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355nm激光新型陶瓷加工研究 被引量:8
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作者 杨松涛 韩微微 +1 位作者 张文斌 高航 《电子工业专用设备》 2011年第2期8-11,共4页
新型陶瓷材料以其独特的优越性,广泛应用于机械、电力电子、纺织、航空航天、医疗器械、石化等领域,几乎遍及现代科技的每一个角落,应用前景十分广阔。讨论了新型陶瓷的紫外激光加工方式和加工的原理;介绍了355nm激光加工特点以及实验... 新型陶瓷材料以其独特的优越性,广泛应用于机械、电力电子、纺织、航空航天、医疗器械、石化等领域,几乎遍及现代科技的每一个角落,应用前景十分广阔。讨论了新型陶瓷的紫外激光加工方式和加工的原理;介绍了355nm激光加工特点以及实验的研究结果。 展开更多
关键词 新型陶瓷 355nm激光 光化学反应
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用于355nm紫外光源的腔外倍频全固态激光器 被引量:8
2
作者 耿爱丛 赵慈 +2 位作者 李宝河 徐登辉 李熊 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期185-188,共4页
为保证高输出功率前提下获得高光束质量的1064和532 nm激光共向输出,实验中,首先采用主振荡功率放大器系统有效地控制基频光束质量,获得平均功率为70 W、重复频率为10 kHz、脉宽为60 ns和光束质量因子M2约为3.9的1064 nm基频激光;接着... 为保证高输出功率前提下获得高光束质量的1064和532 nm激光共向输出,实验中,首先采用主振荡功率放大器系统有效地控制基频光束质量,获得平均功率为70 W、重复频率为10 kHz、脉宽为60 ns和光束质量因子M2约为3.9的1064 nm基频激光;接着利用二级放大器,获得平均功率为182.9 W,脉宽为80 ns的1064nm激光。然后,采用KTP晶体腔外倍频技术保证了基频和倍频激光同时、共向输出,最终获得了平均功率为65.7 W、脉宽约为60 ns的532 nm绿光,相应的倍频效率为35.9%。通过有效措施,绿光的光束质量因子M2约控制在6,为开展355 nm紫外激光研究奠定了良好的基础。 展开更多
关键词 激光器 腔外倍频 光束质量 355nm
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355nm和407nm激光激发Hoechst 33342检测细胞凋亡的比较研究 被引量:5
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作者 李雪 吴亚兰 +2 位作者 黄鑫 黄巧容 孟文彤 《华西医学》 CAS 2013年第6期875-878,共4页
目的比较使用流式细胞仪355 nm和407 nm激光器激发Hochest33342检测细胞凋亡。方法通过ATO药物诱导急性早幼粒白血病细胞(NB4)及血清饥饿法诱导人肺癌细胞(NCl-H292)细胞凋亡,取24、48 h时间点收集细胞,进行Hoechst33342-碘化丙啶(PI)双... 目的比较使用流式细胞仪355 nm和407 nm激光器激发Hochest33342检测细胞凋亡。方法通过ATO药物诱导急性早幼粒白血病细胞(NB4)及血清饥饿法诱导人肺癌细胞(NCl-H292)细胞凋亡,取24、48 h时间点收集细胞,进行Hoechst33342-碘化丙啶(PI)双染,分别在配置有两种激光器的流式细胞仪上检测细胞凋亡。结果细胞经处理后24 h,355 nm激光器检测NB4细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-(:28.20±4.80)%;NCl-H292细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-:(22.47±2.78)%。407 nm激光器检测NB4细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-(:25.10±6.19)%。NCl-H292细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-:20.47±1.46%。处理后48 h,355 nm激光器检测NB4细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-(:33.60±3.75)%。NCl-H292细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-(:26.77±1.16)%。407 nm激光器检测NB4细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-:(29.47±2.33)%。NCl-H292细胞凋亡率Hoechst33342+/PI-:(31.47±3.05)%。两种细胞处理后比处理前凋亡率明显升高,但355 nm激光器与407 nm激光器检测的凋亡结果差异不明显(P>0.05)。结论 407 nm激光器激发Hoechst33342可检测细胞凋亡。 展开更多
