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低k介质与铜互连集成工艺 被引量:9
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作者 孙鸣 刘玉岭 +1 位作者 刘博 贾英茜 《微纳电子技术》 CAS 2006年第10期464-469,共6页
阐明了低k介质与铜互连集成工艺取代传统铝工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用。依照工艺流程,介绍了如何具体实现IC制造多层互连工艺:嵌入式工艺、低k介质与平坦化、铜电镀工艺与平坦化;阐述了工艺应用现况与存在的难题,给出了国际... 阐明了低k介质与铜互连集成工艺取代传统铝工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用。依照工艺流程,介绍了如何具体实现IC制造多层互连工艺:嵌入式工艺、低k介质与平坦化、铜电镀工艺与平坦化;阐述了工艺应用现况与存在的难题,给出了国际上较先进的解决方法。 展开更多
关键词 嵌入式工艺 低κ介质 电镀 化学机械抛光
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添加剂的整平能力及其对Cu电沉积层结构的影响 被引量:6
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作者 杨防祖 黄令 +3 位作者 许书楷 姚士冰 陈秉彝 周绍民 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期56-59,共4页
采用电化学、X射线衍射和扫描电镜方法研究酸性镀铜过程中添加剂的整平能力及其对Cu电沉积层结构和表面形貌的影响.结果表明,采用本文所研制的添加剂,可以获得光亮、致密且整平能力可达到100%的Cu电沉积层;所获得的Cu镀层均不存在明显... 采用电化学、X射线衍射和扫描电镜方法研究酸性镀铜过程中添加剂的整平能力及其对Cu电沉积层结构和表面形貌的影响.结果表明,采用本文所研制的添加剂,可以获得光亮、致密且整平能力可达到100%的Cu电沉积层;所获得的Cu镀层均不存在明显的晶面择优取向现象.镀液中光亮剂单独存在及其与整平剂共存时,镀层表面分别呈现晶粒细小致密形貌和网状结构. 展开更多
关键词 电沉积层 Cu镀层 添加剂 整平能力 电镀 镀层结构
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电镀铜中添加剂的吸附机理解析 被引量:7
3
作者 蔡积庆(编译) 《印制电路信息》 2011年第5期31-34,57,共5页
应用电化学方法解析铜电镀中添加剂的吸附机理。
关键词 电镀 添加剂吸附机理 扫描电子显微镜 电化学
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异质结太阳能电池金属化技术研究进展
4
作者 陈雷昊 董一苇 +2 位作者 杨宏伟 毛华明 任宇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期281-295,共15页
异质结太阳能电池具有光电转换效率高的优势,在光伏发电领域展现出了较大的发展潜力。低温金属化是制造异质结太阳能电池的一个重要工艺环节,用于在电池片上形成金属栅线电极,当前普遍采用低温固化型银浆结合丝网印刷来实现。然而,现有... 异质结太阳能电池具有光电转换效率高的优势,在光伏发电领域展现出了较大的发展潜力。低温金属化是制造异质结太阳能电池的一个重要工艺环节,用于在电池片上形成金属栅线电极,当前普遍采用低温固化型银浆结合丝网印刷来实现。然而,现有的低温银浆用量大、价格贵是导致电池成本较高的原因之一。因此,光伏行业正致力于改进和优化金属化工艺来降低银耗。本文综述了近年来异质结太阳能电池金属化技术的研究进展,详细总结了低温银浆各组分及固化工艺对浆料性能的影响,同时对金属化工艺降本增效的主要途径,包括银浆减量化方案例如多主栅、激光转印技术等,以及非银电极方案例如银包铜、铜电镀技术等,进行了介绍和对比,并对金属化工艺当前存在的挑战及未来发展方向进行了分析和展望。 展开更多
关键词 异质结太阳能电池 金属化工艺 低温固化型银浆 银包浆料 电镀
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Latent fingerprint enhancement on conductive substrates using electrodeposition of copper 被引量:5
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作者 Meiqin Zhang Xi Yu +5 位作者 Gang Qin Yu Zhu Meiling Wang Qianhui Wei Yang Zhang Xueji Zhang 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期1200-1205,共6页
We presented a novel method for the development of a latent fingerprint by selective electrodeposition of a copper thin film from sulfate solution onto the conductive substrate between fingerprint ridges to generate a... We presented a novel method for the development of a latent fingerprint by selective electrodeposition of a copper thin film from sulfate solution onto the conductive substrate between fingerprint ridges to generate a negative image of the fingerprint deposit. After optimizing the parameters(deposition time, deposition potential, and copper concentration), the