磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电膜的性能研究 被引量：8

1

作者 贾芳 乔学亮 +2 位作者 陈建国 李世涛 王国锋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期38-41,共4页

选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量... 选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量为4时薄膜沉积速率最快。沉积AZO时充入氧气会使整个膜系的透光率不随Ag层增厚明显降低,并且会使膜系的方阻降低。在最优氧流量为4L/min(标准状态下,下同)上下各沉积59nm的AZO与氧流量为0时沉积33nm银层相匹配的复合膜在可见光区(包括基底)的透光率达到90%,方阻为2.5Ω/ □。 展开更多

关键词 磁控溅射 azo/ag/azo 透光导电膜 透射率

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铜铟镓硒薄膜太阳能电池新型图形化透明前电极研究 被引量：4

2

作者 郭凯 张传升 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期204-208,共5页

为了优化铜铟镓硒薄膜太阳能电池的前电极,提高铜铟镓硒薄膜太阳能电池的效率,提出了一种可应用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的AZO/图案化Ag薄膜/AZO结构的前电极,中间层的Ag薄膜与电池顶层的金属栅线具有完全相同的图案和尺寸,并且位于金... 为了优化铜铟镓硒薄膜太阳能电池的前电极,提高铜铟镓硒薄膜太阳能电池的效率,提出了一种可应用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的AZO/图案化Ag薄膜/AZO结构的前电极,中间层的Ag薄膜与电池顶层的金属栅线具有完全相同的图案和尺寸,并且位于金属栅线的正下方,这种新型结构可以提高电池前电极的电学性能,但对电池来说不会带来额外的光学损失。对比了新型前电极结构与几种传统前电极的电学和光学性能,并且制备了相应的电池进行了性能对比。实验结果表明,新型的前电极结构可以提高铜铟镓硒薄膜太阳能电池的短路电流,相对传统AZO电极,电池效率从13. 83%提高到14. 53%。本结构可以明显提高电池效率。 展开更多

关键词 铜铟镓硒 前电极 azo/图案化ag/azo azo/ag/azo 溅射

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有机玻璃基底AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与性能

3

作者 徐清源 张运生 +3 位作者 陈琛 冯海兵 黄鹏 祖成奎 《航空材料学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期87-97,共11页

采用低温磁控溅射技术在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯PMMA)表面制备铝掺杂氧化锌(AZO)叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响,探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜(SEM)、... 采用低温磁控溅射技术在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯PMMA)表面制备铝掺杂氧化锌(AZO)叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响,探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)表征薄膜的形貌和结构。结果表明:AZO的溅射功率影响了AZO层表面能以及薄膜的结晶度,在100 W和150 W溅射功率下制备出的AZO/Ag/AZO薄膜室温下具有3.7Ω/sq的低薄膜电阻和86.1%的高透光率,采用PMMA和聚氨酯胶片对薄膜进行层合封装,湿热30天后仍保持光学、电学性能稳定。PMMA层合结构在加温过程中的时间-温度曲线表明在5 V直流电压下层合玻璃具有较快的温度响应时间和良好的温度均匀性。-10~-40℃空气对流中PMMA层合结构表现出良好的温度稳定性。 展开更多

关键词 PMMA azo/ag/azo 层合 耐湿热性 电加温

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Ag缓冲层对ZnO:Al薄膜结构与光电性能的改善 被引量：3

4

作者 程静云 康朝阳 +2 位作者 宗海涛 曹国华 李明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期322-329,共8页

在室温条件下,采用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备出了一系列高质量的AZO薄膜和不同Ag缓冲层厚度的AZO/Ag/AZO复合薄膜.利用x射线衍射和原子力显微镜分别对薄膜的物相和表面形貌进行了表征;利用霍尔效应测试仪和紫外一可见光分光光度... 在室温条件下,采用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备出了一系列高质量的AZO薄膜和不同Ag缓冲层厚度的AZO/Ag/AZO复合薄膜.利用x射线衍射和原子力显微镜分别对薄膜的物相和表面形貌进行了表征;利用霍尔效应测试仪和紫外一可见光分光光度计等实验技术对薄膜的光电性能进行了研究.实验结果表明,Ag缓冲层厚度对AZO薄膜的晶体结构和光电性能影响较大.当Ag层厚度为10 nm时,AZO(30nm)/Ag(10 nm)/AZO(30 nm)薄膜拥有最优品质因子,为1.59×10^(-1)Ω^(-1),方块电阻为0.75Ω/□,可见光区平均透过率为84.2%.另外,薄膜电阻随温度的变化趋势呈现金属电阻随温度的变化特性,光电热稳定性较好. 展开更多

