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Design and simulation of nanoscale double-gate TFET/tunnel CNTFET
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作者 Shashi Bala Mamta Khosla 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第4期34-38,共5页
A double-gate tunnel field-effect transistor (DG tunnel FET) has been designed and investigated for various channel materials such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), alminium gallium arsenide (A1xGa1-xAs... A double-gate tunnel field-effect transistor (DG tunnel FET) has been designed and investigated for various channel materials such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), alminium gallium arsenide (A1xGa1-xAs) and CNT using a nano ViDES Device and TCAD SILVACO ATLAS simulator. The proposed devices are com- pared on the basis of inverse subthreshold slope (SS), ION/IoFF current ratio and leakage current. Using Si as the channel material limits the property to reduce leakage current with scaling of channel, whereas the A1xGa1-xAs based DG tunnel FET provides a better ION/IOFF current ratio (2.51 × 10^6) as compared to other devices keeping the leakage current within permissible limits. The performed silmulation of the CNT based channel in the double-gate tunnel field-effect transistor using the nano ViDES shows better performace for a sub-threshold slope of 29.4 mV/dec as the channel is scaled down. The proposed work shows the potential of the CNT channel based DG tunnel FET as a futuristic device for better switching and high retention time, which makes it suitable for memory based circuits. 展开更多
关键词 band-to-band tunneling (BTBT) double gate (DG) silicon (Si) gallium arsenide (GaAs) aluminum gallium arsenide alxga1 xAs) tunnel field effect transistor (FET) carbon nanotube (CNT)
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磁场对GaAs/Al_xGa_(1-x)As异质结系统中束缚极化子的影响 被引量:7
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作者 张敏 班士良 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1618-1623,共6页
对 Ga As/ Alx Ga1 - x As单异质结系统引入三角势近似异质结势 ,同时考虑体纵光学 (L O)声子和有效近似下两支界面光学 (IO)声子的影响 ,采用变分法讨论了外界恒定磁场对束缚于近界面杂质的光学极化子结合能的影响 .利用改进的 L ee- L... 对 Ga As/ Alx Ga1 - x As单异质结系统引入三角势近似异质结势 ,同时考虑体纵光学 (L O)声子和有效近似下两支界面光学 (IO)声子的影响 ,采用变分法讨论了外界恒定磁场对束缚于近界面杂质的光学极化子结合能的影响 .利用改进的 L ee- L ow- Pines(L L P)中间耦合方法处理电子 -声子和杂质 -声子的相互作用 ,计算了杂质态结合能随杂质位置、磁场强度、电子面密度的变化关系 .结果表明 ,极化子结合能随磁场呈现增加的趋势 ,其中 L O声子对结合能的负贡献受磁场影响显著 ,而 IO声子的负贡献受磁场的影响并不明显 ,但当杂质靠近界面时 ,杂质 - IO声子相互作用对磁场的影响很敏感 .结果还表明 ,导带弯曲作用不容忽略 ;电子像势对结合能的影响很小 ,可以忽略 . 展开更多
关键词 GAAS/alxga1-XAS 异质结 磁场 束缚极化子 结合能
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高铝Al_xGa_(1-x)As氧化层对垂直腔面发射激光器的影响 被引量:6
