金刚石线锯切割大直径SiC单晶 被引量：19

1

作者 陈秀芳 李娟 +4 位作者 马德营 胡小波 徐现刚 王继扬 蒋民华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1575-1577,共3页

采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果。研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响。用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面。

关键词 金刚石线 SIC 翘曲度

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金刚石多线切割设备在SiC晶片加工中的应用 被引量：10

2

作者 徐伟 王英民 +2 位作者 毛开礼 姜志艳 周立平 《电子工艺技术》 2012年第1期50-52,共3页

介绍了金刚石多线切割设备的原理,并采用直径为250μm的金刚石线进行切割工艺实验。使用不同的工艺参数,比较了不同工艺参数对晶片TTV(整体厚度偏差)的影响,给出了实验比较结果,通过改变工艺参数可以使各切割片的TTV控制在25μm之内。

关键词 金刚石线 线切割 SIC

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中国超硬材料制品技术现状与发展 被引量：9

3

作者 吕智 郑超 +5 位作者 林峰 王进保 周卫宁 谢志刚 刘燕 唐存印 《超硬材料工程》 CAS 2011年第2期36-41,共6页

我国超硬材料制品技术的发展已经经历了机械加工、地质勘探、石材加工等几个明显的大发展阶段。跨入新世纪以来,随着技术的进步、国家发展战略的调整及环保理念的普及,行业迎来了新的机会,进入了全面开花的新阶段。一方面,传统产品的质... 我国超硬材料制品技术的发展已经经历了机械加工、地质勘探、石材加工等几个明显的大发展阶段。跨入新世纪以来,随着技术的进步、国家发展战略的调整及环保理念的普及,行业迎来了新的机会,进入了全面开花的新阶段。一方面,传统产品的质量和技术含量仍然在稳定地提高,市场持续扩大;另一方面,在新产品、新技术研发方面不断取得突破,新一代高附加值的制品被不断地开发出来。文章在回顾过去所取得的进步和成绩的同时,更多地研讨"十二五"规划中,在国家战略性高新产业发展的机遇期,在提高现有产品质量的基础上,如何向更高端精密的超硬材料制品方向发展。对其中用于单晶硅、多晶硅、功能陶瓷等贵重硬脆材料切割、磨削加工的高新超硬材料制品,做了比较详细的论述和展望,对超硬材料制品技术的发展提出了自己的看法。 展开更多

关键词 超硬材料制品技术 激光锯片 综述 绳锯 复合片 金刚石线

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基于改进的YOLOv5金刚石线表面质量检测 被引量：2

4

作者 黄叶祺 王明伟 +1 位作者 闫瑞 雷涛 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2023年第4期123-134,共12页

金刚石线上固着的金刚石颗粒数量、位置分布和分布密度等是衡量金刚石线表面质量的重要参数,也是衡量金刚石线切割能力的重要指标。针对金刚石颗粒微小、密集、粘连等现象导致其特征难以提取、识别准确率低等问题,本文采用深度学习技术... 金刚石线上固着的金刚石颗粒数量、位置分布和分布密度等是衡量金刚石线表面质量的重要参数,也是衡量金刚石线切割能力的重要指标。针对金刚石颗粒微小、密集、粘连等现象导致其特征难以提取、识别准确率低等问题,本文采用深度学习技术,提出一种基于改进的YOLOv5金刚石线表面质量检测方法。首先在图像处理阶段,使用阈值分割技术初步划分大、小颗粒;其次在主干网络部分,添加CA(coordinate attention)注意力模块,获取更高质量的粘连颗粒中单粒边界特征;再次设计C2(CA+CBL)模块,用特征融合保留不同层之间的语义信息,进而提升密集小目标的检测精度;最后用一个卷积代替CSP2_X结构,降低计算量,同时将不同尺度的输出特征图感受野缩小,避免颗粒特征虚化,从而影响颗粒的检测精度。实验表明,改进的网络模型,能够有效识别形状不一、大小不一、粘连和密集的金刚石颗粒图像,微粒平均精度(AP)达到83.80%,大颗粒平均精度达到90.70%,平均精度均值(mAP)达到87.20%。 展开更多

