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SOI-纳米技术时代的高端硅基材料
被引量：
8
1
作者
林成鲁
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期44-49,共6页
绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料。详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;...
绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料。详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;最后,对SOI技术的发展前景进行了展望。
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关键词
高端硅基材料
绝缘体上硅
绝缘体上应变硅
绝缘体上锗
下载PDF
职称材料
纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI
2
作者
林成鲁
刘卫丽
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期403-408,共6页
本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作。
关键词
高端硅基材料
绝缘体上硅(SOI)
绝缘体上应变硅(sSOI)
绝缘体上锗(GOI)
原文传递
题名
SOI-纳米技术时代的高端硅基材料
被引量：
8
1
作者
林成鲁
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
上海新傲科技有限公司
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期44-49,共6页
文摘
绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料。详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;最后,对SOI技术的发展前景进行了展望。
关键词
高端硅基材料
绝缘体上硅
绝缘体上应变硅
绝缘体上锗
Keywords
advanced
silicon
-
based
material
silicon
on
insulator
（SOI）
Strained
silicon
on
insulator（sSOI）
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI
2
作者
林成鲁
刘卫丽
机构
中科院上海微系统与信息技术研究所
出处
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期403-408,共6页
文摘
本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作。
关键词
高端硅基材料
绝缘体上硅(SOI)
绝缘体上应变硅(sSOI)
绝缘体上锗(GOI)
Keywords
advanced
silicon
-
based
material
s
silicon
on
insulator
（SOI）
strained
silicon
on
insulator
（sSOI）
germanium
on
insulator
（GOI）
分类号
TN304.05 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
SOI-纳米技术时代的高端硅基材料
林成鲁
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2008
8
下载PDF
职称材料
2
纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI
林成鲁
刘卫丽
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
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