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三维叠层DRAM封装中硅通孔开路缺陷的模拟(英文)
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作者 Li Jiang Yuxi Liu +2 位作者 Lian Duan Yuan Xie Qiang Xu 《电子工业专用设备》 2011年第1期29-41,共13页
采用硅通孔(TSV)技术的三维堆叠封装,是一种很有前途的解决方案,可提供微处理器低延迟,高带宽的DRAM通道。然而,在3D DRAM电路中,大量的TSV互连结构,很容易产生开路缺陷和耦合噪声,从而导致了新的测试挑战。通过大量的模拟研究,本文模... 采用硅通孔(TSV)技术的三维堆叠封装,是一种很有前途的解决方案,可提供微处理器低延迟,高带宽的DRAM通道。然而,在3D DRAM电路中,大量的TSV互连结构,很容易产生开路缺陷和耦合噪声,从而导致了新的测试挑战。通过大量的模拟研究,本文模拟了在三维DRAM电路的字线与位线中出现的TSV开路缺陷的故障行为,它作为有效测试和诊断这种缺陷方法的第一步。 展开更多
关键词 三维堆叠封装 硅通孔 开路缺陷 耦合噪声 测试方法 诊断方法
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圆片级封装的研究进展 被引量:6
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作者 刘培生 仝良玉 +3 位作者 黄金鑫 沈海军 施建根 朱海清 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期68-72,共5页
圆片级封装(wafer level package,WLP)因其在形状因数、电性能、低成本等方面的优势,近年来发展迅速。概述了WLP技术近几年的主要发展。首先回顾标准WLP结构,并从焊球结构等方面对其进行了可靠性分析。其次介绍了扩散式WLP工艺以及它的... 圆片级封装(wafer level package,WLP)因其在形状因数、电性能、低成本等方面的优势,近年来发展迅速。概述了WLP技术近几年的主要发展。首先回顾标准WLP结构,并从焊球结构等方面对其进行了可靠性分析。其次介绍了扩散式WLP工艺以及它的典型应用,并说明了扩散式WLP存在的一些可靠性问题。最后总结了WLP技术结合硅通孔技术(TSV)在三维叠层封装中的应用。 展开更多
关键词 圆片级封装 标准WLP 综述 扩散式WLP 3D叠层封装
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基于电感耦合互连的三维集成电路测试方法
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作者 崔洋 熊杰 +6 位作者 杨卓 高浩 郑攀 蔡雯雯 邹维 邹雪城 张力 《微纳电子与智能制造》 2024年第1期46-51,共6页
电感耦合互连是一种用于三维芯片堆叠封装的无线互连技术。与硅通孔技术相比,它能以更高的灵活性和更低的成本提供芯片间的高带宽通信。然而,在基于电感耦合互连的多芯片堆叠系统中,由于没有物理连接,芯片的功能测试较为困难。为确保信... 电感耦合互连是一种用于三维芯片堆叠封装的无线互连技术。与硅通孔技术相比,它能以更高的灵活性和更低的成本提供芯片间的高带宽通信。然而,在基于电感耦合互连的多芯片堆叠系统中,由于没有物理连接,芯片的功能测试较为困难。为确保信号传输的正确性和稳定性,还需要对电感耦合信号的传输质量进行测试。本文提出了基于电感耦合互连的三维芯片系统测试方法,包括片内自测、芯片层级自排序、片间互测的自测试以及对电感耦合的传输功率进行自动调优。本方法提高了无线三维芯片的可测试性和可显现性,降低了三维芯片测试成本,并提高了测试效率。 展开更多
关键词 集成电路 电感耦合 三维芯片堆叠 三维片上网络 可测试性设计 互联网络
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基于环氧树脂灌封的三维叠层组件裂纹问题分析与对策研究 被引量:5
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作者 顾毅欣 杨宇军 +2 位作者 张丁 余欢 李晗 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2017年第2期53-57,共5页
对基于环氧树脂灌封的三维叠层组件经过温度循环等考核后出现裂纹的机理进行探讨,通过分析认为,裂纹是灌封过程中引入的固有缺陷,后续在固化过程中收缩应力及热应力的作用下形成.并从优化固化条件、提高材料间的热匹配性以及改善灌封工... 对基于环氧树脂灌封的三维叠层组件经过温度循环等考核后出现裂纹的机理进行探讨,通过分析认为,裂纹是灌封过程中引入的固有缺陷,后续在固化过程中收缩应力及热应力的作用下形成.并从优化固化条件、提高材料间的热匹配性以及改善灌封工艺等方面提出具体的解决措施,提高了三维叠层组件的可靠性. 展开更多