关键词 金刚石线 YOLOv5 注意力机制 小目标检测 阈值分割

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《金刚石线母线钢丝》的标准研究

5

作者 王宝玉 任翠英 +3 位作者 陈延菘 冷明鉴 张勇 马劲峰 《冶金标准化与质量》 2024年第2期1-4,共4页

介绍制定行业标准《金刚石线母线钢丝》的任务来源、工作程序和编制准则,对标准中10个章节的主要条款进行解释说明。标准主要内容包括术语与定义、标记方法、订货内容、尺寸外形长度及允许偏差、技术及性能要求、试验方法、检验规则、... 介绍制定行业标准《金刚石线母线钢丝》的任务来源、工作程序和编制准则,对标准中10个章节的主要条款进行解释说明。标准主要内容包括术语与定义、标记方法、订货内容、尺寸外形长度及允许偏差、技术及性能要求、试验方法、检验规则、包装标志、贮存与运输、质量保证书。行业标准制定与发布,避免了用户与下游客户之间质量异议,规范生产、销售、使用的秩序。 展开更多

关键词 金刚石线 母线钢丝 破断拉力 打结率 翘距 自由圈经

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深海金刚石线绳锯设计

6

作者 崔宁 曹晨磊 +2 位作者 高彩云 黄鑫 丛长林 《设备管理与维修》 2024年第13期48-53,共6页

阐述金刚石线绳锯设计原理以及金刚石线绳锯制造工艺,给出金刚石线绳锯应用研究,在设计过程中,采用金刚石颗粒附着在高强度线绳上的切割工具,利用其超硬特性实现快速而精确的切割。通过液压马达驱动切割绳滚轮,实现力矩大、速度调节范... 阐述金刚石线绳锯设计原理以及金刚石线绳锯制造工艺,给出金刚石线绳锯应用研究,在设计过程中,采用金刚石颗粒附着在高强度线绳上的切割工具,利用其超硬特性实现快速而精确的切割。通过液压马达驱动切割绳滚轮,实现力矩大、速度调节范围广的优点。针对深海环境的特点,对设备的密封性、耐腐蚀性进行特殊设计。结果表明,金刚石线绳锯在切割效率、切割质量和使用寿命等方面表现出色。在最大作业水深1550 m的条件下,成功切割直径4~12英寸的钢管,切割速度达到280 cm~2/h,超过预期的设计指标。设备在运行过程中稳定可靠,未出现任何故障,证明深海金刚石线绳锯的设计取得成功。 展开更多

关键词 深海 金刚石线 绳锯设计

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金刚石线表面缺陷视觉检测方法

7

作者 戴福全 池生烨 《福建理工大学学报》 CAS 2024年第3期267-274,共8页

针对当前金刚石线表面质量检测算法存在因颗粒堆积、遮挡、粘连等问题导致准确率降低的情况,提出一种基于金刚石线的形貌特征和几何特征的质量检测方法。通过两台工业相机以背光照明的方式获取金刚石线图像,并应用图像处理技术进行裁剪... 针对当前金刚石线表面质量检测算法存在因颗粒堆积、遮挡、粘连等问题导致准确率降低的情况,提出一种基于金刚石线的形貌特征和几何特征的质量检测方法。通过两台工业相机以背光照明的方式获取金刚石线图像,并应用图像处理技术进行裁剪、校正、增强、二值化等操作以准确提取金刚石线区域和特征信息,根据相关的特征信息完成对偏厚、偏薄、线头、剥离、杂质、分布、无缺陷等金刚石线图像的检测实验。实验结果表明,提出的方法能够准确、高效地提取金刚石线的各类缺陷,准确率达98.8%,能够满足企业实际检测需求。 展开更多

关键词 机器视觉 金刚石线 质量检测 特征提取 分类识别

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蓝宝石多线切割设备及切割技术 被引量：5

8

作者 吕文利 王理正 刘嘉宾 《电子工业专用设备》 2013年第7期28-31,共4页

介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X0730-3/UM型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初... 介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X0730-3/UM型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨。 展开更多