关键词 355nm激光 407nm激光 流式细胞仪 凋亡 Hoechst 33342
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355nm紫外激光器加工多层柔性线路板盲孔 被引量:5
4
作者 张菲 段军 +1 位作者 曾晓雁 李祥友 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第1期143-146,共4页
采用输出功率10W的355nmNd:YVO4激光器对4层柔性线路板(FPC)进行了盲孔加工实验。重点研究和分析了不同加工方式、功率密度、扫描间距、开/关激光延时等参数对加工结果的影响。得到的优化工艺参数为:第一次采用加工功率3.9W、频率80kHz... 采用输出功率10W的355nmNd:YVO4激光器对4层柔性线路板(FPC)进行了盲孔加工实验。重点研究和分析了不同加工方式、功率密度、扫描间距、开/关激光延时等参数对加工结果的影响。得到的优化工艺参数为:第一次采用加工功率3.9W、频率80kHz、扫描速度50mm/s、开/关激光延时20μs/110μs、扫描间距18μm,第二次将加工功率降到1.4W,其他参数不变,此时,加工盲孔的效果最为理想,重铸层粗糙度为0.88966μm,孔底粗糙度为1.063μm。给出了孔底表面的SEM图和针式台阶仪测量的盲孔底面三维轮廓和切面二维轮廓图。 展开更多
关键词 激光钻孔 全固态激光器 355nm 多层柔性线路板 盲孔
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双波长腔外同步和频355nm准连续全固态激光器 被引量:4
5
作者 田明 王菲 车英 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期804-806,共3页
为了获得能够实用化的大功率355nm准连续全固态激光器,采用同一台双通道射频驱动源对准连续1064nm激光器和532nm激光器中的声光Q开关同时进行调制的方法来实现二者的同步,通过消色差透镜将1064nm光和532nm光同时耦合到Ⅱ类相位匹配LBO... 为了获得能够实用化的大功率355nm准连续全固态激光器,采用同一台双通道射频驱动源对准连续1064nm激光器和532nm激光器中的声光Q开关同时进行调制的方法来实现二者的同步,通过消色差透镜将1064nm光和532nm光同时耦合到Ⅱ类相位匹配LBO晶体进行和频产生355nm紫外激光。在总注入电功率为436W、重复频率为6kHz时,355nm激光最大输出功率6.8W,脉宽为67ns,总转换效率为1.56%。结果表明,采用双波长腔外同步和频的方法可以获得大功率355nm准连续激光输出。 展开更多
关键词 激光器 全固态激光器 355 nm激光器 和频
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基于Nd∶YAG/Cr∶YAG复合晶体的全固态紫外激光器 被引量:4
6
作者 申高 檀慧明 +1 位作者 王超 赵玉环 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期684-686,共3页
被动调Q产生1064 nm脉冲激光在腔外聚焦后入射到KTP中,产生532 nm的倍频光,再通过LBO和频产生355 nm激光。当抽运功率为3.4 W时,基频光调Q输出平均功率为350 mW,峰值功率达3.5 kW。腔外二倍频532 nm绿光输出平均功率为110 mW,用Ⅰ类相... 被动调Q产生1064 nm脉冲激光在腔外聚焦后入射到KTP中,产生532 nm的倍频光,再通过LBO和频产生355 nm激光。当抽运功率为3.4 W时,基频光调Q输出平均功率为350 mW,峰值功率达3.5 kW。腔外二倍频532 nm绿光输出平均功率为110 mW,用Ⅰ类相位匹配LBO晶体和频获得36 mW的355 nm的紫外激光输出,三倍频效率(1064-355 nm)达到10.2%。由于Cr∶YAG晶体达到饱和吸收后,会呈现出各向异性的特征,对基频光的偏振状态有很大影响。实验中必须合理放置复合晶体,使基频光的偏振状态为近似线偏振以提高转换效率。 展开更多
关键词 激光技术 紫外激光器 LD抽运 355nm 复合晶体 和频
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几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析 被引量:4
7
