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非晶硅半导体及其在传感技术中的应用
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作者 魏光普 《物理》 CAS 北大核心 1993年第9期545-550,共6页
叙述了非晶硅半导体的结构、制备方法及特性,介绍了非晶硅在制作光电传感器、色敏传咸器、放射线(X射线等)传感器及应变传感器等方面的应用。并介绍了这些传感器的大致结构、输出特性及有关的应用.
关键词 非晶硅半导体 传感器 无定形半导体
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