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铜锌锡硫薄膜及其太阳能电池的研究进展 被引量:4
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作者 张帅 《科技资讯》 2010年第24期67-67,69,共2页
本文阐述了铜锌锡硫薄膜太阳能电池结构和性能特点,介绍了目前实验室研究过程中铜锌锡硫薄膜的制备方法,最后指出制备工艺中存在的问题和今后研究发展方向。
关键词 薄膜 太阳能电池 制备工艺
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基于不同溅射方法制备铜锌锡硫薄膜及太阳电池 被引量:3
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作者 徐信 蒋志 +2 位作者 李志山 陆熠磊 王书荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1011-1020,共10页
采用共溅射及分步溅射方法在涂钼的钠钙玻璃衬底上分别形成金属预制层,先后在低温及高温下对金属预制层进行合金后硫化,制备了铜锌锡硫(Cu2Zn SnS4,CZTS)薄膜。研究了薄膜的晶体结构、表面和截面形貌、元素组分、薄膜中的相纯度及元... 采用共溅射及分步溅射方法在涂钼的钠钙玻璃衬底上分别形成金属预制层,先后在低温及高温下对金属预制层进行合金后硫化,制备了铜锌锡硫(Cu2Zn SnS4,CZTS)薄膜。研究了薄膜的晶体结构、表面和截面形貌、元素组分、薄膜中的相纯度及元素的化学状态。结果表明:共溅射预制层得到的CZTS薄膜的表面及截面形貌优于分步溅射预制层得到的CZTS薄膜。用紫外-可见分光光度计与Hall测试系统表征了CZTS薄膜的光电特性,发现在200℃退火15 h能有效降低CZTS薄膜的缺陷态密度,增加CZTS薄膜中的载流子迁移率和扩散系数。研究结果表明,采用共溅射制备CZTS薄膜太阳电池性能优于分步溅射法,且经过退火处理的CZTS薄膜制备的电池特性均得到有效提高。基于分步溅射法制备的CZTS吸收层制备的电池开路电压为722 m V,短路电流密度为11.2 mA/cm2,最高转换效率为3.22%;基于共溅射法制备的CZTS吸收层制备的电池开路电压为637 m V,短路电流密为15.0 mA/cm2,最高转换效率为3.88%。 展开更多
关键词 薄膜 共溅射 分步溅射 太阳电池
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缓冲层对倒序铜锌锡硫薄膜太阳能电池性能的影响 被引量:3
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作者 康丽 张敬波 张志新 《唐山师范学院学报》 2018年第6期1-6,共6页
为研究缓冲层材料的能带结构对倒序铜锌锡硫薄膜太阳能电池中吸收层和电子传输层之间的界面性能及光电转换效率的影响,制备了具有不同能带结构的CdS和ZnS缓冲层。通过紫外吸收光谱、X射线衍射、拉曼光谱、XPS能谱、电化学阻抗谱、强度... 为研究缓冲层材料的能带结构对倒序铜锌锡硫薄膜太阳能电池中吸收层和电子传输层之间的界面性能及光电转换效率的影响,制备了具有不同能带结构的CdS和ZnS缓冲层。通过紫外吸收光谱、X射线衍射、拉曼光谱、XPS能谱、电化学阻抗谱、强度调制光电流谱和光电流-电压曲线等的测试,对缓冲层和吸收层薄膜的能带结构、晶体结构、界面性能和光电性能进行了分析。结果表明,与ZnS作缓冲层相比,CdS作缓冲层时,缓冲层与铜锌锡硫吸收层形成的界面性能更好,有效促进了光生电子的界面转移和输运,减小了载流子的界面复合,从而显著提高了光电转换效率,最佳实验条件下提高了84.74%。 展开更多
关键词 缓冲层 薄膜 倒序结构太阳能电池 光电性能
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溶胶-凝胶法工艺参数对铜锌锡硫薄膜质量及性能影响研究 被引量:1
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作者 王近 袁妍妍 +2 位作者 王久和 李涛 张琳 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期3092-3099,3123,共9页