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作者 康香宁 宋国峰 +2 位作者 叶晓军 侯识华 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期589-593,共5页
针对可见光垂直腔面发射激光器的制备 ,通过湿氮氧化实验和测量微区光致发光谱分别研究了高铝组分Alx Ga1 - x As的氧化特性及氧化产物的收缩应力对有源区的影响 ,结合器件结构设计确定了氧化限制层 Alx Ga1 - x-As的铝组分和最佳位置 ... 针对可见光垂直腔面发射激光器的制备 ,通过湿氮氧化实验和测量微区光致发光谱分别研究了高铝组分Alx Ga1 - x As的氧化特性及氧化产物的收缩应力对有源区的影响 ,结合器件结构设计确定了氧化限制层 Alx Ga1 - x-As的铝组分和最佳位置 ,并制备出了低阈值电流的 Al Ga In 展开更多
关键词 alxga1-xAs湿氮选择氧化 微区光致发光谱 垂直腔面发射激光器
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Al_xGa_(1-x)N日盲紫外探测器及其焦平面阵列 被引量:5
4
作者 赵文伯 赵红 +7 位作者 叶嗣荣 黄烈云 唐遵烈 罗木昌 杨晓波 廖秀英 向勇军 邹泽亚 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期21-24,共4页
报道了320×256元AlxGa1-xN日盲型紫外探测器及其焦平面阵列探测器的研制情况,介绍了材料生长、器件制备工艺和器件的光电特性。器件的开启电压大于3.5V,-0.5V偏压时暗电流小于1.2×10^-12A(φ=300ttm台面),光谱响应范... 报道了320×256元AlxGa1-xN日盲型紫外探测器及其焦平面阵列探测器的研制情况,介绍了材料生长、器件制备工艺和器件的光电特性。器件的开启电压大于3.5V,-0.5V偏压时暗电流小于1.2×10^-12A(φ=300ttm台面),光谱响应范围260~280nm,268nm峰值波长的响应度大于0.095A/W。器件实现了日盲紫外成像演示。 展开更多
关键词 alxga1-XN 日盲探测器 紫外焦平面阵列 PIN光电二极管
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高Al组分N-Al_xGa_(1-x)N材料的欧姆接触 被引量:4
5
作者 王玲 许金通 +3 位作者 陈俊 陈杰 张燕 李向阳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期967-970,共4页
基于各层金属间在快速热退火时容易合金化及Ti,Al易被氧化的特点,在高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料上溅射生长多层金属Ti/Al/Ti/Au,并且变化Ti,Al比例以及改变退火温度和时间,得到了金属与高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料间的欧姆... 基于各层金属间在快速热退火时容易合金化及Ti,Al易被氧化的特点,在高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料上溅射生长多层金属Ti/Al/Ti/Au,并且变化Ti,Al比例以及改变退火温度和时间,得到了金属与高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料间的欧姆接触,由传输线模型方法测试得比接触电阻为4.9×10-2Ω.cm2。实验中用到的样品为P(Al0.45Ga0.55N)/i(Al0.45Ga0.55N)/N-Al0.63Ga0.37N多层结构的材料。最后,利用伏安特性和俄歇电子能谱深度分布(AES)研究金属与高Al组分的材料之间形成欧姆接触的原因。 展开更多
关键词 欧姆接触 高Al组分 N—alxga1-xN材料
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Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的卢瑟福背散射精确测定 被引量:6
6
作者 刘运传 周燕萍 +3 位作者 王雪蓉 孟祥艳 段剑 郑会保 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第16期70-74,共5页
采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀... 采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀性良好的氮铝镓外延片进行卢瑟福背散射(RBS)实验,通过两个高能离子束实验室分别进行RBS随机谱分析,每个实验室测量六个样品,由分析软件拟合随机谱获得外延层中的xAl.并对样品的均匀性、堆积校准、计数统计、散射角、离子束能量与阻止截面等影响测量结果准确性的不确定度来源进行分析.结果表明,采用入射离子4He,能量为2000keV,散射角为165时,氮铝镓外延片中铝含量(x=0.8)的测量不确定度为2.0%,包含扩展因子k=2. 展开更多
关键词 氮铝镓 卢瑟福背散射 测量不确定度 金属有机化合物气相淀积法
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垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究 被引量:4
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作者 李颖 周广正 +1 位作者 兰天 王智勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1714-1721,共8页