关键词 射频磁控溅射 azo/ag/azo 光电性能

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Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜性能的影响 被引量：2

5

作者 李明亮 刘利 沈燕 《真空》 CAS 2020年第1期31-34,共4页

在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜... 在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜的电阻率不断降低,透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势,其中Ag层厚度为8nm的样品获得最大品质因子33.1×10^-3Ω^-1,综合性能最佳。 展开更多

关键词 透明导电薄膜 azo/ag/azo 室温沉积

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Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响的研究

6

作者 张健峰 《中国设备工程》 2023年第17期132-134,共3页

透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层... 透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层厚度增加时,AZO/Ag/AZO薄膜的(002)衍射峰略向较高的角度移动且半高宽略微增大,晶粒尺寸和晶面间距减小。AZO/Ag/AZO薄膜的电阻率,方块电阻,光学透射率与Ag层的厚度密切相关。随着Ag层厚度的增加,电阻率减小,透射率减小。品质因数表明,其中Ag层厚为5nm的AZO/Ag/AZO三层薄膜具有较好的光电性能。 展开更多

关键词 透明导电薄膜 azo/ag/azo 磁控溅射法 ag层厚度

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Ag夹层厚度对PMMA基底上AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响

7

作者 徐清源 张运生 +3 位作者 冯海兵 陈琛 黄鹏 祖成奎 《武汉理工大学学报》 CAS 2022年第10期11-16,共6页

室温下在预制有底涂的有机玻璃(PMMA)表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明:更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长,AZO(50nm)/Ag(13nm)/A... 室温下在预制有底涂的有机玻璃(PMMA)表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明:更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长,AZO(50nm)/Ag(13nm)/AZO(50nm)结构具有84.3%的高透射率和3.4Ω/□的低薄膜电阻,与PMMA基底上沉积的其他薄膜材料相比具有最佳的光电性能;基于AZO/Ag/AZO叠层膜的PMMA电加热器件在5V的低电压载荷下表现出良好的升温效果;低温下13nm Ag夹层厚度的PMMA电加热器件具有更稳定的温度可重复性以及更小的表面温差,在最低-40℃环境下升温范围可达43℃,满足低温下的除冰除霜需求。作为传统ITO薄膜的高性能替代方案,基于AZO/Ag/AZO薄膜的PMMA电加热器件在航空电加热窗口领域有良好的应用前景。 展开更多

关键词 azo/ag/azo PMMA ag膜厚度 光电性能 电加热

原文传递

粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性 被引量：1

8

作者 刘思宁 周艳文 +1 位作者 吴川 吴法宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期937-943,共7页

室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分... 室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分析;采用紫外可见分光光度计和霍尔效应仪分别对薄膜的光电性能进行检测分析。结果表明,所制备的三层膜表面平整,颗粒大小错落均称;三层膜呈现多晶结构,AZO层薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构,Ag层薄膜具有(111)择优取向的立方结构;当三层薄膜为AZO(20 nm)/Ag(12 nm)/AZO(20 nm)时,在550 nm处的透光率为88%,方块电阻为4.3Ω/□,电阻率为2.2×10^(-5)Ω·cm,载流子浓度为2.8×1022/cm^3,迁移率为10 cm^2/(V·s),品质因子为3.5×10-2Ω^(-1)。 展开更多

关键词 azo/ag/azo 多层透明导电薄膜 六方纤锌矿结构 粉末靶 射频磁控溅射

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AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的制备及其物性分析

9

作者 杨波 《科技创新与应用》 2019年第8期96-97,共2页

文章在溶胶燃烧法制备的AZO薄膜的基础上,将银层导入其中,制备出AZO/Ag/AZO三层结构透明导电薄膜。并对得到的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。

关键词 azo/ag/azo 溶胶燃烧 azo 真空蒸镀

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柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究

