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微机械静电伺服加速度计 被引量：8
1
作者 彭勃 何晓平 苏伟 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期63-66,共4页
本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点 ,并对其封装样品作了简要的叙述。给出了用于± 4g,线性度小于 2 % ,分辨率低于 5× 1 0 - 3g的微加速度计实验结果。
关键词 静电伺服 加速度计 微弱信号检测 微机械
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双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计
2
作者 李莉 张春熹 +1 位作者 林恒 刘惠兰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第6期82-85,共4页
详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计。通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2μg,测量范围为0.2μg～1g。
关键词 双光纤Fabry—Perot干涉仪 差动检测 静电伺服 加速度计 微光机电
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“叉指”结构微加速度表的设计
3
作者 何晓平 《中国工程物理研究院科技年报》 2006年第1期248-249,共2页
利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验获得了完整数据。
关键词 加速度表 设计 结构 静电伺服 飞行试验 全量程 重复性
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“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计
4
作者 何晓平 《中国工程物理研究院科技年报》 2004年第1期224-225,共2页
“叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点，成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的，无需装配，这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计... “叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点，成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的，无需装配，这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计的多项性能指标，故设计时需兼顾多个参数。 展开更多
关键词 微加速度计 敏感芯片 静电伺服 设计 批量加工 MEMS技术 频率响应 性能指标
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MSA100微加速度计性能测试与分析
5
作者 何晓平 彭勃 《电子技术参考》 2000年第1期11-14,共4页
关键词 微加速度计 性能测试 静电伺服 传感器 重力场
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电子学与光电子学——电子学与光电子学学科研究进展
6
作者 苏毅 《中国工程物理研究院科技年报》 2006年第1期207-207,209,210,共3页
1 电子学 1．1 电子学与无线电电子学系统 利用MEMS技术研制一种静电伺服型“叉指”结构微加速度表，量程为一70～70g，应用于重大飞行试验获得了完整数据。利用MEMS技术还研制一种高g值微脉冲开关，大大缩小了开关体积，提高了开关... 1 电子学 1．1 电子学与无线电电子学系统 利用MEMS技术研制一种静电伺服型“叉指”结构微加速度表，量程为一70～70g，应用于重大飞行试验获得了完整数据。利用MEMS技术还研制一种高g值微脉冲开关，大大缩小了开关体积，提高了开关在高冲击环境下的生存能力，开关动作门限3000g，响应时间84μs，能承受100000g冲击。 展开更多
关键词 光电子学 MEMS技术 脉冲开关 科研 电子学系统 高冲击环境 加速度表 静电伺服
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静电伺服微加速度计的量程设计 被引量：4
7
作者 何晓平 张德 文贵印 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2003年第6期90-93,共4页
详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压,动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下,检测质量(动极板)受到的静电力。通过对静电力的分析,得出静电伺服微加速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制... 详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压,动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下,检测质量(动极板)受到的静电力。通过对静电力的分析,得出静电伺服微加速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制外,还需满足电刚度小于与机械刚度的条件,该电刚度是极板上所有的直流电压、交流电压产生的电刚度之和。离心实验证明,利用该原则设计的“叉指”结构静电伺服微加速度计的量程达到了设计值。该设计原则可以为此类加速度计的设计提供参考。 展开更多
关键词 静电伺服微加速度计 量程设计 电刚度 静电力 直流偏压 交流驱动电压 动极板 定极板
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三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究 被引量：1
8
作者 陈宇晓 文贵印 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2003年第1期53-57,共5页
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数... 对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000g以上,远远满足实际需求。 展开更多
关键词 三明治结构微机械 静电伺服加速度计 稳定性 微机械加速度计 四梁中心悬臂式结构 吸附效应
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静电伺服型三轴硅加速度计
9
作者 袁凤 《现代计量测试》 1995年第4期60-62,46,共4页
静电伺服型三轴硅加速度计ＫｅｉｊｉＪｏｎｏ１．前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用，但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前，三种工作原理的硅加速度计已经研制成功，即压阻式、电容式... 静电伺服型三轴硅加速度计ＫｅｉｊｉＪｏｎｏ１．前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用，但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前，三种工作原理的硅加速度计已经研制成功，即压阻式、电容式和静电式。商品化的压阻加速度计频率... 展开更多
关键词 加速度计 静电伺服系统 三轴加速度
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采用 PWM 静电伺服技术的微型角速度传感器
10
作者 罗晓章 张燕娥 周百令 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第1期1-3,共3页
本文介绍了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。
关键词 角速度传感器 静电伺服技术 硅微结构 传感器
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