在湿法氧化过程中采用一种自制的新型红外光源显微镜和CCD相机俯视成像系统监测被氧化晶圆片上氧化标记点颜色的变化,通过CCD相机得到的氧化标记点尺寸大小与实际氧化标记点尺寸大小的比例计算,由氧化标记点变化颜色的尺寸大小获得实际... 在湿法氧化过程中采用一种自制的新型红外光源显微镜和CCD相机俯视成像系统监测被氧化晶圆片上氧化标记点颜色的变化,通过CCD相机得到的氧化标记点尺寸大小与实际氧化标记点尺寸大小的比例计算,由氧化标记点变化颜色的尺寸大小获得实际晶圆被氧化尺寸大小,反馈调节氧化工艺,保证控制垂直腔面发射激光器(VCSELs)的氧化孔径精度在±1μm。根据氧化实验总结高Al组分含量对氧化孔形状影响、氧化速率随温度变化及氧化深度随时间变化规律,得到在炉温420℃、水浴温度90℃、氧化载气N2流量200m L/min的工艺条件下,氧化速率为0. 31μm/min,实现量产高速调制4×25 Gbit/s的850 nm VCSELs。室温条件下,各子单元器件工作电压为2. 2 V,阈值电流为0. 8 m A,斜效率为0. 8 W/A。在6 m A工作电流下,光功率为4. 6 m W。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 alxga1-XAS 湿法氧化 氧化规律
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Pressure influence on the Stark effect of impurity states in a strained wurtzite GaN/Al_xGa_(1-x)N heterojunction 被引量:4
8
作者 张敏 班士良 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第10期4449-4455,共7页
A variational method is adopted to investigate the properties of shallow impurity states near the interface in a free strained wurtzite GaN/AlxGa1-xN heterojunction under hydrostatic pressure and external electric fie... A variational method is adopted to investigate the properties of shallow impurity states near the interface in a free strained wurtzite GaN/AlxGa1-xN heterojunction under hydrostatic pressure and external electric field by using a simplified coherent potential approximation. Considering the biaxial strain due to lattice mismatch or epitaxial growth and the uniaxial strains effects, we investigated the Stark energy shift led by an external electric field for impurity states as functions of pressure as well as the impurity position, A1 component and areal electron density. The numerical result shows that the binding energy near linearly increases with pressure from 0 to 10 GPa. It is also found that the binding energy as a function of the electric field perpendicular to the interface shows an un-linear red shift or a blue shift for different impurity positions. The effect of increasing x on blue shift is more significant than that on the red shift for the impurity in the channel near the interface. The pressure influence on the Stark shift is more obvious with increase of electric field and the distance between an impurity and the interface. The increase of pressure decreases the blue shift but increases the red shift. 展开更多
关键词 GAN/alxga1-XN strain PRESSURE Stark effect binding energy of impurity state
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杂质对柱形量子点系统束缚能的影响 被引量:4
9
作者 郑冬梅 王宗篪 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第2期193-197,共5页
在有效质量近似和变分原理的基础上,考虑内建电场(BEF)效应和量子点的三维约束效应,研究了纤锌矿结构的GaN/AlxGa1-xN单量子点中杂质体系的基态能量与杂质电荷的关系,讨论了杂质电子的束缚能随量子点的主要结构参数(量子点高度L和量子... 在有效质量近似和变分原理的基础上,考虑内建电场(BEF)效应和量子点的三维约束效应,研究了纤锌矿结构的GaN/AlxGa1-xN单量子点中杂质体系的基态能量与杂质电荷的关系,讨论了杂质电子的束缚能随量子点的主要结构参数(量子点高度L和量子点半径R)以及杂质在量子点中不同位置的变化规律,并研究了考虑量子点内外电子有效质量失配对杂质电子束缚能的影响. 展开更多
