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氮气氛围下热处理的Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的低温介电性能研究 被引量:1
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作者 朱夏 李亚巍 +1 位作者 沈育德 褚君浩 《南通大学学报(自然科学版)》 CAS 2013年第2期72-77,共6页
采用溶胶凝胶法在LiNaO3(LNO)衬底上制备Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)薄膜.部分NBT薄膜在氮气氛围下进行了热处理,记为NBT-N2.在100~400 K的温度范围内,测量了NBT-N2的介电性能.NBT-N2薄膜的介电频谱中出现了损耗峰,存在弛豫现象.利用Arrheniu... 采用溶胶凝胶法在LiNaO3(LNO)衬底上制备Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)薄膜.部分NBT薄膜在氮气氛围下进行了热处理,记为NBT-N2.在100~400 K的温度范围内,测量了NBT-N2的介电性能.NBT-N2薄膜的介电频谱中出现了损耗峰,存在弛豫现象.利用Arrhenius公式拟合弛豫所对应的激活能,发现在NBT-N2薄膜中存在2个热激活过程:一个对应氧空位电离引入的极化子的跳跃跃迁;另一个对应导电电子与偏离氧八面体中心的Ti离子之间的耦合.此外,采用复阻抗谱分析了NBT-N2薄膜中的介电弛豫过程,在测试温度范围内,随着温度的升高,该弛豫过程逐渐趋向于理想的德拜模型. 展开更多
关键词 氮气氛围 热处理 Na0 5Bi0 5tio3薄膜 低温介电性能
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溅射工艺参数对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜沉积速率和介电性能的影响 被引量:7
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作者 林明通 陈国荣 +2 位作者 杨云霞 肖田 楼均辉 《真空》 CAS 北大核心 2005年第6期39-42,共4页
铁电/介电BST(B axS r1-xT iO3)薄膜在微电子学、集成光学和光电子学等新技术领域有广泛的应用前景。用射频磁控溅射方法制备了厚约700 nm的B a0.5S r0.5T iO3薄膜,采用A l/BST/ITO结构研究了溅射功率、溅射气压、O2/(A r+O2)比和基片... 铁电/介电BST(B axS r1-xT iO3)薄膜在微电子学、集成光学和光电子学等新技术领域有广泛的应用前景。用射频磁控溅射方法制备了厚约700 nm的B a0.5S r0.5T iO3薄膜,采用A l/BST/ITO结构研究了溅射功率、溅射气压、O2/(A r+O2)比和基片温度对上述BST薄膜沉积速率和介电性能的影响,并根据这些结果分析了较优的工艺条件,同时用XRD、XPS和SEM研究了薄膜的晶相、组成和显微结构。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 沉积速率 介电常数 击穿场强 品质因子
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改进水热法制备Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜及其表征 被引量:3
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作者 赖欣 高道江 毕剑 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1673-1676,共4页
采用改进水热法(金属Ti片与等浓度的Ba2+,Sr2+强碱性溶液于250℃水热反应5h,然后经过600℃,0.5h烧结处理)制备了单一立方相的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜。制备的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜通过XRD,SEM和XPS进行表征分析。结果表明:600℃下经过0.5h烧... 采用改进水热法(金属Ti片与等浓度的Ba2+,Sr2+强碱性溶液于250℃水热反应5h,然后经过600℃,0.5h烧结处理)制备了单一立方相的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜。制备的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜通过XRD,SEM和XPS进行表征分析。结果表明:600℃下经过0.5h烧结处理的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜结晶更完整;同时,制备的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜表面吸附有OH,经过10min刻蚀处理后,吸附的OH能谱峰消失。 展开更多
关键词 改进 水热 制备 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 表征
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Fe掺杂对Ba_0.5Sr_0.5TiO_3薄膜微观结构与电学性质的影响研究
4
作者 娄本浊 《陶瓷》 CAS 2012年第15期23-25,共3页
笔者利用射频磁控溅镀法在Pt/SiO2/Si(100)基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0.5%、1.0%、2.0%、3.0%及5.0%的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,并讨论了Fe掺杂含量对其微观结构结与电学性质的影响。由XRD分析可知,Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的晶体结... 笔者利用射频磁控溅镀法在Pt/SiO2/Si(100)基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0.5%、1.0%、2.0%、3.0%及5.0%的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,并讨论了Fe掺杂含量对其微观结构结与电学性质的影响。由XRD分析可知,Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的晶体结构并无较大的影响;从SEM结果则可得出,微量Fe掺杂时薄膜较为致密,且晶粒大小较一致。电性结果表明,掺Fe薄膜的相对介电常数和电容均呈现下降趋势,且Fe掺杂含量分别为0.5%、1.0%及2.0%时薄膜具有较小的漏电流密度。 展开更多