preferential electrodeposition of copper films allowed latent fingerprints on six kinds of conductive surfaces(indium/tin oxide-coated glass, silver sheet, platinum sheet, gold sheet, copper sheet, and a stainless steel coin) to be successfully developed with high resolution. In addition, this technique could also be exploited to visualize latent fingerprints on rough and dirty surfaces. The quality of the developed fingerprints was estimated visually and the morphology of the copper film was characterized by field emission scanning electron microscopy. 展开更多
关键词 latent fingerprint visualization ELECTRODEPOSITION copper thin film forensic science ELECTROCHEMISTRY
原文传递
应用于硅通孔的深孔铜电镀工艺优化 被引量:4
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作者 王爱博 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第14期93-96,共4页
对高深宽比(6∶1)深孔的铜电镀工艺进行了大量实验研究,通过调整电镀时间和电流密度,以及优化电镀前后的样品表面处理以及清洗方式,最终得到稳定、高效的电镀工艺方法及良好的镀层质量,其研究结果可在MEMS封装领域中得到广泛应用。
关键词 TSV 3D封装 电镀
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Machining characteristics of complex prism pattern on electroplated roll by copper 被引量:4
7
作者 Tae-Jin JE Sang-Cheon PARK +4 位作者 Kang-Won LEE Yeong-Eun YOO Doo-Sun CHOI Kyung-Hyun WHANG Myung-Chang KANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第B09期288-294,共7页
The BLU (back light unit) is the core component of the LCD for notebook, mobile-phone, navigation, as well as large sized TV, PID (public information display), etc. In order to enhance optical efficiency of LCD, optic... The BLU (back light unit) is the core component of the LCD for notebook, mobile-phone, navigation, as well as large sized TV, PID (public information display), etc. In order to enhance optical efficiency of LCD, optical films with the uniform prism patterns have been used for BLU by stacking two films up orthogonally. In this case, light interference-phenomenon occurred such as Morie, wet-out, u-turning, etc. It caused several problems such as low brightness, spots and stripes in LCD. Recently, the high-luminance micro complex prism patterns are actively studied to avoid the light interference-phenomenon and enhance the optical efficiency. In this study, the roll master to manufacture complex micro prism pattern film was machined by using the high precision lathe. The machined patterns on the roll master were 50, 45, 40, 35, 30, 25, 20, 15, 10 and 5 μm in the pitch with 25.0, 22.5, 20.0, 17.5, 15.0, 12.5, 10.0, 7.5, 5.0 and 2.5 μm in the peak height, respectively. The roll was 2 000 mm in length and 320 mm in diameter. The electroplated roll by copper and the natural single crystal diamond tool was used for machining the patterns. The cutting force was measured and analyzed for each cutting condition by using the dynamometer. The chips and the surfaces after being machined were analyzed by SEM and microscope. 展开更多