作者 张乾 焦宏飞 +2 位作者 程鑫彬 马彬 季一勤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期1230-1234,共5页
为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:薄膜的弱吸收和其... 为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:薄膜的弱吸收和其禁带宽度共同制约了其激光损伤阈值,而薄膜因晶相结构的产生而增大的表面粗糙度对其激光损伤阈值无影响。大弱吸收的薄膜其损伤表现为非常微小的吸收点向外扩张构成的较大的破坏点,而低弱吸收的薄膜其损伤则表现为瞬间吸收引起大的损伤。 展开更多
关键词 薄膜 光学性能 激光损伤
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355 nm激光应用于血栓及其钙化组织消融的实验研究
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作者 李珉澄 姚育成 +4 位作者 张奥 鲁志兵 胡玥 邓晓月 张泽 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第2期197-202,共6页
相较于308 nm准分子激光器,355 nm脉冲固体激光器在峰值功率、成本和方便性等方面更具优势,使用离体新鲜猪血凝块与新鲜鸡胫骨块作为类血栓及其钙化组织,研究355 nm脉冲固体激光的组织消融特性及规律。实验结果显示:组织消融孔洞形貌良... 相较于308 nm准分子激光器,355 nm脉冲固体激光器在峰值功率、成本和方便性等方面更具优势,使用离体新鲜猪血凝块与新鲜鸡胫骨块作为类血栓及其钙化组织,研究355 nm脉冲固体激光的组织消融特性及规律。实验结果显示:组织消融孔洞形貌良好,无颗粒沉积;消融后微粒直径均在10微米量级,处于人体可自然代谢的范围,且25 mJ~200 mJ范围内脉冲能量越小,消融后微粒越小;灌注条件下,热影响区组织温升小于4.5℃,不会对血管壁造成热损伤。故355 nm脉冲固体激光可有效消融血栓及其钙化组织,具有较好应用前景。 展开更多
关键词 355 nm激光 消融 血栓及其钙化组织 脉冲能量 微粒尺寸 温升
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半导体泵浦全固态紫外激光器 被引量:2
9
作者 毕向军 李港 +2 位作者 陈檬 黄建军 庞庆生 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期10-11,共2页
报道了LD泵浦Nd:YAG,经过KTP和LBO晶体中的倍频、和频,产生355nm紫外激光的全固态调Q激光器。当泵浦功率为100W,脉冲频率5kHz时,产生的1064nm基频光功率为20W,绿光功率为5.62W,输出450mW的紫外激光脉冲,转换效率为8%。
关键词 LD泵浦 ND:YAG LBO 紫外激光器 355nm
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紧凑型激光二极管抽运全固态355nm连续波紫外激光器 被引量:3
10
作者 刘欢 巩马理 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期7000-7004,共5页
报道了一台激光二极管端面抽运Nd:YVO4晶体内腔三倍频355nm激光连续输出的全固态紫外激光器.激光腔采用紧凑型简单凹平直腔,腔长仅为70mm.利用两块LBO晶体进行腔内倍频、和频,当注入抽运功率为25.27W时,获得最大功率为30.6mW的355nm连... 报道了一台激光二极管端面抽运Nd:YVO4晶体内腔三倍频355nm激光连续输出的全固态紫外激光器.激光腔采用紧凑型简单凹平直腔,腔长仅为70mm.利用两块LBO晶体进行腔内倍频、和频,当注入抽运功率为25.27W时,获得最大功率为30.6mW的355nm连续波输出,光光转换效率为0.12%,输出功率短期不稳定性为5.3%,355nm激光输出光束质量良好.通过采用内腔倍频技术和设计合理的腔参数,实现了中小功率连续输出的全固态紫外激光器的小型化、便携化,进一步拓宽了紫外激光器的应用领域. 展开更多
关键词 激光二极管端面抽运 内腔三倍频 连续波 355nm激光
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CsB3O5晶体高效三倍频产生28.3W 355nm激光 被引量:3
11
作者 谢仕永 鲁远甫 +4 位作者 张小富 乐小云 杨程亮 王保山 许祖彦 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期266-272,共7页