关键词 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 Fe掺杂效应 射频磁控溅镀法 微观结构 电学性质
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Sr_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3双层薄膜的微观结构
5
作者 王明光 祁阳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期12114-12117,共4页
采用脉冲激光沉积法在(001)LaAlO_3衬底上制备了Sr_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜,利用透射电子显微镜对薄膜的微观结构进行了研究。结果表明,底电极La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3在LaAlO_3衬底上外延生长并形成立方-立方取向... 采用脉冲激光沉积法在(001)LaAlO_3衬底上制备了Sr_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜,利用透射电子显微镜对薄膜的微观结构进行了研究。结果表明,底电极La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3在LaAlO_3衬底上外延生长并形成立方-立方取向关系。不同于块体结构,LSCO薄膜发生了结构转变,形成一种氧缺位有序调制结构。整个薄膜由大量取向畴组成,其中包含一些层错与反相畴界等缺陷。生长温度为500℃时,Sr_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3薄膜为柱状多晶结构;当温度升高至820℃时,薄膜为缺陷较少的单晶结构。 展开更多
关键词 Sr0.5Ba0.5tio3薄膜 微观结构 脉冲激光沉积 透射电子显微镜 取向畴
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沉积温度和退火处理对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3介电性能的影响
6
作者 楼均辉 林明通 +3 位作者 陈国荣 杨云霞 肖田 陈晨曦 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期351-353,共3页
采用射频磁控溅射法在ITO/Coming1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700hm的Ba0.5-Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响。实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电... 采用射频磁控溅射法在ITO/Coming1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700hm的Ba0.5-Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响。实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电流密度增加,击穿场强下降。对于在500℃下沉积的薄膜在550~700℃、1.8×10^-2Pa氧气氛中进行30min退火处理,结果发现在550℃和600℃下热处理介电损耗有所改善,其它参数都劣化;在650℃-700℃下热处理介电常数显著增加,其它性能都变差。 展开更多
关键词 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 介电性能 沉积温度 退火处理
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Effect of LaNiO_3 Interlayer on the Dielectric Properties of Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 Thin Film on Si Substrate
7
作者 张丛春 杨春生 +1 位作者 石金川 饶瑞 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2009年第2期133-136,共4页
In this study,(100)-oriented growth of Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3(BST)/LaNiO_3(LNO) stacks was obtained on Pt(111)/SiO_2/Si substrates by r.f.magnetron sputtering.The orientation of the subsequently deposited Ba_(0.5)Sr_(0... In this study,(100)-oriented growth of Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3(BST)/LaNiO_3(LNO) stacks was obtained on Pt(111)/SiO_2/Si substrates by r.f.magnetron sputtering.The orientation of the subsequently deposited Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 thin film was strongly affected by the LNO under layer,and the BST thin film deposited on the(100)LNO-coated Si substrate was also found to have a significant(100)-oriented texture.Effects of LNO interlayer on the dielectric properties of BST thin films were investigated.As a result,the tunability of BST thin film was greatly improved with the insertion of(100)-oriented LNO under layer with proper thickness. 展开更多