关键词 车床加工 微棱镜 电镀 特征 光学效率 光学薄膜 笔记本电脑 金刚石工具
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电镀技术在大马士革工艺中的应用研究 被引量:2
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作者 林煦呐 刘福强 +1 位作者 刘永进 刘一鸣 《电子工业专用设备》 2022年第1期20-24,共5页
电镀是一种良好的实现金属沉积的电化学工艺方法。为探索电镀技术在大马士革工艺中的应用,先介绍了电镀的基本理论,然后阐述了双大马士革的工艺流程,继而从电镀液和脉冲电镀方面分析了电镀对大马士革工艺的影响。结果表明镀液中的Cl-对... 电镀是一种良好的实现金属沉积的电化学工艺方法。为探索电镀技术在大马士革工艺中的应用,先介绍了电镀的基本理论,然后阐述了双大马士革的工艺流程,继而从电镀液和脉冲电镀方面分析了电镀对大马士革工艺的影响。结果表明镀液中的Cl-对电镀有催化作用,脉冲电镀比直流电镀所需的时间短,电流密度对镀层的生长方式影响不大,脉冲时间对填充速率有重要影响。最后提出,应该从电镀设备、电镀液、工艺参数各方面进行研发,从而改善电镀效果,促进集成电路产业的快速发展。 展开更多
关键词 集成电路 电镀 大马士革工艺
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Influence of alkylpyridinium ionic liquids on copper electrodeposition from acidic sulfate electrolyte 被引量:3
9
作者 张启波 华一新 +1 位作者 任艳旭 陈立源 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第8期2096-2102,共7页
The effect of two alkylpyridinium ionic liquids (py-iLs) including N-butylpyridinium hydrogen sulfate (BpyHSO4) and N-hexylpyridinium hydrogen sulfate (HpyHSO4) on the kinetics of copper electrodeposition from a... The effect of two alkylpyridinium ionic liquids (py-iLs) including N-butylpyridinium hydrogen sulfate (BpyHSO4) and N-hexylpyridinium hydrogen sulfate (HpyHSO4) on the kinetics of copper electrodeposition from acidic sulfate solution was investigated by cyclic voltammetry and potentiodynamic polarization measurements. Results from cyclic voltammetry indicate that these py-iLs have a pronounced inhibiting effect on CuE+ electroreduction and there exists a typical nucleation and growth process. Kinetic parameters such as Tafel slope, transfer coefficient and exchange current density obtained from Tafel plots, lead to the conclusion that py-iLs inhibit the charge transfer by slightly changing the copper electrodeposition mechanism through their adsorption on the cathodic surface. In addition, scanning electron microscope (SEM) and X-ray diffraction analyses reveal that the presence of these additives leads to more leveled and fine-grained cathodic deposits without changing the crystal structure of the electrodeposited copper but strongly affects the crystallographic orientation by significantly inhibiting the growth of (111), (200) and (311) planes. 展开更多
关键词 copper electrodeposition ADDITIVES ionic liquids electrokinetic parameter ADSORPTION
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一种PCB电镀铜颗粒成因及机理分析 被引量:2
10
作者 郑凡 《印制电路信息》 2014年第12期65-67,共3页
在PCB电镀生产过程中主要缺陷有以下几种,铜粒,凹痕﹑凹点﹑板面烧焦﹑层次电镀﹑表面氧化等;在这几种表面缺陷中铜粒的影响极为严重,且难以修理和返工。现对全板硫酸铜电镀后出现的一种有规律的板面铜颗粒的产生原因,及其反应机... 在PCB电镀生产过程中主要缺陷有以下几种,铜粒,凹痕﹑凹点﹑板面烧焦﹑层次电镀﹑表面氧化等;在这几种表面缺陷中铜粒的影响极为严重,且难以修理和返工。现对全板硫酸铜电镀后出现的一种有规律的板面铜颗粒的产生原因,及其反应机理分析,以便解决此类问题。 展开更多
关键词 机理分析 颗粒 电镀 PCB 成因 表面缺陷 生产过程 表面氧化
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硅异质结太阳电池接触特性及铜金属化研究 被引量:2
