期刊文献+
共找到16篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Structure and Properties of Nanostructured Vacuum-Deposited Foils of Invar Fe–(35–38 wt%)Ni Alloys 被引量:3
1
作者 V.M.Nadutov A.I.Ustinov +2 位作者 S.A.Demchenkov Ye.O.Svystunov V.S.Skorodzievski 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期1079-1086,共8页
The process of electron beam vacuum deposition of the Fe-(35-38 wt%)Ni alloys at substrate temperatures Ts from 300 to700 ℃ were used to produce vacuum-deposited foils with the FCC structure, differing by the size ... The process of electron beam vacuum deposition of the Fe-(35-38 wt%)Ni alloys at substrate temperatures Ts from 300 to700 ℃ were used to produce vacuum-deposited foils with the FCC structure, differing by the size of characteristic microstructural elements (grains and subgrains). It was shown that refinement of foil microstructural elements to nanoscale is accompanied by their microhardness increase up to 4-5 GPa. The change of the thermal expansion coefficient (TEC) of the nanostructured (NS) foil of the Fe-35.1Ni alloy within the temperature range from -50 to 150 ℃ has some deviation from that observed for cast Invar alloy of the same composition. It has been found that the main factors affecting the peculiarities of thermal expansion of the NS foil can be related to the presence of small fraction of BCC- phase in them, high level of crystalline lattice microstrains and inhomogeneous magnetic order in FCC- phase. It was shown that as a result of additional thermal treatment of NS foils their invar properties become similar to that observed for cast Invar alloy but mechanical properties remain on the same level. 展开更多
关键词 Fe-Ni alloys Electron beam physical vapor deposition ebpvd Nanostructured materials Hardness Thermal expansion Mossbauer spectroscopy
原文传递
CaF_2基底上近红外区宽带增透膜的研究 被引量:6
2
作者 孙亚军 朱益清 +1 位作者 李帅 朱华新 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期76-80,共5页
以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计... 以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95%,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性。环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中。 展开更多
关键词 薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率 环境测试
下载PDF
宽通带宽截止带通滤光片研究 被引量:6
3
作者 朱华新 王彤彤 +2 位作者 高劲松 刘桂林 李帅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1296-1301,共6页
本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540~750nnl为通带区域,400—520nm、770—1100nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系,分别用于截止400—520nm和770~1100nm,而两... 本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540~750nnl为通带区域,400—520nm、770—1100nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系,分别用于截止400—520nm和770~1100nm,而两者通带交集为540~750nm,膜层总数为48层,膜层总厚度达5.03μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仪含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对镀有该组合膜的样品透过率进行测量,测试结果表明540~750nm通带平均透过率达到了85.82%,通带相对半宽度达221nm,400~520nm和770~1100nm的截止度分别达到1.36%和1.27%,实验结果与理论设计基本吻合,达到了宽通带宽截止的目标,环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该组合膜系可以应用于可靠性要求较高的环境中。 展开更多
关键词 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
下载PDF
QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究 被引量:4
4
作者 阙立志 李帅 朱华新 《江南大学学报(自然科学版)》 CAS 2014年第1期113-116,共4页
以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0.4-0.8μm),工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量... 以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0.4-0.8μm),工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,结果表明平均透过率达97.73%。环境测试表明,薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。 展开更多
关键词 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
下载PDF
THEORY DEPOSITION MODEL AND INFLUENCING FACTORS DURING PROCESS OF PREPARING MICRO-LAYER LAMINATE BY EBPVD
5
作者 L.P.Shi X.D.He Y.Li 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第3期283-287,共5页
This paper briefly introduces the characteristics of electron beam physical vapor depo-sition (EBPVD) technique and the whole process of preparing micro--layer compositelaminate. And several major influencing factors ... This paper briefly introduces the characteristics of electron beam physical vapor depo-sition (EBPVD) technique and the whole process of preparing micro--layer compositelaminate. And several major influencing factors are presented and discussed. It wasfound that residual gas pressure should be low enough to guarantee the unobstructedtransporfation of vapor steam and electron beam; the evaporation method and evapo-ration speed are up to the different vapor pressure deficit of compositions of raw mate-rials; and the substrate temperature could have great influence on the microstructureof the micro--layer laminates. 展开更多
