(约0.8%),BST薄膜可变电容的品质因素随频率升高而降低,在1~100MHZ频率范围内品质因素从125下降为42。 展开更多
关键词 BST薄膜 al2o3 陶瓷基片 磁控溅射 可变电容
下载PDF
Al_2O_3基陶瓷及玻璃基底制备Ta-N薄膜微结构与电学特性的比较研究
8
作者 马扬昭 谢中 +3 位作者 周艳明 夏丰金 冯双磊 李科 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期23-26,共4页
在N2、Ar气氛中,采用反应直流磁控溅射法在Al2O3基陶瓷及玻璃基底上制备了Ta-N薄膜,并对各样品的形貌结构、化学组分及电学特性进行了比较分析研究。结果表明,沉积于Al2O3陶瓷及玻璃基底的Ta-N薄膜分别呈团簇状生长与层状紧密堆积生长;A... 在N2、Ar气氛中,采用反应直流磁控溅射法在Al2O3基陶瓷及玻璃基底上制备了Ta-N薄膜,并对各样品的形貌结构、化学组分及电学特性进行了比较分析研究。结果表明,沉积于Al2O3陶瓷及玻璃基底的Ta-N薄膜分别呈团簇状生长与层状紧密堆积生长;Al2O3陶瓷基底沉积的Ta-N为单相薄膜,而玻璃基底上的Ta-N薄膜,随N2、Ar流量比增加,呈单相向多相共存转变;薄膜表面形貌和微结构与基底材料的原始形貌和微结构紧密相关,这说明基底材料对薄膜的形成有重要的影响;N2、Ar流量比相同时,玻璃基底上沉积的Ta-N薄膜电性能优于Al2O3基陶瓷基底上沉积的Ta-N薄膜。 展开更多
关键词 al2o3基陶瓷基底 玻璃基底Ta-N薄膜反应磁控溅射氮分压 电阻温度系数
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部