10

作者 周丽丹 胡洁 +3 位作者 朱刚毅 陈少飞 何依婷 江绍基 《光学与光电技术》 2016年第6期82-86,92,共6页

为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag... 为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响。通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40~45nm,Ag层厚度8nm时,在可见光波段的透过率高达到92%,电阻率低至4.0×10^(-5)Ω·cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10^(-2)Ω^(-1)。得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能。 展开更多

关键词 透明导电薄膜 三层结构azo薄膜 柔性衬底 直流磁控溅射 膜系优化

原文传递

基于AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的染料敏化太阳电池研究

11

作者 李俊泓 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期777-780,共4页

采用化学气相沉积和直流溅射沉积方法成功制备了与基体附着力高的不同Pt厚度的Pt/碳纳米管(CNT)膜层。通过扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)分别对薄膜厚度和表面形貌以及膜层中Pt的含量进行了研究;通过电化学阻抗谱和循环伏安曲线... 采用化学气相沉积和直流溅射沉积方法成功制备了与基体附着力高的不同Pt厚度的Pt/碳纳米管(CNT)膜层。通过扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)分别对薄膜厚度和表面形貌以及膜层中Pt的含量进行了研究;通过电化学阻抗谱和循环伏安曲线分别对Pt和Pt/CNT对电极的光电催化性进行了研究。结果表明:CNT与基体具有良好的接触性,并且随Pt沉积时间的增加,Pt在CNT薄膜中的含量增加,染料敏化太阳电池(DSSC)的光电转化效率随Pt厚度的增加而增加;与单纯的Pt对电极相比,Pt/CNT对电极具有更高的活性比表面,更低的电子迁移电阻以及更高的还原电流密度;以Pt(80 nm)/CNT为对电极的DSSC具有最高的光电转化效率8.54%;另外,与Pt(80 nm)对电极相比,以Pt(40 nm)/CNT为对电极制备的DSSC具有更高的光电转化效率,因此,该新型对电极结构可大大节省贵金属Pt的用量,在DSSC的应用中具有很大的潜力。 展开更多

关键词 染料敏化太阳电池 铝掺杂氧化锌(azo)/银/azo多层膜 铌掺杂二氧化钛阻挡膜 Pt/CNT对电极

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柔性AZO/NiCr/Ag/NiCr/AZO透明导电玻璃结构对性能的影响

12

作者 姚婷婷 王天齐 +3 位作者 王伟 汪冰洁 李刚 甘治平 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期449-455,共7页

目的室温制备柔性透明导电玻璃并提高其光电性能。方法采用直流磁控溅射法,以柔性玻璃为基底,在室温下沉积(Aluminum-doped ZnO,AZO)/NiCr/Ag/NiCr/AZO多层结构透明导电玻璃。通过探针轮廓仪测试、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)... 目的室温制备柔性透明导电玻璃并提高其光电性能。方法采用直流磁控溅射法,以柔性玻璃为基底,在室温下沉积(Aluminum-doped ZnO,AZO)/NiCr/Ag/NiCr/AZO多层结构透明导电玻璃。通过探针轮廓仪测试、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)测试、拉曼光谱仪测试、分光光度计测量、四探针测试和霍尔效应测试,分别获得了样品的各层薄膜厚度、X射线衍射图谱、拉曼光谱、透光率、方块电阻和电学性能。经过参数优化,选取Ag膜厚度为3~15 nm的样品,研究Ag膜厚度对玻璃样品的结构特征及光电性能的影响。结果样品光电性能与Ag层厚度密切相关,随着中间Ag层厚度的增加,样品在380~760 nm波长范围内的平均光透光率先增加后降低,吸收边依次发生了红移,样品的方块电阻则随着Ag层厚度的增加单调减小。Ag膜厚度为12 nm的样品综合光电性能最佳,其平均透光率为82.4%,载流子浓度为8.32×10^(21) cm^(‒3),载流子迁移率为8.21 cm^(2)/(V·s),电阻率为9.15×10^(‒5)Ω·cm,方块电阻为8.8Ω/sq,品质因子可达16.4×10^(–3)Ω^(–1)。结论说明可以通过透明导电薄膜结合金属薄膜在室温下获得柔性透明导电玻璃,并具有较好的透光性能和导电性。 展开更多

关键词 柔性 透明导电玻璃 azo/NiCr/ag/NiCr/azo ag厚度 透光率 品质因子

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