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压电微马达研究进展 被引量：5
1
作者 阎立 褚祥诚 +1 位作者 董蜀湘 李龙土 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期116-121,共6页
利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。
关键词 压电微马达 压电薄膜 静电超声微马达
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