关键词 micro-layer composite material ebpvd residual gas pressure evaporation method and speed substrate temperature
下载PDF
可见近红外双波段增透膜的设计及制备 被引量:2
6
作者 李帅 孙亚军 +3 位作者 刘桂林 朱华新 郭颖 李果华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1769-1773,1787,共6页
以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55~0.78μm和1.0~1.3μm两个波段。工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用岛津分光光度... 以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55~0.78μm和1.0~1.3μm两个波段。工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用岛津分光光度计对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明0.55~0.78μm波段平均透过率为98.01%,1.0~1.3μm波段平均透过率达到97.04%。通过SEM的膜层截面证实实际膜层厚度相对于设计值来说偏厚,致使透射率光谱曲线略往长波方向漂移,但所需波段内平均透过率仍可满足所需光学特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。 展开更多
关键词 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
下载PDF
超宽截止边带滤光片研究 被引量:1
7
作者 朱华新 王彤彤 +2 位作者 高劲松 刘桂林 李帅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2701-2706,共6页
以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片,即:截止带波长0.5~0.85μm、高透波长0.9~1.3μm,膜层总数为57层,总厚度达6.026μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用... 以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片,即:截止带波长0.5~0.85μm、高透波长0.9~1.3μm,膜层总数为57层,总厚度达6.026μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明截止区(0.5~0.85μm)的截止深度达5×10-3以下,截止带宽达350 nm,0.9~1.3μm通带内的平均透过率也达到83.14%,除通带短波边缘外,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽截止带深截止度、高通带透过率的特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该边带滤光片可以应用于可靠性要求较高的环境中。 展开更多
关键词 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片
下载PDF
Characterization of EBPVD micro-layer composites and simulation of its internal stress state 被引量:1
8
作者 史丽萍 赫晓东 《Journal of Central South University of Technology》 2005年第1期27-30,共4页
Based on the basic operating principal and the technology characteristic of electron beam physical vapor deposition(EBPVD) technique, EBPVD was used to prepare the micro-layer composites. The effect on the substrate p... Based on the basic operating principal and the technology characteristic of electron beam physical vapor deposition(EBPVD) technique, EBPVD was used to prepare the micro-layer composites. The effect on the substrate preheating temperature was taken into accounts and the finite element analysis package ANSYS was used to simulate the internal stress field and the potential displacement changing tendency. The results show that one of the most important quality factors on the judgment of micro-layer composites is the adhesion between the substrate and the deposition layers as well as among the different deposition layers. Besides the existance of temperature gradient through the thickness of layers, the main reason for the internal stress in micro-layer composites is the mismatch of various properties of the layer and the substrate of different thermal expansions and crystal lattice types. With the increase of substrate preheating temperature, the inter-laminar shear stress also takes on a tendency of increase but the axial residual stress decrease. 展开更多
关键词 micro-layer composites electron beam physical vapor deposition residual stress field finite element analysis
下载PDF
Numerical Simulation of Residual Stress during Microlayer Composite Material Processing by EBPVD Technique
9
作者 Liping SHI Yao LI Xiaodong HE 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第z1期80-82,共3页
The preparation technology of microlayer composite material by the electron beam physical vapor deposition (EBPVD) technique was briefly introduced. Taking the advantage of the large-scale commercial softvare of finit... The preparation technology of microlayer composite material by the electron beam physical vapor deposition (EBPVD) technique was briefly introduced. Taking the advantage of the large-scale commercial softvare of finite element analysis, areasonable physical model was built up during the deposition processing and the distribution of residual stress was analyzedbetween substrate and deposition layer or among deposition layers. The results show that: with the increasing substrate preheating temperature, the interlaminar shear stress increases but the axial residual stress decreases. The probability of curlingup after de-bonding tends to enhance as the thickness of deposition film increases. 展开更多
