期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
退火处理降低AlGaN/GaN台面隔离电流 被引量：2
1
作者 赵志波 杨兵 +5 位作者 康玄武 张静 吴昊 孙跃 郑英奎 魏珂 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期293-297,311,共6页
针对电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀后,AlGaN/GaN台面区域存在隔离电流高的问题,研究了不同退火氛围、时间、温度对台面隔离电流的影响。利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)及电学测量仪器对样品进行表征和测试。测试结果表明... 针对电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀后,AlGaN/GaN台面区域存在隔离电流高的问题,研究了不同退火氛围、时间、温度对台面隔离电流的影响。利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)及电学测量仪器对样品进行表征和测试。测试结果表明,在氧气和氮气氛围退火处理均能降低样品的隔离电流,且经退火处理后样品的隔离电流均处于10-9 A/mm数量级,但在氧气氛围中退火处理会使样品的欧姆接触电阻增大。在氮气氛围下的最佳退火处理条件为400℃、120 s。在该条件下样品经过退火处理后,在200 V直流偏压下测得样品的台面隔离电流仅为4.03×10^-9 A/mm,与未经退火处理的样品相比降低了4个数量级,而且在高温测试中样品的隔离电流仍然能够保持较低的数值。 展开更多
关键词 ALGAN 台面区域 隔离电流 退火处理 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀
下载PDF
纳秒脉冲电流检测技术的研发
2
作者 吴斌 陈永刚 +1 位作者 包家立 陈新华 《中国医疗设备》 2023年第5期31-35,55,共6页
目的纳秒脉冲电场治疗设备的临床应用,需要准确稳定获取脉冲输出电流幅值。由于治疗用脉冲前沿陡、脉宽短、电磁干扰强,故本研究旨在研发一种新型的脉冲电流检测技术,以实现脉冲电流检测功能。方法采用高性能隔离式电流传感器进行脉冲... 目的纳秒脉冲电场治疗设备的临床应用,需要准确稳定获取脉冲输出电流幅值。由于治疗用脉冲前沿陡、脉宽短、电磁干扰强,故本研究旨在研发一种新型的脉冲电流检测技术,以实现脉冲电流检测功能。方法采用高性能隔离式电流传感器进行脉冲电流采样,电流信号调制衰减后通过阻抗匹配和差分的方式进行传输,现场可编译门阵列(Field Programmable Gate Array,FPGA)缓存模数转换后的电流数字量信号,以通讯方式传输到微控制芯片进行电流数据的分析处理。采用多层板的印制电路板(Printed Circuit Board,PCB)设计,增强抗干扰性。结果静态直流测试和实际负载下的动态脉冲测试误差均≤5%,实现了纳秒级别的稳定采样。结论该纳秒脉冲电流检测模块能满足医用级治疗设备的应用要求且方便集成,具有较强的临床实用性。 展开更多
关键词 纳秒脉冲电场 治疗设备 电流检测技术 隔离式电流传感器
下载PDF
具有电压和电流限制的隔离型电流临界导通开关电源
3
作者 王春霞 陈永真 《辽宁工学院学报》 2003年第4期19-20,共2页
论述了充电电池的充电器和开关电源的工作原理,由于其小巧、经济方面的应用要求不断增加,而这些应用普遍要求电压和电流限制,同时必须有效地抑制EMI的辐射噪音,因此在隔离型电池充电器中有一个几乎是正方形的限压、限流的要求。本文提... 论述了充电电池的充电器和开关电源的工作原理,由于其小巧、经济方面的应用要求不断增加,而这些应用普遍要求电压和电流限制,同时必须有效地抑制EMI的辐射噪音,因此在隔离型电池充电器中有一个几乎是正方形的限压、限流的要求。本文提出具有这些功能的低成本、低损耗的解决方案。 展开更多
关键词 隔离型电流临界导通开关电源 充电器 充电电池 限压功能 限流功能
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部