以乙酸铜(Cu(CH_(3)COO)_(2)·H_(2)O)、乙酸锌(Zn(CH_(3)COO)_(2)·H_(2)O)、氯化亚锡(SnCl_(2)·2H_(2)O)、硫脲(CH_(4)N_(2)S)为原料,按一定配比制得前驱体溶液,以三乙醇胺(C_(6)H_(15)NO_(3))、乙醇胺(C_(2)H_(7)NO)为... 以乙酸铜(Cu(CH_(3)COO)_(2)·H_(2)O)、乙酸锌(Zn(CH_(3)COO)_(2)·H_(2)O)、氯化亚锡(SnCl_(2)·2H_(2)O)、硫脲(CH_(4)N_(2)S)为原料,按一定配比制得前驱体溶液,以三乙醇胺(C_(6)H_(15)NO_(3))、乙醇胺(C_(2)H_(7)NO)为稳定剂采用溶胶-凝胶法旋涂制备铜锌锡硫(Cu_(2)ZnSnS_(4))薄膜。通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱分析(EDS)、紫外-可见-近红外分光光度计表征手段对薄膜的表面形貌、物相结构、成分组成和光学性能等进行分析。研究烧结温度、旋涂转速、稳定剂加入等工艺参数对铜锌锡硫(CZTS)薄膜的形貌、物相结构及光学性能的影响规律。结果表明,前驱体溶液浓度为0.2 mol/L,旋涂速度为1000 r/min,时间为10 s,烧结温度为280℃时,得到了符合Cu_(2)ZnSnS_(4)相结构的薄膜样品;而浓度为0.3 mol/L,旋涂速度为3500 r/min,时间为15 s,增添乙醇胺(MEA)的稳定剂,烧结温度为260℃制备出的CZTS薄膜在表面相貌上有较大改善,其中添加1.5 mL三乙醇胺(TEA)及乙醇胺(MEA)稳定剂制备的CZTS薄膜形貌呈颗粒状,薄膜的表面均匀性提高,但薄膜的结晶质量不如0.2 mol/L溶液制备的样品,薄膜中Sn、S元素的流失而导致其他相的生成使得薄膜的带宽偏大。此外,样品的结晶随烧结时间延长而逐渐变好,但是没有大尺寸晶粒生成。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 结晶质量 薄膜 表面形貌 光学性能
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硫化时间对固态硫化铜锌锡硫薄膜性能的影响 被引量:2
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作者 曹中明 杨元政 +1 位作者 许佳雄 谢致薇 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期63-67,共5页
采用固态硫化法硫化铜锡锌(CZT)预制膜制备铜锌锡硫(Cu_2ZnSnS_4,CZTS)薄膜,研究硫化时间对CZTS薄膜性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)和紫外拉曼光谱仪(Raman)分析薄膜的物相结构,通过X射线能谱仪(EDS)分析薄膜的化学组分,采用扫描电镜... 采用固态硫化法硫化铜锡锌(CZT)预制膜制备铜锌锡硫(Cu_2ZnSnS_4,CZTS)薄膜,研究硫化时间对CZTS薄膜性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)和紫外拉曼光谱仪(Raman)分析薄膜的物相结构,通过X射线能谱仪(EDS)分析薄膜的化学组分,采用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,利用UV-Vis研究薄膜的光学特性。结果表明:随着硫化时间延长,Cu含量增加,Zn含量明显减少。硫化40min以上制备的薄膜出现导致禁带宽度减小的杂相SnS,Sn2S3和Cu_2SnS_3。当硫化时间为20min时,样品为单相的CZTS薄膜,薄膜表面均匀平整,化学组分贫Cu富Sn,吸收系数达104cm-1,禁带宽度Eg约为1.56eV。 展开更多
关键词 磁控溅射 薄膜 固态 化时间
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硫化物靶与单质靶制备Cu_2ZnSnS_4薄膜的比较研究 被引量:1
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作者 徐信 王书荣 +3 位作者 马逊 杨帅 李耀斌 杨洪斌 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期529-534,共6页
