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题名单波长光激励SPW测定金属膜厚度与介电常数
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作者
周骏
崔春翔
贾振红
陈益新
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机构
上海交通大学应用物理系
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第4期338-342,共5页
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文摘
采用衰减全反射（ＡＴＲ）技术，单波长激励金属膜表面等离子激元波（ＳＰＷ）的共振吸收峰，在考虑金属膜表面粗糙度的情况下，用非线性最小二乘曲线拟合同时确定出了金属膜厚度与介电常数，并在另一波长下获得验证。
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关键词
等离子激元波
金属薄膜厚度
介电常数测定
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Keywords
surface plasma wave,ATR technique,dielectric constants, cure-fitting
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
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题名晶圆表面金属薄膜的纳米精度在线测量方法与实现
被引量：4
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作者
赵乾
曲子濂
余强
路新春
孟永钢
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机构
清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室
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出处
《中国基础科学》
2013年第4期36-43,共8页
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基金
973计划(2009CB724207)
02专项(2008ZX02104-1)
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文摘
本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光(CMP)中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的影响规律,得到了提高灵敏度的新方法;实验验证了一种减小提离高度对膜厚测量精度影响的测量方法的有效性,并设计开发了快速多频测试系统;设计了电涡流在线和离线检测系统,并成功应用于国家重大专项项目"超低下压力化学机械抛光装备样机"中,实现了用电涡流方法进行全自动、快速、多模式、大提离条件下的晶圆金属膜厚度纳米级分辨率在线测量和晶圆抛光后铜膜厚度离线全局测量。
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关键词
涡流传感器
纳米精度金属薄膜厚度测量终点检测
化学机械抛光
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Keywords
eddy current sensor
nanometer metal thickness measurement
end point detection
chemical mechanical polishing
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分类号
TH89
[机械工程—仪器科学与技术]
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