利用CsB_3O_5(CBO)晶体对Nd:YAG声光调Q准连续1064 nm激光的高效三倍频效应获得高功率355 nm激光输出.1064 nm激光采用大功率脉冲式半导体激光(LD)列阵侧面抽运Nd:YAG晶体的主振荡-功率放大(MOPA)系统实现210 W的调Q准连续输出,激光以1 ... 利用CsB_3O_5(CBO)晶体对Nd:YAG声光调Q准连续1064 nm激光的高效三倍频效应获得高功率355 nm激光输出.1064 nm激光采用大功率脉冲式半导体激光(LD)列阵侧面抽运Nd:YAG晶体的主振荡-功率放大(MOPA)系统实现210 W的调Q准连续输出,激光以1 kHz脉冲串方试运转,每个脉冲串包含5个调Q脉冲,单脉冲宽度为40 ns.经I类LiB_3O_5(LBO)晶体倍频产生98 W 532 nm绿光.通过30 mm长的II类CBO晶体对1064 nm与532 nm光和频获得28.3 W的355 nm紫外光,相应的三倍频转换效率为13.5%,比相同条件下II类LBO晶体高28.6%.研究了CBO三倍频产生355 nm光的温度敏感特性,得到其温度带宽为25?C,远大于LBO晶体的4?C.实验证明,CBO晶体在三倍频产生355 nm的转换效率和温度不敏感性方面均优于LBO晶体. 展开更多
关键词 355 nm激光 CsB3O5晶体 三倍频 温度带宽
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激光诱导荧光实验系统设计及其对叶绿素a的检测研究
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作者 冯小涛 季仁东 +2 位作者 王晓燕 卞海溢 郭鑫月 《电子器件》 CAS 北大核心 2023年第2期493-497,共5页
叶绿素a不仅是植物光合作用的重要物质,而且水质中叶绿素a的含量也是衡量水体富营养化程度的重要依据。而激光诱导荧光(Laser Induced Fluorescence,LIF)技术以检测灵敏度高、检测速度快被广泛应用到各个领域。为此,搭建了一款基于激光... 叶绿素a不仅是植物光合作用的重要物质,而且水质中叶绿素a的含量也是衡量水体富营养化程度的重要依据。而激光诱导荧光(Laser Induced Fluorescence,LIF)技术以检测灵敏度高、检测速度快被广泛应用到各个领域。为此,搭建了一款基于激光诱导荧光技术的检测系统,该系统以355 nm激光为光源,在无水乙醇中检测叶绿素a样品时可以发现在671 nm处有明显的荧光特征峰。利用RBF神经网络和BP神经网络对采集到的光谱数据进行建模和分析。所建立的RBF神经网络模型预测所得到的相对误差为2.9668×10^(-9),决定系数为0.93771,平均回收率为94.103%。所建立的BP神经网络模型预测得到的相对误差为1.5811×10^(-9),决定系数为0.98756,平均回收率为100.883%。结果表明,BP神经网络预测的各项指标优于RBF神经网络预测的各项指标。 展开更多
关键词 叶绿素A 激光诱导荧光 355 nm激光 特征峰
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大口径折反式355nm激光接收系统的调试方法 被引量:1
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作者 范二荣 胡明勇 +2 位作者 封志伟 赵奇 李明杰 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期653-659,共7页
为实现大口径折反式355 nm激光接收系统的装调,提出了局部针对性的调试方法.两镜系统采用波长为355 nm和632.8 nm、镜间距一致的4D干涉仪自准直调试法;透镜组采用355 nm激光器和干涉仪前置镜头组成的自准直检测光路调试法。调试后得到... 为实现大口径折反式355 nm激光接收系统的装调,提出了局部针对性的调试方法.两镜系统采用波长为355 nm和632.8 nm、镜间距一致的4D干涉仪自准直调试法;透镜组采用355 nm激光器和干涉仪前置镜头组成的自准直检测光路调试法。调试后得到两镜系统波像差均方根(RMS)为0.2026λ,满足设计指标0.2λ(λ为632.8 nm)的要求;透镜组调试后,理论后截距与自准直检测后截距差值在设计指标容差范围内。两镜系统与聚焦透镜组系统组合调试后,像方与物方焦点重合,接收系统调试满足设计要求。所提方法降低了系统装调难度,缩短了系统装调周期。 展开更多
关键词 激光技术 光学调试 自准直调试 大口径折反系统 355nm激光器
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高功率全固态355 nm紫外脉冲激光器
14
作者 赵昱栋 张艳林 +2 位作者 杨婕 刘鑫宇 卢华东 《量子光学学报》 北大核心 2023年第3期87-94,共8页