为了验证磁控溅射硫化物靶替代单质靶制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜及太阳电池的可行性与优越性,采用多周期磁控溅射ZnS-Sn-CuS和Zn-Sn-Cu制备CZTS薄膜,并分析了使用不同溅射靶材对薄膜晶体结构、相纯度、表面粗糙度、化学组分、表面、截... 为了验证磁控溅射硫化物靶替代单质靶制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜及太阳电池的可行性与优越性,采用多周期磁控溅射ZnS-Sn-CuS和Zn-Sn-Cu制备CZTS薄膜,并分析了使用不同溅射靶材对薄膜晶体结构、相纯度、表面粗糙度、化学组分、表面、截面形貌及光电特性的影响。按SLG/Mo/CZTS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al结构制成完整的电池器件并测量了J-V曲线。结果显示采用ZnS-Sn-CuS靶制备的CZTS薄膜太阳电池开路电压为611 mV,短路电流密度为21.28mA/cm^2,光电转换效率达5.11%;而以单质靶为基础制备的太阳电池开路电压为594mV,短路电流密度为18.56 mA/cm^2,光电转换效率为4.13%。这归因于采用ZnS-Sn-CuS制备的CZTS薄膜相比于单质靶更加平整致密,纵向生长更好。证明了采用硫化物靶制备CZTS薄膜及太阳电池相较于单质靶的优越性。 展开更多
关键词 薄膜 太阳电池 二元化物靶 金属单质靶
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Sn的叠层顺序对CZTS薄膜的影响
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作者 冯乔莲 唐臻 徐信 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2020年第2期23-29,共7页
采用磁控溅射预制层后硫化制备CZTS薄膜,研究Sn不同叠层顺序对薄膜特性的影响.通过对晶体结构、相纯度、表面形貌、光学特性进行表征和分析,结果表明采用溅射顺序为ZnS/CuS/Sn/Mo制备的CZTS薄膜表面平整光滑的特性,具有较好的晶体质量.... 采用磁控溅射预制层后硫化制备CZTS薄膜,研究Sn不同叠层顺序对薄膜特性的影响.通过对晶体结构、相纯度、表面形貌、光学特性进行表征和分析,结果表明采用溅射顺序为ZnS/CuS/Sn/Mo制备的CZTS薄膜表面平整光滑的特性,具有较好的晶体质量.同时也有利于减少在硫化过程中Sn含量的损失,抑制MoS2的形成.最终得到了开路电压为670 mV,短路电流为15.52 mA/cm^2,填充因子为44%,光电转换效率为4.58%的CZTS薄膜电池. 展开更多
关键词 磁控溅射 薄膜 太阳电池 叠层顺序
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无硫化过程磁控溅射制备Cu2ZnSnS4薄膜及其结构和光学性质研究
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作者 杨海刚 张基东 +3 位作者 郝瑞亭 曹伟伟 李美成 常方高 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期991-996,共6页
使用Cu2ZnSnS4(CZTS)靶材,通过射频磁控溅射方法镀膜,不经后期硫化处理,在钠钙玻璃衬底上沉积了锌黄锡矿结构的CZTS薄膜材料。在薄膜的沉积过程中,衬底温度分别为300,400和500℃。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能量色散X射线光谱... 使用Cu2ZnSnS4(CZTS)靶材,通过射频磁控溅射方法镀膜,不经后期硫化处理,在钠钙玻璃衬底上沉积了锌黄锡矿结构的CZTS薄膜材料。在薄膜的沉积过程中,衬底温度分别为300,400和500℃。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能量色散X射线光谱仪和紫外-可见-近红外分光光度计等对薄膜样品的微观形貌、晶体结构、元素成分、光学性质等进行了研究。分析讨论了衬底温度对样品的表面形貌、晶体结构、化学成分、光吸收系数和禁带宽度的影响关系。结果表明,在衬底温度为500℃条件下沉积得到的CZTS薄膜样品,具有较好的锌黄锡矿晶体结构,晶粒大小为23 nm,光吸收系数在可见光范围内高于1×104cm-1,禁带宽度为1.49 eV。 展开更多