关键词 GAN/alxga1-XN 柱形量子点 杂质 束缚能
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压力下应变异质结中施主杂质态的Stark效应 被引量:4
10
作者 张敏 班士良 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期4459-4465,共7页
对应变GaN/AlxGa1-xN异质结系统,考虑理想界面突变势垒,引入简化相干势近似,采用变分法讨论了流体静压力下外界电场对束缚于界面附近的浅杂质态结合能的影响.对GaN为衬底的闪锌矿应变异质结,分别计算了(001)和(111)取向时杂质态的结合... 对应变GaN/AlxGa1-xN异质结系统,考虑理想界面突变势垒,引入简化相干势近似,采用变分法讨论了流体静压力下外界电场对束缚于界面附近的浅杂质态结合能的影响.对GaN为衬底的闪锌矿应变异质结,分别计算了(001)和(111)取向时杂质态的结合能随压力、杂质位置、电场强度以及组分的变化关系.结果表明,杂质态结合能随流体静压力呈近线性变化.电场对杂质态的Stark效应则随杂质位置不同而呈现谱线蓝、红移动.此外,还讨论了在不同压力情况下,Al组分对杂质结合能的影响.当杂质处于GaN材料中且距界面较远时,Al组分的增加使电子的二维特性增强,从而使结合能增大,且压力加剧增幅的增加;当杂质处于AlxGa1-xN材料中,Al组分的增加削弱了杂质与电子间的库仑相互作用,故而结合能降低. 展开更多
关键词 GaN/alxga1-xN异质结 杂质态 压力 STARK效应
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GaN/Al_xGa_(1-x)N量子点中类氢杂质的结合能 被引量:5
11
作者 郑冬梅 戴宪起 《贵州师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第1期64-68,共5页
利用有效质量方法和变分原理,考虑内建电场(BEF)效应和量子点的三维约束效应,研究了纤锌矿结构的GaN/A lxGa1-xN柱形量子点中类氢杂质的结合能随量子点高度、A l含量和杂质位置的变化规律。结果表明:类氢杂质位于量子点中心时,杂质结合... 利用有效质量方法和变分原理,考虑内建电场(BEF)效应和量子点的三维约束效应,研究了纤锌矿结构的GaN/A lxGa1-xN柱形量子点中类氢杂质的结合能随量子点高度、A l含量和杂质位置的变化规律。结果表明:类氢杂质位于量子点中心时,杂质结合能随量子点高度的增加先增大后减小,存在最大值;随着A l含量的增加,杂质结合能增大。而杂质从量子点下界面沿Z轴上移至上界面时,杂质结合能先增大后减小,存在最大值。 展开更多
关键词 类氢杂质 GaN/Alx Ga1-xN量子点 结合能
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Al_xGa_(1-x)As选择性湿法氧化技术的研究 被引量:4
12
作者 黄静 郭霞 +6 位作者 渠红伟 廉鹏 董立闽 朱文军 杜金玉 邹德恕 沈光地 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第6期647-650,共4页
详细研究了温度和Al组分与AlxGa1-xAs横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受AlxGa1-xAs材料与水汽反应速率限制的过程。运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8μm... 详细研究了温度和Al组分与AlxGa1-xAs横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受AlxGa1-xAs材料与水汽反应速率限制的过程。运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8μm的垂直腔面发射激光器,最大直流光输出功率为3.2mW,激射波长为978nm,工作电流为15mA。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 alxga1-XAS 氧化
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精确测定Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的电子探针波谱法研究 被引量:4
13
作者 刘运传 周燕萍 +3 位作者 王雪蓉 孟祥艳 段剑 郑会保 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期336-340,共5页
采用蒙特卡罗理论模拟加速电子在氮铝镓晶体薄膜中的运动轨迹,研究加速电压与高能电子所能达到样品深度的数学关系,并通过紫外可见光透射法获得晶体薄膜的光学厚度。根据理论模拟结果,选择合适于本样品的加速电压、电流与电子束直径等... 采用蒙特卡罗理论模拟加速电子在氮铝镓晶体薄膜中的运动轨迹,研究加速电压与高能电子所能达到样品深度的数学关系,并通过紫外可见光透射法获得晶体薄膜的光学厚度。根据理论模拟结果,选择合适于本样品的加速电压、电流与电子束直径等实验条件,电子探针波谱法测定AlxGa1-xN薄膜中铝元素含量,由两个电子探针实验室进行分析,每个实验室测量6个样品,共12个样品。从重复性测量、X射线强度、物理参数、校准用标准物质及仪器检测限等因素,对电子探针波谱法测量AlxGa1-xN薄膜材料中铝含量的测量不确定度进行分析。研究结果表明电子探针波谱法测量AlxGa1-xN晶体薄膜组分(x=0.8)的相对测量不确定度为2.7×10-2,包含因子k=2。 展开更多
关键词 薄膜 氮铝镓 电子探针波谱法 测量不确定度 蒙特卡罗法
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基于MOCVD生长的高Al组分Al_xGa_(1-x)N的HRXRD研究 被引量:2