紫外激光具有单光子能量大、易聚焦的特点,且大多数材料对其吸收较强,在标记、复合材料切割、钻孔、精细加工等领域有着广泛的应用。本文报道了一种基于1 064 nm红外光,采用非线性光学频率变换技术实现10 W、355 nm紫外脉冲激光输出的... 紫外激光具有单光子能量大、易聚焦的特点,且大多数材料对其吸收较强,在标记、复合材料切割、钻孔、精细加工等领域有着广泛的应用。本文报道了一种基于1 064 nm红外光,采用非线性光学频率变换技术实现10 W、355 nm紫外脉冲激光输出的全固态实验装置。实验中设计了用888 nm半导体激光器端面泵浦的结构紧凑、功率稳定、光斑质量好的“Z”型声光调Q 1 064 nm谐振腔,再利用腔外倍频、腔外和频技术得到355 nm紫外激光。当输入的泵浦功率为80 W、重复频率为50 kHz时,得到了平均输出功率为10 W,光束质量为M_(x)^(2)=1.13,M_(y)^(2)=1.02的355 nm紫外脉冲激光,泵浦光到紫外光的光-光转化效率为12.5%。 展开更多
关键词 紫外激光 脉冲 全固态激光 高功率激光器
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受激拉曼散射实验的研究
15
作者 赵崎策 陶宗慧 +2 位作者 夏腾 杜丹 王琳楠 《黑龙江科学》 2014年第10期32-33,共2页
利用355 nm激光泵浦硝酸钡晶体所产生的受激拉曼散射以获得蓝紫光等新型的波长具有重大的意义。根据国内外发展情况来看,对BN晶体的受激拉曼散射的研究主要集中在以532 nm和红外波段光作为泵浦源,但是对355 nm作为泵浦源的研究报道却很... 利用355 nm激光泵浦硝酸钡晶体所产生的受激拉曼散射以获得蓝紫光等新型的波长具有重大的意义。根据国内外发展情况来看,对BN晶体的受激拉曼散射的研究主要集中在以532 nm和红外波段光作为泵浦源,但是对355 nm作为泵浦源的研究报道却很少。因此本文设想用355 nm作为泵浦源,对受激拉曼散射的实验进行研究。 展开更多
关键词 受激拉曼散射 BN晶体 355 nm激光
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Characteristics of 355nm Laser Damage in Bulk Materials 被引量:1
16
作者 YU Zhen-Kun HE Hong-Bo +2 位作者 QI Hong-Ji FANG Zhou LI Da-Wei 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第6期194-196,共3页
The laser damage resistances of four crystals(CaF_(2),MgF_(2),Al_(2)O_(3),and SiO_(2))and fused silica(JGS1)irradiated at 355nm(8 ns,300-on-1)are reported.The laser-induced damage threshold is measured using a tripled... The laser damage resistances of four crystals(CaF_(2),MgF_(2),Al_(2)O_(3),and SiO_(2))and fused silica(JGS1)irradiated at 355nm(8 ns,300-on-1)are reported.The laser-induced damage threshold is measured using a tripled Nd:YAG laser system.The results obtained from the pure crystals are in accordance with their specific optical,mechanical,and thermal properties.An empirical law based on the Franz–Keldysh effect can interpret the experimental results. 展开更多
关键词 ND:YAG 355nm laser
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飞秒与纳秒激光刻蚀单晶硅对比研究 被引量:30
17
作者 杨焕 黄珊 +1 位作者 段军 杜敏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期89-94,共6页
采用输出功率8W的355nm Nd∶YVO4纳秒激光器和3W的1030nm飞秒激光器对0.4mm的单晶硅的刻蚀进行了对比研究,研究了激光的单脉冲能量密度,脉冲宽度,脉冲耦合率等参数对加工质量和精度的影响。实验结果表明,飞秒激光加工的热效应要小于紫... 采用输出功率8W的355nm Nd∶YVO4纳秒激光器和3W的1030nm飞秒激光器对0.4mm的单晶硅的刻蚀进行了对比研究,研究了激光的单脉冲能量密度,脉冲宽度,脉冲耦合率等参数对加工质量和精度的影响。实验结果表明,飞秒激光加工的热效应要小于紫外纳秒激光,同时飞秒脉冲产生了纳米条纹,但随着加工次数的增加,纳米条纹也直接导致了不规则裂纹的产生。这说明飞秒激光的加工优越性也是有条件的,当需要对材料进行大量去除之类的加工时,成本相对较低的紫外纳秒激光可能更为适合。 展开更多