关键词 树脂灌封 三维叠层组件 应力 裂纹
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混合键合技术在三维堆叠封装中的研究进展 被引量:1
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作者 赵心然 袁渊 +1 位作者 王刚 王成迁 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第3期190-198,共9页
随着半导体技术的发展,传统倒装焊(FC)键合已难以满足高密度、高可靠性的三维(3D)互连技术的需求。混合键合(HB)技术是一种先进的3D堆叠封装技术,可以实现焊盘直径≤1μm、无凸点的永久键合。阐述了HB技术的发展历史、研究进展并预测了... 随着半导体技术的发展,传统倒装焊(FC)键合已难以满足高密度、高可靠性的三维(3D)互连技术的需求。混合键合(HB)技术是一种先进的3D堆叠封装技术,可以实现焊盘直径≤1μm、无凸点的永久键合。阐述了HB技术的发展历史、研究进展并预测了发展前景。目前HB技术的焊盘直径/节距已达到0.75μm/1.5μm,热门研究方向包括铜凹陷、圆片翘曲、键合精度及现有设备兼容等,未来将突破更小的焊盘直径/节距。HB技术将对后摩尔时代封装技术的发展起到变革性作用,在未来的高密度、高可靠性异质异构集成中发挥重要的作用。 展开更多
关键词 混合键合(HB) 先进封装 三维(3D)堆叠 无凸点键合 范德华力
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基于波多黎各飓风灾难的无人机救援规划研究 被引量:1
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作者 曹梁文 朱俊志 +2 位作者 尚永涛 贺香雨 肖宇 《信息技术与信息化》 2019年第7期167-171,共5页
2017年,波多黎各岛遭受了最严重的飓风,基于这种情况,非政府组织试图开发相应的无人机灾害应对系统。我们将对此展开研究,通过退火算法、遗传算法、蚁群算法、2D/3D空间堆箱优化模型等算法的整合,我们给出能够在灾区救援任务中最大化救... 2017年,波多黎各岛遭受了最严重的飓风,基于这种情况,非政府组织试图开发相应的无人机灾害应对系统。我们将对此展开研究,通过退火算法、遗传算法、蚁群算法、2D/3D空间堆箱优化模型等算法的整合,我们给出能够在灾区救援任务中最大化救援效率的方案。并综合了给方面的影响因素,给出我们的模型救援规划方案的可行性。在最终,我们得出针对于无人机的选择问题,最佳利用率为99.047%。针对灾难响应系统最佳位置的选择问题,灾难响应系统经纬度分别为(-65.74°,18.30°),(-66.13°,18.41°)和(-66.73°,18.47°)。 展开更多
关键词 退火算法 遗传算法 2D/3D空间堆箱优化模型 线路优化
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三维片上网络体系结构研究综述 被引量:6
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作者 李晨 马胜 +1 位作者 王璐 郭阳 《计算机学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第9期1812-1828,共17页
伴随着三维集成电路的迅速发展,三维片上网络受到国内外研究者的广泛关注.三维片上网络主要用于实现三维堆叠芯片的互连通信,为三维集成电路提供超低的延迟和竖直方向上超高的带宽,从而解决系统集成度增加导致的通信瓶颈问题,有利于克... 伴随着三维集成电路的迅速发展,三维片上网络受到国内外研究者的广泛关注.三维片上网络主要用于实现三维堆叠芯片的互连通信,为三维集成电路提供超低的延迟和竖直方向上超高的带宽,从而解决系统集成度增加导致的通信瓶颈问题,有利于克服存储墙问题并提高三维堆叠芯片的性能.文章介绍了三维集成电路研究现状及其结构优势,分析三维片上网络体系结构的特点和存在的问题,包括竖直方向的单跳传播问题、路由器交叉开关的复杂度控制问题以及热效应的控制问题,从系统层、微结构层和电路层对三维片上网络体系结构的研究热点及其实例进行了深入分析,最后对三维片上网络所面临的挑战和设计方法进行了总结和展望. 展开更多
关键词 计算机体系结构 三维堆叠 三维集成电路 三维片上网络
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硅通孔三维堆叠芯片可靠性标准研究