关键词 MICROLAYER composite material ebpvd RESIDUAL stress NUMERICAL simulation
下载PDF
靶基距和锭料蒸发速率对沉积薄板厚度均匀性的影响
10
作者 宋广平 孙跃 +4 位作者 李明伟 林秀 赵轶杰 李晓 赫晓东 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期255-258,共4页
电子束物理气相沉积技术被采用制备大尺寸高温合金薄板,靶基距和不同坩埚中锭料蒸发速率对厚度均匀性的影响规律被研究。研究结果表明,靶基距对锭料的有效蒸发效率和厚度均匀性具有重要影响。靶基距低,有效蒸发效率高,反之,靶基距高,有... 电子束物理气相沉积技术被采用制备大尺寸高温合金薄板,靶基距和不同坩埚中锭料蒸发速率对厚度均匀性的影响规律被研究。研究结果表明,靶基距对锭料的有效蒸发效率和厚度均匀性具有重要影响。靶基距低,有效蒸发效率高,反之,靶基距高,有效蒸发效率低。靶基距与锭料的有效蒸发效率成反比关系。调整不同坩埚中锭料蒸发速率,可获得不同的薄板厚度分布。当靶基距为h=50 cm,2号坩埚蒸发量为83%,4号坩埚蒸发量为17%时,沉积薄板厚度分布均匀性最好,在r≤450 mm范围内薄板厚度分布满足国家薄板厚度公差标准。理论计算与实验结果相符合表明模型合理。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 合金薄板 厚度均匀性 有效蒸发效率
下载PDF
EBPVD金属/陶瓷微层复合材料的研究与应用 被引量:4
11
作者 史丽萍 赫晓东 +1 位作者 李垚 杜善义 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期17-20,共4页
介绍了电子束物理气相沉积 (EBPVD)法制备微层复合材料的优点 ,详述了其四种不同材料体系的设计思想 。
关键词 电子束物理气相沉积法 制备 金属/陶瓷微层复合材料 机体表面材料 飞行器
下载PDF
3~13μm宽带红外分束镜研究 被引量:4
12
作者 阙立志 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第12期695-698,共4页
以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3~13μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge。利用了Spectrum GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试... 以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3~13μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge。利用了Spectrum GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试结果表明该分束镜的平均透过率约为50%,具有宽带的分束特性,与设计结果基本相符。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中。 展开更多
关键词 分束镜 电子束蒸发物理气相沉积 硒化锌
下载PDF
集成式石英微机械陀螺质量块制作工艺研究
13
作者 白顺风 李贵龙 +7 位作者 张挺 谢佳维 董宏奎 王枥 胡爽 曾庆海 李睿杰 简小娟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期731-735,共5页
为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整... 为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整镀膜高度和角度以满足厚度精度要求;其次,为了保证对准精度,设计了掩膜夹具和位置调整夹具;最后,通过实验确定了最佳镀膜参数。此外,对制作的质量块进行了激光修调实验,经过修调后,陀螺机械耦合误差信号的幅值从初始的301.0 mV降至17.6 mV。 展开更多
关键词 陀螺芯片 机械耦合误差 电子束镀膜 激光修调
下载PDF
双波段截止分色滤光片研究 被引量:4
14
作者 曹晶辉 苏宙平 +2 位作者 胡莹 胡立发 朱华新 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1675-1680,共6页
为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5~0.68μm、0.73~0.79μm,通带波长0.83~0.87μm),采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构,与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量,薄膜的高折材料采用Ti O2,低... 为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5~0.68μm、0.73~0.79μm,通带波长0.83~0.87μm),采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构,与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量,薄膜的高折材料采用Ti O2,低折材料采用Si O2,以实现双波段截止的目的。膜层的设计层数为23层,总厚度为2.278μm,借助电子束蒸发物理气相沉积法实现了镀制,利用分光光度计对镀制样品的透过率进行评估。测试结果显示,截止区(0.5~0.68μm和0.73~0.79μm)平均截止深度分别达到了12.57%和20.39%,通带0.83~0.87μm波段内的平均透过率达到了91.35%,样品测试曲线与设计相比,"蓝移"将近10 nm。薄膜样品基本实现了设计目标,具有双波段截止、高通带透过率的特性。在环境测试中:薄膜表现出显著的稳定性,膜层间匹配度适宜。该双波段截止分色滤光片能够应用在一些极端的情况下。 展开更多
关键词 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片
下载PDF
基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜 被引量:3
15
作者 曲锋 朱华新 +2 位作者 刘桂林 李帅 孙强 《中国光学》 EI CAS 2013年第4期551-556,共6页
以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4~0.8μm的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,... 以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4~0.8μm的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明:薄膜平均透过率达98.15%,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性,减少了表面剩余反射。机械强度与环境测试表明:制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度,可以应用于可靠性要求较高的光学系统中。 展开更多
关键词 光学薄膜 增透膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
下载PDF
EBPVD法制备NiCrAlY/ZrO_2-8Y_2O_3微层复合板的拉伸力学性能研究 被引量:1
16
作者 史丽萍 赫晓东 李壵 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期57-59,共3页
采用电子束物理气相沉积 (EBPVD)工艺制备了NiCrAlY/ZrO2 - 8Y2 O3微层复合板 ,测试了该材料在不同温度下的拉伸力学性能 ,初步探讨了拉伸强度与延伸率随温度变化而变化的可能机理。结果表明 :该材料的屈服极限、强度极限和最大延伸率... 采用电子束物理气相沉积 (EBPVD)工艺制备了NiCrAlY/ZrO2 - 8Y2 O3微层复合板 ,测试了该材料在不同温度下的拉伸力学性能 ,初步探讨了拉伸强度与延伸率随温度变化而变化的可能机理。结果表明 :该材料的屈服极限、强度极限和最大延伸率均随温度的升高而降低 ,在室温时它是一种脆性材料而在高温时则是延性良好的塑性材料。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 BPVD法 制备 复合板 拉伸强度 延伸率 拉伸力学性能 NiCrAlY/ZrO2—8Y2O3 航空材料 航天材料 电子束加工技术
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部