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基于IPD工艺的小型化无反射带通滤波器设计 被引量:5
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作者 刘赣 邢孟江 +2 位作者 李小珍 李楠 杨晓东 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期69-73,共5页
设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的小型化无反射带通滤波器。它区别于传统滤波器最大的特点是它将阻带信号吸收掉而不是反射回信号源,可以极大的提高电路的线性度。在无反射高低通滤波器的电路拓扑结构下,采用串联形式,完成了具有... 设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的小型化无反射带通滤波器。它区别于传统滤波器最大的特点是它将阻带信号吸收掉而不是反射回信号源,可以极大的提高电路的线性度。在无反射高低通滤波器的电路拓扑结构下,采用串联形式,完成了具有超宽带的无反射带通滤波器的建模与仿真。该滤波器中心频率为2.03 GHz,中心频率处的插入损耗小于1d B,BW_(-3d B)≤1.91 GHz,回波损耗≥8.5 d B,带外抑制峰值≥14.47 d B,整体尺寸仅为1.6 mm×1.25 mm×0.3 mm。通过仿真实验,验证了串联方式的无反射带通滤波器的可行性。 展开更多
关键词 集成器件(ipd) 带通滤波器 小型化 反射 串联 高宽带
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0.2~2.0GHz100W超宽带GaN功率放大器 被引量:1
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作者 张晓帆 银军 +4 位作者 倪涛 余若祺 斛彦生 王辉 高永辉 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期252-256,共5页
设计并实现了一款基于0.25μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的100 W超宽带功率放大器。基于SiC无源工艺设计了集成无源器件(IPD)输入预匹配电路芯片;设计了基于陶瓷基片的T型集成输出预匹配电路;基于建立的传输线变压器(TLT)的精确... 设计并实现了一款基于0.25μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的100 W超宽带功率放大器。基于SiC无源工艺设计了集成无源器件(IPD)输入预匹配电路芯片;设计了基于陶瓷基片的T型集成输出预匹配电路;基于建立的传输线变压器(TLT)的精确模型,设计了宽带阻抗变换器,在超宽频带内将50Ω的端口阻抗变换至约12.5Ω,再通过多节微带电路与预匹配后的GaN HEMT芯片实现阻抗匹配。最终,以较小的电路尺寸实现了功率放大器的超宽带性能指标。测试结果表明,功率放大器在0.2~2.0 GHz频带内,在漏极电压36 V、输入功率9 W、连续波的工作条件下,输出功率大于103 W,漏极效率大于50%,输入电压驻波比(VSWR)≤2.5。 展开更多
关键词 GaN高电子迁移率功率管(HEMT) 功率放大器 集成器件(ipd) 超宽带 传输线变压器(TLT)
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基于IPD工艺的高通滤波器芯片设计 被引量:4
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作者 易康 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《通信技术》 2020年第1期230-234,共5页
设计采用了集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺设计了一款集总式紧凑型椭圆函数高通滤波器。设计采用砷化镓GaAs作为衬底材料,基于寄生参数和等效电路模型对螺旋电感和MIM(金属-介质-金属)电容进行理论分析,并在三维电磁... 设计采用了集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺设计了一款集总式紧凑型椭圆函数高通滤波器。设计采用砷化镓GaAs作为衬底材料,基于寄生参数和等效电路模型对螺旋电感和MIM(金属-介质-金属)电容进行理论分析,并在三维电磁场仿真软件HFSS中进行建模与仿真。经过调试,该模型截止频率9.2 GHz,在9.8 GHz通带上插入损耗小于2 dB,在0~7.2 GHz阻带抑制>30 dB,尺寸仅为640μm×865μm×84μm,有效缩小了无源滤波器的尺寸,验证了基于GaAs IPD工艺的集总式高通滤波器设计的可行性。 展开更多
关键词 集成器件(ipd) 高通滤波器 砷化镓(GaAs) 寄生参数 螺旋电感 MIM电容
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基于硅基IPD技术的新型S波段带通滤波器设计 被引量:3
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作者 方芝清 唐高弟 +2 位作者 吕立明 曾荣 李智鹏 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期347-352,共6页
将无源器件内埋或集成在封装基板中,是射频系统级封装(SIP)的小型化面临的首要问题之一。基于硅基集成无源器件(IPD)技术,借鉴经典的级联四角元件(CQ)滤波器拓扑,提出一种四电感互耦结构。利用集总LC谐振器和分布式互感耦合原理,... 将无源器件内埋或集成在封装基板中,是射频系统级封装(SIP)的小型化面临的首要问题之一。基于硅基集成无源器件(IPD)技术,借鉴经典的级联四角元件(CQ)滤波器拓扑,提出一种四电感互耦结构。利用集总LC谐振器和分布式互感耦合原理,在交叉耦合节点处以加载电容的方式引入频变耦合节点,实现了一款新颖的S波段四阶带通滤波器,尺寸仅为1.5 mm×1 mm,其通带内最小插损约为-3.5 dB@2.8 GHz,-1 dB带宽为2.63~2.96 GHz,在带外形成两个传输零点位置:-41.5 dB@2.29 GHz和-26 dB@3.34 GHz。该滤波器结构形式新颖,可以整体集成到硅基板中,为射频系统级封装一体化集成提供支持。 展开更多
关键词 带通滤波器 集成器件(ipd) 系统级封装(SIP) 频变耦合 互感电感结构
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基于集成无源器件工艺的射频功率分配器设计 被引量:2