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作者 俞健 卞剑涛 +1 位作者 刘毓成 刘正新 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1959-1964,共6页
异质结太阳电池沉积透明导电薄膜(TCO)作为导电层、减反射层,电极直接与TCO接触,故在TCO上电镀金属电极是非选择性的,需沉积种子层和图形化的掩膜,以实现选择性电镀及良好的附着。研究表明,金属与TCO之间具有优异的欧姆接触特性,比接触... 异质结太阳电池沉积透明导电薄膜(TCO)作为导电层、减反射层,电极直接与TCO接触,故在TCO上电镀金属电极是非选择性的,需沉积种子层和图形化的掩膜,以实现选择性电镀及良好的附着。研究表明,金属与TCO之间具有优异的欧姆接触特性,比接触电阻低。SEM分析表明,电镀电极结构致密,与透明导电薄膜紧密附着,接触电阻小;丝印电极银颗粒间粘结不紧密,具有较多的空隙,线电阻提高,串联电阻增加。铜金属化可以实现更低的线电阻率、更好的电极高宽比,可以显著提高载流子收集几率,通过选择合适的种子层及后退火,铜电镀异质结电池光电性能显著改善,转换效率达到了22%,具有巨大的发展前景。 展开更多
关键词 太阳电池 电镀 电性能 电极形貌 图形转移
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浅析系统板电镀后塞孔问题阶段性设计 被引量:1
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作者 周根柏 《电子电路与贴装》 2010年第5期31-33,共3页
浅谈系统多层板的电镀后塞孔,由于公司的产品结构转型,由HDI板转入高孔径比及高层次的华为、中兴系统板生产。随着产量的不断增加,沉铜电镀在对这类型板的技术能力渐渐不足及维护项目的粗糙也显现出来。由于系统板的特点是板厚相对... 浅谈系统多层板的电镀后塞孔,由于公司的产品结构转型,由HDI板转入高孔径比及高层次的华为、中兴系统板生产。随着产量的不断增加,沉铜电镀在对这类型板的技术能力渐渐不足及维护项目的粗糙也显现出来。由于系统板的特点是板厚相对较厚(2.5—40mm)、孔径较小(0.25~0.3mm),有些品质缺陷也就体现出来了像电镀后孔径被异物堵塞住及孔内毛刺,造成孔内镀铜层问题,给最终的可靠性存在重大隐患,并且有越来越严重的趋势。 展开更多
关键词 系统板 电镀 塞孔 设计 孔径比 产品结构 HDI板 技术能力
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碱性黄作为整平剂的微盲孔铜电镀填充 被引量:1
13
作者 祝汉品 王继杰 +1 位作者 刘春忠 祝清省 《沈阳航空航天大学学报》 2017年第1期57-64,共8页
使用一种新型添加剂—碱性黄(Basic Yellow,BY)作为整平剂进行微盲孔铜电镀填充。通过微孔填充组织观察以及旋转圆盘电极电化学测试,考察该整平剂的微孔填充性能,分析该整平剂与抑制剂、加速剂之间的协同和竞争吸附行为,揭示其在微孔填... 使用一种新型添加剂—碱性黄(Basic Yellow,BY)作为整平剂进行微盲孔铜电镀填充。通过微孔填充组织观察以及旋转圆盘电极电化学测试,考察该整平剂的微孔填充性能,分析该整平剂与抑制剂、加速剂之间的协同和竞争吸附行为,揭示其在微孔填充中的作用机理。结果表明:BY含量对微孔填充性能具有重要影响,当BY浓度大于5 ppm时,BY-EPE电镀液体系可以实现自底向上沉积方式,达到无孔洞化填充的效果;适量氯离子可协同BY在孔口处的抑制作用,有利于形成超等形沉积方式;当SPS含量低于1ppm时,有利于形成超等形沉积,随着SPS含量增加,沉积模式转变为等形模式。BY与抑制剂EPE可形成复合性抑制剂,该抑制剂对镀液对流条件具有更强的敏感性,有利于在孔壁进行选择性吸附,从而形成自底向上沉积模式;同时,氯离子可协同该整平剂在高对流条件下的抑制作用;SPS的吸附竞争力弱于BY,但强于BY-EPE复合体,因此,在EPEBY-SPS镀液体系中,过量的SPS添加可以减少BY-EPE抑制剂的吸附,不利于形成超等形沉积模式。 展开更多
关键词 碱性黄 整平剂 高密度电路板 电镀 微孔填充
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Fabrication of two-layer flexible copper clad laminate by electroless-Cu plating on surface modified polyimide 被引量:1
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作者 Soo-Min HWANG Jun-Hyung LIM +5 位作者 Chang-Min LEE Eui-Cheol PARK Jun-Hyuk CHOI Jinho JOO Hoo-Jeong LEE Seung-Boo JUNG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第4期970-974,共5页
A flexible copper clad laminate(FCCL) was fabricated using electroless-and electro-Cu plating processes and the effects of pre-treatment time on the adhesion strength of the FCCL were evaluated based on interfacial mo... A flexible copper clad laminate(FCCL) was fabricated using electroless-and electro-Cu plating processes and the effects of pre-treatment time on the adhesion strength of the FCCL were evaluated based on interfacial morphology.The neutralization and catalyst time were varied in the range of 0-20 min and 0.1-10 min,respectively,and the interfacial condition of the FCCL was characterized by atomic force