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作者 李锟 《信息技术与标准化》 2024年第7期42-46,共5页
针对硅通孔(TSV)三维堆叠芯片在微电子封装领域面临的可靠性挑战,阐述了TSV三维堆叠的工艺流程,分析了TSV孔的制造、芯片减薄、三维键合和组装等关键工艺环节对可靠性的影响,并探讨了TSV孔的质量和可靠性等问题。基于当前TSV三维堆叠芯... 针对硅通孔(TSV)三维堆叠芯片在微电子封装领域面临的可靠性挑战,阐述了TSV三维堆叠的工艺流程,分析了TSV孔的制造、芯片减薄、三维键合和组装等关键工艺环节对可靠性的影响,并探讨了TSV孔的质量和可靠性等问题。基于当前TSV三维堆叠芯片的可靠性标准,明确了可靠性应力试验条件与推荐的检测方法,为提升TSV三维堆叠芯片的可靠性和制造效率提供科学依据和实践策略,促进技术的优化与升级。 展开更多
关键词 硅通孔 三维堆叠 可靠性
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射频系统级封装互连技术研究进展 被引量:4
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作者 曾策 廖承举 +2 位作者 卢茜 张继帆 廖翱 《导航与控制》 2022年第3期46-57,91,共13页
军事电子装备和民用通信系统复杂度日益提升,射频(Radio Frequency,RF)集成技术正从传统的混合集成技术或多芯片组件技术向芯片化的系统级封装技术(System in Packaging,SiP)快速发展。对射频系统级封装(RF-SiP)中的高性能互连技术需求... 军事电子装备和民用通信系统复杂度日益提升,射频(Radio Frequency,RF)集成技术正从传统的混合集成技术或多芯片组件技术向芯片化的系统级封装技术(System in Packaging,SiP)快速发展。对射频系统级封装(RF-SiP)中的高性能互连技术需求进行了分析,依据先进封装互连技术的发展趋势,总结了芯片倒装集成、芯片埋置与扇出以及三维堆叠等技术在面向RF-SiP应用的最新研究进展,最后提出了射频系统级封装互连技术的主要挑战和发展方向。 展开更多
关键词 射频系统级封装 芯片倒装 芯片埋置与扇出 三维堆叠
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微系统封装关键工艺设备发展现状及国产化分析
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作者 罗天 刘佳甲 石倩楠 《电子工业专用设备》 2023年第6期1-9,共9页
以硅通孔(TSV)、再布线(RDL)、微凸点(Bumping)、封装组装为典型特征的微系统封装技术已成为后摩尔时代集成电路发展的新趋势,其实现途径的主要基础工艺包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、电镀、键合、减薄等。从微系统封装工艺出发,系统梳理... 以硅通孔(TSV)、再布线(RDL)、微凸点(Bumping)、封装组装为典型特征的微系统封装技术已成为后摩尔时代集成电路发展的新趋势,其实现途径的主要基础工艺包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、电镀、键合、减薄等。从微系统封装工艺出发,系统梳理了主要工艺设备需求、发展现状以及国产化进展。通过现状及趋势的分析对比,认为微系统封装技术已进入行业发展机遇期,其所需的工艺设备对制程节点要求相对较低,对设备种类要求较多,可作为制造设备国产化的重要平台大力发展,提升半导体产业链供应链韧性与安全水平。 展开更多
关键词 工艺设备 3D堆叠 微系统集成 先进封装 通孔 微凸点 再布线
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适用于数字T/R组件的小型化三维SiP收发变频模块设计
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作者 宋俊欣 杨旭 +1 位作者 潘碑 柳超 《电子与封装》 2023年第11期68-73,共6页
研究并实现了适用于数字T/R组件的2种小型化三维系统级封装(SiP)收发变频模块的设计。为了获得更高的隔离度与杂散指标,设计了2种SiP变频模块,分别实现Ku波段和S波段的一次变频功能,模块内部集成双向放大器、滤波器和混频器等。SiP变频... 研究并实现了适用于数字T/R组件的2种小型化三维系统级封装(SiP)收发变频模块的设计。为了获得更高的隔离度与杂散指标,设计了2种SiP变频模块,分别实现Ku波段和S波段的一次变频功能,模块内部集成双向放大器、滤波器和混频器等。SiP变频模块采用三维垂直互联、板级堆叠工艺(POP)、LC滤波器等多种技术,每个模块的尺寸仅有14.2 mm×8.5 mm×3.8 mm。2种SiP模块组合使用可实现信号在Ku波段至125 MHz的2次收发变频功能,8.5 mm的宽度非常适用于数字T/R组件。同时给出了SiP模块化数字T/R组件的设计解决方案。 展开更多
