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基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪
被引量：
2
1
作者
张林欣
王俊铎
沈文江
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第5期71-73,80,共4页
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实...
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。
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关键词
微机电系统(MEMS)陀螺仪
静电
调
修
圆盘结构
阳极键合
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职称材料
题名
基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪
被引量：
2
1
作者
张林欣
王俊铎
沈文江
机构
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第5期71-73,80,共4页
文摘
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。
关键词
微机电系统(MEMS)陀螺仪
静电
调
修
圆盘结构
阳极键合
Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope
electrostatic tuning
disk structured
anode bonding
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN96 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪
张林欣
王俊铎
沈文江
《传感器与微系统》
CSCD
2020
2
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