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作者 杜阳 李培咸 +1 位作者 周小伟 白俊春 《电子科技》 2009年第5期69-71,77,共4页
通过MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上异质外延了不同Al组分含量的AlxGa1-xN材料,生长过程中采用了低温缓冲层技术、脉冲原子外延技术(PALE)和多层超晶格缓冲技术,例如AlGaN/AlNSLs结构,成功得到了表面光滑无裂纹的AlxGa1-xN膜。并且通过HR... 通过MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上异质外延了不同Al组分含量的AlxGa1-xN材料,生长过程中采用了低温缓冲层技术、脉冲原子外延技术(PALE)和多层超晶格缓冲技术,例如AlGaN/AlNSLs结构,成功得到了表面光滑无裂纹的AlxGa1-xN膜。并且通过HRXRD对材料进行了多个晶面方向上的摇摆曲线和2θ~ω表征测试,在此测试基础上对材料的Al组分、a轴和c轴的晶格常数以及位错密度进行了相应的计算,并定性的分析了材料的应变状态。 展开更多
关键词 MOCVD alxga1-XN HRXRD 位错 晶格常数
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应变对Al_xGa_(1-x)N能带间隙弯曲系数和能带结构的影响 被引量:1
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作者 黄琨 范广涵 +4 位作者 谭春华 李述体 吴文光 李华兵 雷勇 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期320-322,326,共4页
在生长AlxGa1-xN外延层过程中,由于外延层的热膨胀系数和晶格常数与衬底的不同,导致许多残留应变产生,这会影响外延层材料的能带结构和跃迁能。从理论上分析了在赝形应变下AlGaN的能带结构和弯曲系数,并通过对AlxGa1-xN能带间隙的理论... 在生长AlxGa1-xN外延层过程中,由于外延层的热膨胀系数和晶格常数与衬底的不同,导致许多残留应变产生,这会影响外延层材料的能带结构和跃迁能。从理论上分析了在赝形应变下AlGaN的能带结构和弯曲系数,并通过对AlxGa1-xN能带间隙的理论结果和实验结果分析比较,得出的能带间隙的弯曲系数与已有文献报道的实验结果相吻合。 展开更多
关键词 alxga1-XN 弯曲系数 晶格常数 应变
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AlxGa1-xN/AlN超晶格材料特性研究 被引量:2
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作者 谢自力 张荣 +7 位作者 江若琏 刘斌 龚海梅 赵红 修向前 韩平 施毅 郑有炓 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期727-729,共3页
用MOCVD技术在(0001)蓝宝石衬底上成功研制了2寸衬底上无裂纹的Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格材料。研究了AlxGa1-xN/Al N超晶格材料特性。结果表明,缓冲层材料和结构对Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格的表面型貌和界面特性有很大的影响。AFM研究表明... 用MOCVD技术在(0001)蓝宝石衬底上成功研制了2寸衬底上无裂纹的Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格材料。研究了AlxGa1-xN/Al N超晶格材料特性。结果表明,缓冲层材料和结构对Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格的表面型貌和界面特性有很大的影响。AFM研究表明利用GaN做支撑层生长的Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格材料是一种准二维生长模式。XRD和SEM研究表明研制的材料表面平整、界面清晰、并且材料具有完整的周期重复性。利用紫外-可见光谱仪反射谱研究表明研制的30对Al N/Al0.3Ga0.7N超晶格材料在中心波长为313nm的紫外波段具有93.5%的反射率。 展开更多
关键词 MOCVD 超晶格 alxga1-xN/AlN
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Structural and optical characteristics of Al_xGa_(1-x)N/AlN superlattice 被引量:2
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作者 XIE ZiLi1, ZHANG Rong1, JIANG RuoLian1, LIU Bin1, GONG HaiMei2, XIU XiangQian1, CHEN Peng1, LU Hai1, HAN Ping1, SHI Yi1 & ZHENG YouDou1 1 Jiangsu Provincial Key Laboratory of Advanced Photonic and Electronic Materials, Physical Department of Nanjing University, Nanjing 210093, China 2 Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Science, Shanghai 200083, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第2期332-335,共4页