关键词 SiP模块 三维堆叠 球栅阵列结构封装技术 数字T/R
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磁阻式随机存储器MRAM在片上高速缓存方面的应用 被引量:3
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作者 雷馨 《重庆科技学院学报(自然科学版)》 CAS 2010年第5期164-167,共4页
介绍MRAM在不同层次的高速缓存方面的应用,讨论了如何用MRAM构建高速缓存,并与传统的SRAM和DRAM进行了比较,介绍了提高MRAM性能和降低其功耗的新方法。
关键词 MRAM 高速缓存 3D堆叠 SRAM-MRAM混合结构
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玻璃基三维集成技术在宽带射频领域的应用 被引量:2
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作者 卢茜 张剑 +2 位作者 王文博 董乐 向伟玮 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2021年第5期434-437,共4页
玻璃材料具有良好的射频传输特性和可加工性,在先进封装领域获得广泛关注。文中针对宽带射频领域对于三维封装的需求,研究了玻璃转接板加工以及玻璃基三维堆叠工艺,测试了玻璃堆叠结构的射频性能。在此基础上将射频芯片嵌入在由玻璃转... 玻璃材料具有良好的射频传输特性和可加工性,在先进封装领域获得广泛关注。文中针对宽带射频领域对于三维封装的需求,研究了玻璃转接板加工以及玻璃基三维堆叠工艺,测试了玻璃堆叠结构的射频性能。在此基础上将射频芯片嵌入在由玻璃转接板和转接框形成的空腔内,实现了两层射频链路的垂直堆叠,从而形成工作频率2 GHz~18 GHz的宽带玻璃基变频微模组,其测试性能与设计仿真一至,说明结构工艺路径可行,最后对玻璃封装技术的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 玻璃转接板 三维堆叠 宽带射频
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满足高密度组装的SMT三维封装堆叠技术 被引量:2
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作者 胡志勇 《印制电路信息》 2009年第10期58-61,69,共5页
随着人们对手持式电子设备不断提出的微型化、多功能化和集成化的需求,转化为采用三维(3D)方式装配印制电路板(PCB)强大推动力。实现三维装配的成功道路之一是通过在芯片规模封装(CSP)采用晶芯堆叠的方法,实现三维装配的另外一条成功之... 随着人们对手持式电子设备不断提出的微型化、多功能化和集成化的需求,转化为采用三维(3D)方式装配印制电路板(PCB)强大推动力。实现三维装配的成功道路之一是通过在芯片规模封装(CSP)采用晶芯堆叠的方法,实现三维装配的另外一条成功之路是通过封装器件的堆叠来实现。文章中将封装堆叠作为SMT工艺流程中的一个组成部分进行了介绍。 展开更多
关键词 三维堆叠 封装 表面贴装技术 高密度 电子组装
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一种适用于POP工艺GNC模块的测试系统设计
15
作者 程瑞楚 柴波 郭刚强 《计算机测量与控制》 2022年第7期35-40,90,共7页
高可靠性POP工艺的GNC模块,采用了无框架结构,以三维互连为层规划准则,集成了信息处理组件和多种传感器,通过三维堆叠实现了立体互连,形成具有多种外设接口的正交立体集成结构的导航制导通信模块;然而,由于其高集成度和小型化的特点,导... 高可靠性POP工艺的GNC模块,采用了无框架结构,以三维互连为层规划准则,集成了信息处理组件和多种传感器,通过三维堆叠实现了立体互连,形成具有多种外设接口的正交立体集成结构的导航制导通信模块;然而,由于其高集成度和小型化的特点,导致其存在测试难度大、测试耗时长等问题。针对以上问题,文章采用主从协同系统设计方法,构建了一种针对小型化航天电子产品的新型测试系统,测试系统硬件部分采用小型化、嵌入式设计,实现对产品在特殊环境条件下的测试;软件架构采用分层构件化设计,将单元测试和专项测试相结合,对产品各项功能和性能实行独立测试;经实际应用证明满足对GNC产品的测试需求,该测试系统功能齐全,操作简单,利于总体维护及系统级调试,功能测试时间仅需8~10秒,将工作效率提升了50%,是对GNC模块可测性、可算性的巨大提升。 展开更多