关键词 多线切割 金刚石线 恒张力控制 摇摆切割

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金刚石多线切割工艺对高纯4H-SiC晶片翘曲度的影响 被引量：4

9

作者 徐伟 王英民 +2 位作者 何超 靳霄曦 谷晓晓 《工业设计》 2017年第7期126-127,共2页

描述了高纯SiC晶体材料的加工方法,分析了金刚石多线各种切割工艺对高纯SiC晶体的切割效果及效率的影响,并基于金刚石切割SiC晶体的理论依据,结合各种工艺试验数据及切割片数据,总结出相对稳定的工艺条件,并在这类工艺条件下,得出较低... 描述了高纯SiC晶体材料的加工方法,分析了金刚石多线各种切割工艺对高纯SiC晶体的切割效果及效率的影响,并基于金刚石切割SiC晶体的理论依据,结合各种工艺试验数据及切割片数据,总结出相对稳定的工艺条件,并在这类工艺条件下,得出较低翘曲度的高纯SiC晶片,满足下游客户的要求,采用TROPEL FM-100平坦度测试仪分析各种切割工艺条件下的高纯100 mm 4H-SiC切割片表面形貌。 展开更多

关键词 金刚石线 高纯4H-SiC晶片 翘曲度

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放排线摇摆跟随装置的研发

10

作者 刘进 谢燕琴 +1 位作者 黎震 黄爱华 《内燃机与配件》 2023年第24期52-54,共3页

本文介绍了放排线摇摆跟随装置的研究背景以及工作原理。为了满足切割的要求,母线必须具有优良的弯曲疲劳强度、良好扭曲性能和高抗拉强度等物理性能。在加工中,必须保护母线不受损。针对母线斜拉导致母线与母线之间产生摩擦,表面易产... 本文介绍了放排线摇摆跟随装置的研究背景以及工作原理。为了满足切割的要求,母线必须具有优良的弯曲疲劳强度、良好扭曲性能和高抗拉强度等物理性能。在加工中,必须保护母线不受损。针对母线斜拉导致母线与母线之间产生摩擦,表面易产划痕和表面伤痕等不良状况。本文设计了放排线摇摆跟随装置,经过应用验证,大大降低母线摩擦,减少其断线率,保证母线的物理性能。 展开更多

关键词 金刚石线 研发 摇摆跟随装置 放排线

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往复式线切割对单晶硅表面粗糙度的影响 被引量：3

11

作者 何健 徐中民 +2 位作者 宋丽 王劼 王纳秀 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期692-696,共5页

为了研究不同尺寸的金刚石颗粒、不同切速比(进给速度与线速度之比值)、金刚线切割时间与不同往复切割次数对晶体色散元件表面粗糙度的影响,主要采用四种不同线径的电镀金刚石线在上述条件下做切割晶面(111)单晶硅分光晶体的实验,并实... 为了研究不同尺寸的金刚石颗粒、不同切速比(进给速度与线速度之比值)、金刚线切割时间与不同往复切割次数对晶体色散元件表面粗糙度的影响,主要采用四种不同线径的电镀金刚石线在上述条件下做切割晶面(111)单晶硅分光晶体的实验,并实现在脆性材料单晶硅的塑性区域进行线切割加工。结果表明:在塑性区域加工单晶硅分光晶体的表面粗糙度与金刚石颗粒尺寸成正比、与切速比有密切关系,增加往复切割的次数可以有效降低分光晶体的表面粗糙度。此次研究能够给上海同步辐射光源晶体色散元件加工提供一定的参考价值。 展开更多

关键词 金刚石线 色散元件 表面粗糙度 颗粒度 切速比

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高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割 被引量：3