AlN/Al0.3Ga0.7N superlattices were grown on (0001) sapphire substrate by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The superlattice period varies from 6 to 30. The layer thickness of different period stack was ... AlN/Al0.3Ga0.7N superlattices were grown on (0001) sapphire substrate by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The superlattice period varies from 6 to 30. The layer thickness of different period stack was designed. GaN or AlGaN template was employed for growing AlN/AlGaN superlattices. Reflectivity, SEM, AFM and XRD data of the AlxGa1-xN/AlN superlattices are presented. It is found that the templates used have an intensive impact on surface roughness and interfacial properties of following AlN/AlGaN superlattices. The result of atomic force microscopy indicates that AlN/AlGaN superlattices grown on GaN template exhibit quasi-two-dimensional growth mode. The resulting superlattice has a smooth surface morphology and distinct interface. No crack is observed in the area of a 2-inch wafer. 展开更多
关键词 MOCVD SUPERLATTICES alxga1-xN/AlN
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GaAs MISFET制备中柠檬酸/双氧水溶液对GaAs/Al_xGa_(1-x)As结构的选择湿法腐蚀 被引量:1
18
作者 杨瑞霞 陈宏江 +2 位作者 武一宾 杨克武 杨帆 《电子器件》 CAS 2007年第2期384-386,390,共4页
用α台阶仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同体积比的柠檬酸(50%)/双氧水溶液对GaAs/AlxGa1-xAs系统的选择湿法腐蚀特性,对AlxGa1-xAs停止层的组分和腐蚀液体积比进行了优化.当腐蚀液体积比在1.5∶1到2∶1范围时获得了最好的选择腐蚀效果.... 用α台阶仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同体积比的柠檬酸(50%)/双氧水溶液对GaAs/AlxGa1-xAs系统的选择湿法腐蚀特性,对AlxGa1-xAs停止层的组分和腐蚀液体积比进行了优化.当腐蚀液体积比在1.5∶1到2∶1范围时获得了最好的选择腐蚀效果.在25℃.温度条件下,当腐蚀液体积比为1.5∶1时,对Al摩尔分数x为0.2、0.3和1的GaAs/AlxGa1-xAs系统腐蚀比分别为45、74和大于200,表面腐蚀形貌均匀平整.将这种选择腐蚀技术用于GaAsMISFET的栅槽工艺,获得了良好的阈值电压均匀性. 展开更多
关键词 柠檬酸 GaAs/alxga1-xAs系统 选择性湿法腐蚀 GAAS MESFET
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GaAs/AlxGa1-xAs量子阱中的激子在纵向外电场中的性质 被引量:3
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作者 张福甲 虎志明 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期232-236,共5页
用变分法分别计算了GaAs/AlxGa1-xAs单量子阱和多量子阱在纵向(垂直于异质结界面的方向)外电场作用下激子的基态能级,讨论了电场对激子的峰移、偶极振予强度和交换能的影响。
关键词 量子阱 激子 纵向外电场 砷化镓 alxga1-XAS
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有限势垒量子阱中极化子结合能的压力效应 被引量:1
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作者 孟建英 班士良 王树涛 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期31-37,共7页
计入流体静压力效应,同时考虑量子阱中三类光学声子模(局域类体光学声子、半空间类体光学声子和界面光学声子模)对单电子基态能量的影响,采用变分法讨论GaAs/AlxGa1-xAs量子阱中自由极化子的结合能.得到了压力下三类光学声子模对极化子... 计入流体静压力效应,同时考虑量子阱中三类光学声子模(局域类体光学声子、半空间类体光学声子和界面光学声子模)对单电子基态能量的影响,采用变分法讨论GaAs/AlxGa1-xAs量子阱中自由极化子的结合能.得到了压力下三类光学声子模对极化子结合能影响随阱宽的变化关系.结果表明:极化子结合能随外加压力增加. 展开更多
关键词 极化子 结合能 量子阱 压力效应 GAAS/alxga1-XAS
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