关键词 POP 三维堆叠 GNC技术 主从协同 测试系统
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一种基于三维堆叠技术的高可靠性Cache结构
16
作者 孙岩 宋超 +1 位作者 黎铁军 张民选 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期65-69,共5页
针对三维集成电路的软错误问题,分析了高能粒子进入三维堆叠芯片中的运行轨迹和特性,在分析高速缓冲存储器(Cache)中各部分软错误易感性的基础上,提出了一种基于三维堆叠技术的高可靠性Cache结构R3D-Cache,利用三维堆叠芯片的层间屏蔽效... 针对三维集成电路的软错误问题,分析了高能粒子进入三维堆叠芯片中的运行轨迹和特性,在分析高速缓冲存储器(Cache)中各部分软错误易感性的基础上,提出了一种基于三维堆叠技术的高可靠性Cache结构R3D-Cache,利用三维堆叠芯片的层间屏蔽效应,以较小的面积和性能开销大幅降低了其软错误率.结果表明,所提出的R3D-Cache结构能够以0.52%~4.17%的面积开销,将Cache的软错误率降低到原来的5%,而所带来的性能开销可以忽略. 展开更多
关键词 三维堆叠 高速缓冲存储器 可靠性 软错误
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三维偏移距平面波有限差分叠前时间偏移 被引量:10
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作者 冯波 王华忠 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2916-2925,共10页
本文提出了中点半偏移距域内的三维偏移距平面波(offset plane-wave)方程,并给出了其有限差分解法.偏移距平面波可通过对CMP道集进行平面波分解(倾斜叠加或线性Radon变换)生成,然而这样做会产生严重的噪音干扰.本文提出了局部倾斜叠加方... 本文提出了中点半偏移距域内的三维偏移距平面波(offset plane-wave)方程,并给出了其有限差分解法.偏移距平面波可通过对CMP道集进行平面波分解(倾斜叠加或线性Radon变换)生成,然而这样做会产生严重的噪音干扰.本文提出了局部倾斜叠加方法(1ocal slant stacking)来消除离散线性Radon变换引入的噪音.针对实际三维数据的不规则性(中点-偏移距域内方位角展布不均匀及偏移距采样不规则),本义还提出了与方位角无关的三维倾斜叠加方法(azimuth-independent 3D slant-stacking),解决了三维平面波分解中存在的问题.使用文中提出的平面波分解方法,可以得到高信噪比的偏移距平面波数据体.同时,三维偏移距平面波偏移可以输出偏移距射线参数域共成像点道集,基于此道集的剩余速度分析方法可以用来更新偏移速度场.偏移距平面波偏移具有很高的计算效率,相较Kirchhoff积分叠前时间偏移有较好的保幅特性,可作为水平地表三维叠前时间偏移的一个很好的解决方案. 展开更多
关键词 三维叠前时间偏移 偏移距平面波分解 局部倾斜叠加 与方位角无关的三维倾斜叠加
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3D NAND闪存的层间差异特性的研究
18
作者 黄三维 李英阁 韩国军 《应用科技》 CAS 2021年第5期70-75,共6页
3D堆叠技术的引入大幅提升了与非型闪存(NAND flash)存储容量,但由于制程工艺的影响,导致不同层的存储单元会出现差异,而且随着堆叠层数的增加,不同层的存储单元的特性差异将更加明显。为了研究制程差异对闪存层间性能的影响,通过硬件... 3D堆叠技术的引入大幅提升了与非型闪存(NAND flash)存储容量,但由于制程工艺的影响,导致不同层的存储单元会出现差异,而且随着堆叠层数的增加,不同层的存储单元的特性差异将更加明显。为了研究制程差异对闪存层间性能的影响,通过硬件设备对闪存芯片特性进行实测,得到了不同层的存储单元在不同噪声下的原始误码率和阈值电压分布关系。实验结果显示,随着编程/擦除次数的增加和数据保持时间的增长,不同层的存储单元的性能差异将更加明显,需要借助先进的信道检测技术来改善存储性能。 展开更多
关键词 与非型闪存 闪存测试 层间制程差异 3D堆叠技术 串堆叠 阈值电压分布 可靠性 固态硬盘 存储系统
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SUPERDISLOCATION DISSOCIATION IN INTERMETALLIC COMPOUND Ni_3Al 被引量:1