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作者 隆万洪 黄文韬 +2 位作者 吴振川 徐宽茂 蒋凯旋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期371-377,共7页
由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频... 由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频功率分配器。同相功率分配器的实测结果显示插入损耗约为3.7 d B,隔离度约为25 d B,性能与威尔金森结构功率分配器接近,封装后的尺寸为1.6 mm×0.8 mm,小于威尔金森结构功率分配器。反相功率分配器仿真结果表明插入损耗小于4.2 d B,隔离度约为25 d B。该功率分配器可应用到移动通信终端。 展开更多
关键词 功率分配器 集成器件(ipd) 1/4λ传输线 等效电路 小尺寸
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基于IPD工艺的滤波器设计 被引量:2
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作者 李鹏浩 吴蓉 +4 位作者 马骁 杨新豪 陈思婷 邱昕 郭瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期313-319,共7页
采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm&... 采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm×0.1 mm,高通滤波器芯片尺寸为0.7 mm×1.3 mm×0.1 mm。芯片测试结果显示,低通滤波器的-3 dB截止频率高于4.85 GHz,带外抑制在5.89~16.8 GHz内大于35 dB;高通滤波器的-3 dB截止频率低于6.35 GHz,带外抑制在5.17 GHz以下时大于35 dB。这两款滤波器在所需的工作频率范围内与设计指标吻合良好,达到了设计要求。 展开更多
关键词 集成器件(ipd) 高通滤波器 低通滤波器 电感 谐振
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薄膜有机集成电容的制作工艺 被引量:2
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作者 张健 王春富 +3 位作者 王贵华 王文博 李彦睿 秦跃利 《电子工艺技术》 2022年第2期71-73,80,共4页
以PI-5型聚酰亚胺(PI)电子涂料为介质层,在99瓷氧化铝陶瓷基片表面通过磁控溅射、光刻、电镀、蚀刻等传统薄膜电路工艺制作有机集成电容。分别研究了PI旋涂转速、旋涂时间、热处理制程等参数对PI厚度和均匀性的影响,最终通过优化过程工... 以PI-5型聚酰亚胺(PI)电子涂料为介质层,在99瓷氧化铝陶瓷基片表面通过磁控溅射、光刻、电镀、蚀刻等传统薄膜电路工艺制作有机集成电容。分别研究了PI旋涂转速、旋涂时间、热处理制程等参数对PI厚度和均匀性的影响,最终通过优化过程工艺参数,得到厚度与设计值相符的PI膜层,且膜厚均匀性优于±5%,有机电容的容值精度优于±5%。PI有机电容与薄膜及半导体电路工艺高度兼容,在集成无源器件(IPD)制造中有着广阔的应用前景,有利于新一代系统的微型化、多功能和高密度集成。 展开更多
关键词 聚酰亚胺(PI) 有机电容 薄膜电路 集成器件(ipd)
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基于IPD工艺的无反射带阻滤波器 被引量:1
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作者 唐子舜 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期96-100,共5页
设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的无反射带阻滤波器。它能将阻带反射回的信号吸收掉,从而可以提高电路的线性度。在无反射低通滤波器的电路拓扑结构下,采用变换的形式设计出电路,使用电子设计自动化软件(ADS)和三维全波电磁场仿... 设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的无反射带阻滤波器。它能将阻带反射回的信号吸收掉,从而可以提高电路的线性度。在无反射低通滤波器的电路拓扑结构下,采用变换的形式设计出电路,使用电子设计自动化软件(ADS)和三维全波电磁场仿真软件(HFSS)完成无反射带阻滤波器的建模与仿真。该滤波器的中心频率为4.11 GHz,阻带频段为1.52~6.70 GHz,阻带抑制大于等于14.47 dB,通带插入损耗小于0.7 dB,相对带宽为79%。在毫米波滤波器引入IPD结构,使得滤波器更加小型化,有利于优化滤波器的尺寸,模型的整体尺寸仅为0.9 mm×1 mm×0.1 mm。通过三维电磁仿真实验,验证了该无反射带阻滤波器的可行性。 展开更多
关键词 集成器件(ipd) 带阻滤波器 反射 毫米波
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基于砷化镓基IPD技术的低通滤波器设计 被引量:1
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作者 唐子舜 邢孟江 +1 位作者 侯明 李小珍 《通信技术》 2020年第7期1812-1815,共4页
基于集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)结构设计了一款7阶的椭圆低通滤波器,使用电子设计自动化软件(Advanced Design System,ADS)和三维全波电磁场仿真软件(High Frequency Structure Simulator,HFSS)对设计的滤波器进行仿... 基于集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)结构设计了一款7阶的椭圆低通滤波器,使用电子设计自动化软件(Advanced Design System,ADS)和三维全波电磁场仿真软件(High Frequency Structure Simulator,HFSS)对设计的滤波器进行仿真设计和优化。仿真结果分析显示,该低通滤波器截止频率为2.575 GHz,通带内的插入损耗低于1.5 dB,回波损耗低于-20 dB,在阻带对信号的衰减程度可以达到50 dB。在毫米波滤波器引入IPD结构,使得滤波器更加小型化,有利于优化滤波器的尺寸,得到较好的滤波器性能指标,是毫米波滤波器发展的一个重要方向。本设计的最终尺寸仅为650μm×720μm×85μm。 展开更多
关键词 集成器件(ipd) 毫米波 低通滤波器 砷化镓(GaAs)
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