关键词 薄膜 晶体结构 禁带宽度 磁控溅射 衬底温度
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ZnO纳米棒对倒序Cu_2ZnSnS_4薄膜太阳能电池光电性能的影响
9
作者 闫荣靓 康丽 +1 位作者 孙玉绣 张敬波 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第6期21-26,共6页
为了提高光生电子在半导体纳晶薄膜的输运速度,在导电玻璃基底上通过先沉积种子层、再生长ZnO薄膜的方法,制备了结构均匀、垂直基底的ZnO纳米棒.采用溶液法并经硫化在ZnO纳晶薄膜上制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别以聚噻吩和铜为空穴传输... 为了提高光生电子在半导体纳晶薄膜的输运速度,在导电玻璃基底上通过先沉积种子层、再生长ZnO薄膜的方法,制备了结构均匀、垂直基底的ZnO纳米棒.采用溶液法并经硫化在ZnO纳晶薄膜上制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别以聚噻吩和铜为空穴传输层和对电极组装倒序结构CZTS薄膜太阳能电池.通过改变ZnO纳米薄膜的微观形貌,研究用于电子传输的纳晶薄膜的微观结构对倒序结构CZTS薄膜光电性能的影响.实验结果表明:与ZnO纳米颗粒相比,由于Zn O纳米棒有利于CZTS吸收层电子空穴的分离和光生电子在ZnO纳晶薄膜内的输运,减少光生电子和空穴的复合,倒序CZTS太阳能电池的光电转换效率从0.04%提高到0.31%. 展开更多
关键词 ZNO纳米棒 薄膜 倒序结构太阳能电池 光电性能
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硫化退火温度对金属三靶顺序溅射CZTS薄膜性能的影响
10
作者 刘仪柯 张坤 +3 位作者 唐雅琴 蒋良兴 刘芳洋 赖延清 《有色金属(冶炼部分)》 CAS 北大核心 2018年第1期69-72,共4页
通过XRD及Raman物相分析、SEM形貌观察和EDS成分分析等方法研究了硫化退火温度对金属三靶顺序溅射铜锌锡硫(CZTS)薄膜性能的影响。结果表明,在一定温度范围内(500~580℃),随着温度的升高薄膜的结晶性能有变好的趋势,形貌也得到了改善。... 通过XRD及Raman物相分析、SEM形貌观察和EDS成分分析等方法研究了硫化退火温度对金属三靶顺序溅射铜锌锡硫(CZTS)薄膜性能的影响。结果表明,在一定温度范围内(500~580℃),随着温度的升高薄膜的结晶性能有变好的趋势,形貌也得到了改善。当温度达到600℃时,CZTS薄膜会发生分解反应,该分解反应不但导致薄膜结晶性能及形貌恶化,也造成了锡元素的损失。580℃条件下获得的薄膜各项性能俱佳,是最适合本实验体系的退火温度。 展开更多
关键词 化退火 退火温度 薄膜 结晶性能
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薄膜太阳电池技术发展趋势浅析 被引量:11
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作者 李微 黄才勇 刘兴江 《中国电子科学研究院学报》 2012年第4期344-350,共7页
低成本、高效率的薄膜太阳电池是未来光伏产业发展的重要方向之一。主要介绍了目前备受关注的薄膜太阳电池,包括硅基薄膜太阳电池、铜铟镓硒与铜锌锡硫薄膜太阳电池,及砷化镓薄膜太阳电池等,简述了它们的各自特点、研究现状、主要技术... 低成本、高效率的薄膜太阳电池是未来光伏产业发展的重要方向之一。主要介绍了目前备受关注的薄膜太阳电池,包括硅基薄膜太阳电池、铜铟镓硒与铜锌锡硫薄膜太阳电池,及砷化镓薄膜太阳电池等,简述了它们的各自特点、研究现状、主要技术路线和产业化发展等情况。最后展望了薄膜太阳电池未来的发展趋势。 展开更多
关键词 硅基薄膜太阳电池 铟镓硒薄膜太阳电池 薄膜太阳电池 砷化镓薄膜太阳电池
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磁控溅射法制备的硫化镉缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能
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作者 陈玉飞 廖华 +2 位作者 周志能 赵永刚 王书荣 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2024年第2期18-21,共4页