关键词 magnetron sputtering thin films ORIENTAtioN buffer layer dielectric properties
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溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜
8
作者 王树彬 马学锋 +1 位作者 史伟荣 张跃 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期904-907,共4页
以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,采用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷基片上制备钛酸锶钡铁电薄膜.用差热分析、红外光谱分析和X-射线衍射分析,确定了薄膜的热处理工艺;采用逐层热处理方式获得Ba0.5Sr0.5... 以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,采用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷基片上制备钛酸锶钡铁电薄膜.用差热分析、红外光谱分析和X-射线衍射分析,确定了薄膜的热处理工艺;采用逐层热处理方式获得Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.研究表明:在溶胶制备过程中加入一定量的干燥化学控制添加剂、采用逐层热处理工艺、降低升温速率以及增加保温时间,能够有效防止薄膜开裂;X-射线衍射分析结果显示,所制备的Ba0.5S0.5TiO3薄膜呈钙钛矿结构;SEM观察结果显示薄膜结晶完善,致密无开裂. 展开更多
关键词 Ba0.5S0.5tio3薄膜 溶胶-凝胶法 干燥化学控制剂
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用PLD在不同衬底上制备Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜
9
作者 马维云 《科技传播》 2011年第18期143-144,共2页
用固相反应法制备了Ba0.5Sr0.5TiO3靶材,采用在LaAl03(100)衬底上PLD法制备Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的最佳条件(衬底温度760℃,生长氧压5Pa,脉冲激光能量350mj,频率5Hz,不退火直接降温),利用PLD技术在LaAl03(100),SrTiO3(100),LSAT(100)单晶... 用固相反应法制备了Ba0.5Sr0.5TiO3靶材,采用在LaAl03(100)衬底上PLD法制备Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的最佳条件(衬底温度760℃,生长氧压5Pa,脉冲激光能量350mj,频率5Hz,不退火直接降温),利用PLD技术在LaAl03(100),SrTiO3(100),LSAT(100)单晶平衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜。通过分析x射线衍射图谱,晶格失配度,单θ摇摆曲线半高宽,表明在三种衬底上薄膜是沿[00I]取向的近外延生长,影响薄膜生长的主要因素并不是衬底与晶格的失配度,如希望消除失配度对薄膜生长造成的不利影响,我们可以通过优化PLD工艺参数,这在一定程度上是有效的。 展开更多
关键词 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 晶格失配度 单θ摇摆曲线 PLD
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Z-扫描技术测量(Na_(0.5)Bi_(0.5))TiO_3薄膜非线性折射率 被引量:1
10
作者 张婷 何家梅 +1 位作者 丁玲红 张伟风 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2007年第1期14-17,共4页
描述了一种重要的测量多种物质的光学非线性折射率的单光束Z-扫描测试技术,被测样品放置于汇聚高斯光束的光轴(Z轴)上,样品在焦点附近沿Z轴移动,在远场处放置带有小孔的屏,通过测量样品的透过率与样品位置的关系,即可得到材料的非线性... 描述了一种重要的测量多种物质的光学非线性折射率的单光束Z-扫描测试技术,被测样品放置于汇聚高斯光束的光轴(Z轴)上,样品在焦点附近沿Z轴移动,在远场处放置带有小孔的屏,通过测量样品的透过率与样品位置的关系,即可得到材料的非线性折射率.利用此技术,测量了(Na0.5Bi0.5)TiO3薄膜样品的非线性折射率. 展开更多
关键词 Z-扫描技术 非线性折射率 (Na0.5Bi0.5)tio3薄膜
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锶盐文摘
11
《无机盐技术》 2007年第5期54-54,共1页
以偏钛酸为钛源制备Sr0.05Ba0.95TiO3电子粉体;熔盐法合成钛酸锶铋;溶胶低温燃烧法制备Ba0.7Sr0.3TiO3纳米粉体;Mn掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介电性能的影响。
关键词 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 Ba0.7Sr0.3tio3 文摘 锶盐 低温燃烧法 电子粉体 钛酸锶铋 纳米粉体
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锶盐文摘
12
《无机盐技术》 2007年第4期53-53,共1页
青海省柴达木盆地西部锶矿成矿古地理环境;Mg掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介电性能的影响;碳酸锶在硝酸铵溶液中的溶解动力学;纳米晶钛酸锶钡(Ba0.5Sr0.
关键词 Ba0.5Sr0.5tio3薄膜 柴达木盆地西部 文摘 锶盐 微波水热合成 古地理环境 溶解动力学 硝酸铵溶液
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