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作者 Mao Wen Present addresss: Institute of Materials Science, South China University of Technology, Guangzhou 510641, P.R. China and Dongliang Lin (T. L. Lin) Open Laboratory for High Temperature Materials and Tests, School of Materials Science and Enginee 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 1999年第S1期95-99,共5页
The dissociation of a [1-01] superdislocation in Ni 3Al was studied by computer simulation techniques using the embedded atom method (EAM). Three types of dissociation were obtained, depending on the initial position ... The dissociation of a [1-01] superdislocation in Ni 3Al was studied by computer simulation techniques using the embedded atom method (EAM). Three types of dissociation were obtained, depending on the initial position of elastic centers of the superdislocation. One is the stable planar dissociation that the superdislocation dissociates on only one {111} plane into a pair of 1/2[1-01] superpartials separated by antiphase boundary (APB). Another stable dissociation is that it occurs on two adjacent {111} planes joined by an intersecting {111} or (010) plane. The metastable one is that the dissociation occurs in T shape: the superdislocation dissociates on two intersecting {111} planes into three partials: one 1/2[1-01] partial and two widely separated 1/6〈112〉 Shockley partials with a complex stacking fault (CSF) in between. 展开更多
关键词 NI 3Al COMPOUND superdislocation DISSOCIATION stacking FAULTS
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三种丁二炔类衍生物的聚合性能
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作者 王江洪 余从煊 +1 位作者 沈玉全 陈光巨 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1999年第1期73-76,共4页
用半经验PM3法得到了HDABS-1、HDABS-2、HDABS-33种丁二炔衍生物的堆积距和堆积角,其值分别为7.386A(38.87°)、6.694A(39.77°)、6.635A(40.19°),实验证实了衍生物HDABS—2的聚合活性比衍生物HDABS—1要高... 用半经验PM3法得到了HDABS-1、HDABS-2、HDABS-33种丁二炔衍生物的堆积距和堆积角,其值分别为7.386A(38.87°)、6.694A(39.77°)、6.635A(40.19°),实验证实了衍生物HDABS—2的聚合活性比衍生物HDABS—1要高,这与由PM3法得到有堆积距和堆积角预测的结果相一致。 展开更多
关键词 PM3 堆积距 堆积角 聚合 丁二炔 衍生物 HDABS
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