利用磁控溅射法制备硫化镉薄膜,研究硫化镉薄膜作为缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能.进一步地,采用双功率溅射的方法,减轻溅射过程对吸收层的损伤,增加了铜锌锡硫薄膜太阳电池的开路电压和填充因子,提高了光电转换效率,最终获得了光... 利用磁控溅射法制备硫化镉薄膜,研究硫化镉薄膜作为缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能.进一步地,采用双功率溅射的方法,减轻溅射过程对吸收层的损伤,增加了铜锌锡硫薄膜太阳电池的开路电压和填充因子,提高了光电转换效率,最终获得了光电转换效率为7.0%的铜锌锡硫薄膜太阳电池. 展开更多
关键词 薄膜太阳电池 化镉缓冲层 磁控溅射法 双功率溅射
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铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池吸收层薄膜质量探究
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作者 王玲玲 王雁芹 《物理实验》 2023年第10期17-26,共10页
铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池是低成本、有潜力的新型太阳能电池,其吸收层的质量决定太阳能电池器件的性能.溶液法是通过将预制膜硒化热处理来获得铜锌锡硫硒太阳能电池的吸收层材料,其中硒化处理是得到高质量吸收层的重要手段.为得到高质... 铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池是低成本、有潜力的新型太阳能电池,其吸收层的质量决定太阳能电池器件的性能.溶液法是通过将预制膜硒化热处理来获得铜锌锡硫硒太阳能电池的吸收层材料,其中硒化处理是得到高质量吸收层的重要手段.为得到高质量吸收层,对硒化条件进行设计,分别从硒化程序组成(一步/两步硒化)、硒化温度及硒化时间3个方面探究了硒化过程对铜锌锡硫硒吸收层的相纯度、微观形貌及光电转换性能的影响.利用最优硒化参量制备电池器件,获得了5.72%的光电转换效率. 展开更多
关键词 薄膜 薄膜太阳能电池 硒化工艺 结晶生长 光电转换性能
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钾掺杂对柔性CZTSSe薄膜及其太阳电池性能的影响 被引量:4
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作者 商慧荣 沈鸿烈 +2 位作者 孙孪鸿 李金泽 李玉芳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期71-77,共7页
本文采用磁控溅射加后续硒化的方法制备柔性CZTSSe薄膜,通过向硒化气氛中引入钾元素实现了钾的有效掺杂。研究了钾掺杂量对柔性CZTSSe薄膜和电池性能的影响。X射线衍射和Raman结果表明适量掺入钾元素可以显著提高CZTSSe薄膜的(112)择优... 本文采用磁控溅射加后续硒化的方法制备柔性CZTSSe薄膜,通过向硒化气氛中引入钾元素实现了钾的有效掺杂。研究了钾掺杂量对柔性CZTSSe薄膜和电池性能的影响。X射线衍射和Raman结果表明适量掺入钾元素可以显著提高CZTSSe薄膜的(112)择优取向,增大晶粒尺寸,但钾元素掺杂量过高时又会使晶粒尺寸变小降低薄膜结晶性。另外钾元素的掺入也会改变CZTSSe/Cd S间能带匹配情况,少量的钾元素掺杂对CZTSSe/Cd S间导带失调值(CBO)影响不大,过量掺入钾元素则会明显增大CZTSSe/Cd S间的CBO绝对值,进而降低柔性CZTSSe太阳电池转换效率。发现钾元素掺杂量为1. 0μmol时,所制备的柔性CZTSSe薄膜平均晶粒尺寸超过1μm,且具有很强的(112)择优取向;制作的CZTSSe/Cd S具有最佳的CBO数值,相应柔性太阳电池的最高值转换效率为3. 06%。 展开更多
关键词 柔性太阳电池 薄膜 钾掺杂 结晶性 能带匹配
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硫代硫酸钠浓度对电沉积制备铜锌锡硫硒薄膜性质的影响(英文) 被引量:3