关键词 激光技术 激光微加工 355nm纳秒激光 1030nm飞秒激光 单晶硅 纳米条纹
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全固态355nm连续紫外激光器的优化设计 被引量:22
18
作者 申高 檀慧明 刘飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期731-735,共5页
通过优化腔型设计,实现了LD端面抽运Nd:YVO4腔内三次谐波转换全固态连续355 nm紫外激光器高效率输出。选用平-凹腔结构并考虑到Nd:YVO4晶体的热透镜效应、模式匹配、倍频晶体位相匹配等因素对输出功率的影响,对谐振腔长进行了详细的分... 通过优化腔型设计,实现了LD端面抽运Nd:YVO4腔内三次谐波转换全固态连续355 nm紫外激光器高效率输出。选用平-凹腔结构并考虑到Nd:YVO4晶体的热透镜效应、模式匹配、倍频晶体位相匹配等因素对输出功率的影响,对谐振腔长进行了详细的分析计算。在激光谐振腔内,1 064 nm的基频波经KTP晶体倍频产生532 nm激光,二者再经LBO晶体和频获得了355 nm紫外激光。当LD抽运功率为3 W时,355 nm连续紫外激光输出功率达6.4 mW。与折叠腔进行比较,发现在小功率抽运情况下,直腔结构紧凑、易于调节、输出功率较大。 展开更多
关键词 连续紫外激光器 全固态激光器 355 nm激光 LD抽运 和频
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355nm紫外激光加工柔性线路板盲孔的研究 被引量:15
19
作者 张菲 段军 +1 位作者 曾晓雁 李祥友 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3143-3148,共6页
采用输出功率10 W的355 nm紫外激光器对4层柔性线路板(FPC)进行了盲孔加工实验。分析了紫外激光与铜箔和聚酰亚胺(PI)相互作用的过程和机理,并模拟出在一定条件下紫外激光与聚酰亚胺和铜箔相互作用时的单脉冲刻蚀深度。研究了不同加工... 采用输出功率10 W的355 nm紫外激光器对4层柔性线路板(FPC)进行了盲孔加工实验。分析了紫外激光与铜箔和聚酰亚胺(PI)相互作用的过程和机理,并模拟出在一定条件下紫外激光与聚酰亚胺和铜箔相互作用时的单脉冲刻蚀深度。研究了不同加工方式对加工质量的影响,得到优化工艺参数为:第一次采用加工功率3.9 W,频率80 kHz,第二次将加工功率降到1.4 W,其他参数不变,此时加工盲孔的效果最为理想,重铸层粗糙度为0.88966μm,孔底粗糙度为1.063μm。给出了孔底表面的扫描电镜(SEM)图和针式台阶仪测量的盲孔底面三维轮廓及切面二维轮廓图。 展开更多
关键词 激光技术 激光钻孔 355 nm紫外激光 柔性线路板 盲孔 刻蚀率
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1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究 被引量:10
20
作者 傅茜 张菲 +2 位作者 蒋明 段军 曾晓雁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期435-440,共6页
为了研究不同纳秒激光工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外... 为了研究不同纳秒激光工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知,采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时,设置合适的刻蚀参量,能在完全去除铜箔层的条件下,最大限度地保证环氧树脂基底的完整性;而采用355nm的紫外激光作为激光光源时,因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率,以及紫外激光对有机材料的光化学作用,基底材料的损伤难以避免,此外,红外光纤激光具有较高的刻蚀效率。结果表明,综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点,若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中,红外光纤激光将更具优势性。 展开更多
关键词 激光技术 1064nm红外激光 355nm紫外激光 覆铜板
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