12

作者 靳霄曦 徐伟 +1 位作者 魏汝省 王英民 《超硬材料工程》 CAS 2019年第1期30-33,共4页

碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平坦化切片实验。为提高碳化硅切割效率,通过提高金刚石线速... 碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平坦化切片实验。为提高碳化硅切割效率,通过提高金刚石线速度,成功实现了用5.5小时进行4英寸碳化硅晶锭的切割,并将切割6英寸晶锭时间缩短至12小时左右。同时,为减小切割片翘曲度,进行了4英寸和6英寸碳化硅晶锭的切割试验,证明切割线速度直接影响切割片的翘曲度:随着线速度增大,晶片翘曲度减小。最后,研究了线速度和金刚石浓度对切割片表面的影响,发现提高线速度和使用高金刚石浓度的金刚石线都可使切割导致的损伤层减小。 展开更多

关键词 金刚石线 多线切割 碳化硅单晶 高线速度

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金刚石线切割太阳能硅片高效节能型清洗剂的制备及清洗效果研究 被引量：2

13

作者 马瑾 《化学工程师》 CAS 2020年第2期12-14,共3页

研制一种用于工业生产中太阳能级硅片的高效节能型清洗剂,适用于金刚石线切割后的硅片表面清洗处理。该清洗剂溶液低泡、呈碱性,能够有效的去除硅片表面的金属离子、各种有机污染物,对硅片损伤小,清洗效率高,节省水资源,操作方便,清洗... 研制一种用于工业生产中太阳能级硅片的高效节能型清洗剂,适用于金刚石线切割后的硅片表面清洗处理。该清洗剂溶液低泡、呈碱性,能够有效的去除硅片表面的金属离子、各种有机污染物,对硅片损伤小,清洗效率高,节省水资源,操作方便,清洗剂综合效果明显优于现有市售清洗剂。 展开更多

关键词 金刚石线 太阳能硅片 高效节能 清洗剂

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基于EtherCAT网络的金刚线多线切割机双主轴同步控制 被引量：2

14

作者 祝磊 王志辉 聂俊杰 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第2期77-79,共3页

介绍了双主轴金刚线多线切割机的总体结构和工作原理。多轴同步控制是金刚线多线切割机控制系统的关键,而两个加工辊同步是多轴同步的关键。为提高同步性能,提出了基于Ether CAT网络的多轴同步控制策略。针对两个加工辊的控制要求,设计... 介绍了双主轴金刚线多线切割机的总体结构和工作原理。多轴同步控制是金刚线多线切割机控制系统的关键,而两个加工辊同步是多轴同步的关键。为提高同步性能,提出了基于Ether CAT网络的多轴同步控制策略。针对两个加工辊的控制要求,设计了模糊自适应PID控制器。实验证明了该控制系统不仅同步性好,而且具有很好的动态性和稳定性。该系统切割线速度达到20 m/s,与之前13 m/s相比显著提高了效率。 展开更多

关键词 金刚石线 多线切割 ETHERCAT 同步控制 模糊自适应PID

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硅片切割用金刚石线现状及用钢分析

15

作者 王可 《中国钢铁业》 2022年第4期17-21,31,共6页

一、光伏产业概述自我国提出“双碳”目标以来,可再生能源发展势不可挡,其中太阳能以其清洁、安全、取之不尽、用之不竭等显著优势,已成为发展最快的可再生能源。大力发展光伏产业,对调整能源结构、推进能源生产和消费革命、促进生态文... 一、光伏产业概述自我国提出“双碳”目标以来,可再生能源发展势不可挡,其中太阳能以其清洁、安全、取之不尽、用之不竭等显著优势,已成为发展最快的可再生能源。大力发展光伏产业,对调整能源结构、推进能源生产和消费革命、促进生态文明建设具有重要意义。 展开更多