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作者 葛杰 江锦春 +7 位作者 胡古今 张小龙 左少华 杨立红 马建华 曹萌 杨平雄 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期-,共6页
采用后硒化Cu-Zn-Sn-S电沉积预制层的方法制备了铜锌锡硫硒薄膜,其中Cu-Zn-Sn-S预制层是通过含有不同浓度的硫代硫酸钠电解液电沉积而成的.实验发现,硒化前后薄膜的性质与硫代硫酸钠浓度密切相关.SEM,EDS,XRD,Raman和透射光谱分析表明,... 采用后硒化Cu-Zn-Sn-S电沉积预制层的方法制备了铜锌锡硫硒薄膜,其中Cu-Zn-Sn-S预制层是通过含有不同浓度的硫代硫酸钠电解液电沉积而成的.实验发现,硒化前后薄膜的性质与硫代硫酸钠浓度密切相关.SEM,EDS,XRD,Raman和透射光谱分析表明,当硫代硫酸钠的浓度为5 mM时,沉积的薄膜形貌平整,晶粒明显,组分贫锌,具有单一的铜锌锡硫硒结构,且其带隙为1.11 eV;在浓度高于5 mM下沉积的薄膜形貌粗糙并产生杂相硒化锡;在浓度低于5 mM下沉积的薄膜组分严重贫锌并生成大量的Cu2SnSe3. 展开更多
关键词 共电沉积 酸钠浓度 硒化 薄膜
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烧结氛围对铜锌锡硫硒薄膜性质的影响 被引量:1
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作者 崔国楠 杨艳春 +2 位作者 张婧英 李月敏 陈瑞兰 《内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)》 CAS 2020年第3期209-213,共5页
Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜太阳能电池吸收层的质量,受薄膜的烧结氛围影响,进而影响其电池器件的性能。利用溶液法,分别在氮气和空气两种氛围下制备Cu2ZnSn(S,Se)4吸收层薄膜,系统地研究烧结氛围对Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜性质的影响。首先,采用甲... Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜太阳能电池吸收层的质量,受薄膜的烧结氛围影响,进而影响其电池器件的性能。利用溶液法,分别在氮气和空气两种氛围下制备Cu2ZnSn(S,Se)4吸收层薄膜,系统地研究烧结氛围对Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜性质的影响。首先,采用甲胺水溶液和硫代乙醇酸的混合溶液为溶剂,依次溶解S、Sn、Zn和Cu单质,配制Cu2ZnSnS4前驱体溶液;然后,通过旋涂/烧结的方法,分别在氮气气氛和空气中制得Cu2ZnSnS4预制薄膜,进一步对预制薄膜进行高温硒化处理,得到两种氛围的Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜;最后,经过XRD、Raman、SEM、C-AFM和I-V特性曲线等测试表征。结果发现:氮气气氛的Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜晶粒尺寸较大、表面形貌更均匀、结晶性和导电率较高,薄膜质量相对更佳,说明氮气氛围更有利于制备适合于高性能电池器件的Cu2ZnSn(S,Se)4吸收层薄膜。 展开更多
关键词 烧结氛围 薄膜 溶液法
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铜锌锡硫系薄膜太阳电池的专利分析 被引量:1
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作者 王倩 王萍 《太阳能》 2015年第8期11-12,共2页
铜锌锡硫(CZTS)系薄膜太阳电池因其高吸收系数、适宜的带隙宽度而成为太阳电池领域非常有前途的光吸收层材料。本文针对CZTS系薄膜太阳电池进行专利技术综述的分析,对国内外专利申请情况进行梳理,为国内薄膜太阳电池研究发展提供参考。
关键词 :薄膜太阳电池 专利分析
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