microscopy(AFM) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS).It is observed that the peel strength increases significantly as the neutralization and catalyst time increase.Peel strength as high as 7.2-7.3 N/cm is obtained as the neutralization and catalyst time increase up to 20 min and 10 min,respectively,which is comparable to the strength achieved by the conventional laminating and sputtering processes.These improvements are probably due to an increase in the surface roughness of polyimide(PI),the activated surface condition,and the adsorption of palladium ions/atoms(Pd) on the PI surface which act as nucleation sites for Cu. 展开更多
关键词 聚酰亚胺 表面改性 化学制备 层压板 电镀 软性 X射线光电子能谱
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应用材料公司300mm铜电镀系统
15
《电子产品世界》 2003年第07B期103-104,共2页
应用材料公司(Applied Materials,Inc)宣布推出适用于300mm硅片的SlimCell化学电镀系统(ECP)。该系统适用于当今130nm和90nm的制造技术。独特的单电解槽独立化学控制功能是SlimCell系统的关键所在,它实现了多级化学电镀工艺控制处理... 应用材料公司(Applied Materials,Inc)宣布推出适用于300mm硅片的SlimCell化学电镀系统(ECP)。该系统适用于当今130nm和90nm的制造技术。独特的单电解槽独立化学控制功能是SlimCell系统的关键所在,它实现了多级化学电镀工艺控制处理。SlimCell系统的领先设计在于将多个电解槽共同使用的化学浴槽改成为单个小容积电解槽提供的小型, 展开更多
关键词 应用材料公司 电镀 300MM硅片 多级 功能 L系统 制造技术 电解槽 电镀工艺 容积
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印刷线路板电镀基本工艺流程
16
《电子电路与贴装》 2011年第6期5-8,共4页
一.电镀工艺的分类:酸性光亮铜电镀电镀镍,金电镀锡二.
关键词 印刷线路板 工艺流程 电镀工艺 图形转移 电镀 电镀 电镀 电镀
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世界第一例铜电镀硅异质结太阳能电池诞生
17
《表面工程资讯》 2012年第1期18-19,共2页
第21届国际光伏科学与工程会议于2011年11月28日至12月2日在日本福冈召开。日本钟渊(Kaneka)和比利时徽电子研究中心(IMEC)在会中展示了非银浆硅基异质结太阳能电池。Kaneka在IMEC现有铜电镀技术的基础上,通过应用此技术成功研发... 第21届国际光伏科学与工程会议于2011年11月28日至12月2日在日本福冈召开。日本钟渊(Kaneka)和比利时徽电子研究中心(IMEC)在会中展示了非银浆硅基异质结太阳能电池。Kaneka在IMEC现有铜电镀技术的基础上,通过应用此技术成功研发出高效铜电镀硅基异质结太阳能电池。 展开更多
关键词 太阳能电池 异质结 电镀 硅基 世界 电镀技术 比利时 日本
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电镀酸铜故障的分析、预防和解决措施
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作者 李兴文 《表面工程资讯》 2012年第5期10-12,共3页
铜一镍一铬体系中,硫酸铜电镀占着极为重要的地位,酸铜电镀的好坏直接影响电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响,因此如何控制好酸铜是电镀中重要的一环,酸铜也是很多大厂工艺控制较难的工序之一。笔者根据多年... 铜一镍一铬体系中,硫酸铜电镀占着极为重要的地位,酸铜电镀的好坏直接影响电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响,因此如何控制好酸铜是电镀中重要的一环,酸铜也是很多大厂工艺控制较难的工序之一。笔者根据多年在电镀和技术服务方面的经验,初步总结如下,希望对酸铜电镀业者有所启发。 展开更多
关键词 电镀 故障 预防 工艺控制 机械性能 后续加工 技术服务
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印制电路鞭显微剖切技术研究
19
作者 杨维生 《电子电路与贴装》 2006年第5期32-37,共6页
4.9铜电镀层剥离原因探究 印制电路板的成功制造,需经历多道工序之考验。其中,由于各制造厂家所选用的药水体系各不相同,或多或少会出现铜电镀层剥离之缺陷,造成产品的报废,甚至影响到对客户的按时交货。
关键词 印制电路板 显微剖切 技术 制造厂家 层剥离 电镀 水体系
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铜电镀和钴化学镀沉积的监测
20
作者 Chenting Lin Michael Pavlov +1 位作者 Eugene Shalyt Peter Bratin 《集成电路应用》 2006年第10期39-42,共4页
最新的研究将CVS监测技术扩展到分析有机破坏性产品中。本文讨论了用一种光谱分析技术代替电位滴定法可以不使用试剂就能对铜进行分析的方法。化学镀沉积槽的在线控制也在本文中被提到。
关键词 监测技术 化学镀 电镀 沉积 光谱分析技术 电位滴定法 在线控制 破坏性
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