关键词 光伏产业 可再生能源 生态文明建设 调整能源结构 生产和消费 硅片切割 金刚石线 太阳能

原文传递

光伏硅片金刚石线多线切割机切割参数优化探究 被引量：1

16

作者 赵果 《中国新技术新产品》 2021年第10期94-96,共3页

太阳能作为最环保、最安全的新型能源,现代光伏行业成为继IT、微电子之后的一个重要发展行业。而太阳能发电的核心原理就是依靠太阳能电池(片),包括单晶硅、多晶硅等。这些基础材料一定要通过烦琐而重要的加工工艺才能最终生成光伏太阳... 太阳能作为最环保、最安全的新型能源,现代光伏行业成为继IT、微电子之后的一个重要发展行业。而太阳能发电的核心原理就是依靠太阳能电池(片),包括单晶硅、多晶硅等。这些基础材料一定要通过烦琐而重要的加工工艺才能最终生成光伏太阳能设备,而其中硅材料切片作为加工的基础环节,对于光伏设备的制作来说十分重要,因此,一定要重点研究硅片切割参数的优化。金刚石多线切割设备比一般的砂浆线锯具有更高的优势,不但工作效率更高,而且有利于碎屑的收集,能够节约成本,在行业内有较为长远的应用空间。 展开更多

关键词 金刚石线 多线切割 工艺参数优化 有限元仿真

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电镀金刚石线切工具高速生产 被引量：6

17

作者 千叶康雅 蒋修治 《珠宝科技》 2003年第4期36-40,共5页

借助游离磨粒的多线锯切广泛地应用于脆性材料的切割 ,但该工艺存在效率低下、作业环境恶劣等问题。为了解决这些问题 ,通过使用树脂结合剂金刚石线切工具或电镀金刚石线切工具 ,引进了固定磨粒线切工艺。电镀金刚石线切工具具有较高的... 借助游离磨粒的多线锯切广泛地应用于脆性材料的切割 ,但该工艺存在效率低下、作业环境恶劣等问题。为了解决这些问题 ,通过使用树脂结合剂金刚石线切工具或电镀金刚石线切工具 ,引进了固定磨粒线切工艺。电镀金刚石线切工具具有较高的耐磨性 ,但生产过程中电镀需要的时间太长 ,生产成本居高不下 ,因此不能付诸实际应用。为了降低生产成本 ,研究推出一种采用毡刷的超高速电镀工艺。一系列实验表明 ,新开发方法的生产速度比常规生产法快 30倍 ,且新线切工具的耐磨性高于市场上的线切工具。 展开更多

关键词 磨削 工具 工具寿命 线锯切 切割 金刚石线切工具 电镀 脆性材料

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基于3DVIA Composer的金刚石线切割机装配工艺可视化研究 被引量：5

18

作者 周亚丽 江征风 +1 位作者 王立伟 陈志春 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第3期71-74,131,共5页

在分析了金刚石线切割机装配工艺的基础上,提出与之匹配的装配工艺可视化系统,介绍了一种用于装配仿真的软件平台,并重点研究了基于3DVIA Composer平台的装配工艺可视化系统的实现方法,包括装配过程中仿真动画的制作方法和装配工艺后处... 在分析了金刚石线切割机装配工艺的基础上,提出与之匹配的装配工艺可视化系统,介绍了一种用于装配仿真的软件平台,并重点研究了基于3DVIA Composer平台的装配工艺可视化系统的实现方法,包括装配过程中仿真动画的制作方法和装配工艺后处理方法,初步实现了基于3DVIA Composer的金刚石线切割机装配工艺可视化。 展开更多

关键词 3DVIA COMPOSER 金刚石线切割机 装配工艺 可视化 仿真动画

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电镀金刚石线切割YAG晶体的失效机理研究 被引量：4

19

作者 彭少波 陈超 《超硬材料工程》 CAS 2015年第5期13-17,共5页

采用高强度钢丝作为基体,表层电镀镍,同时固结金刚石磨粒,制备出长度为4m,直径为0.7mm的环形金刚石线,装夹在自制的金刚石线锯切割机上,对YAG晶体进行不同参数下的切割实验,观察电镀金刚石线的受力情况,断裂口的形貌,分析电镀金刚石线... 采用高强度钢丝作为基体,表层电镀镍,同时固结金刚石磨粒,制备出长度为4m,直径为0.7mm的环形金刚石线,装夹在自制的金刚石线锯切割机上,对YAG晶体进行不同参数下的切割实验,观察电镀金刚石线的受力情况,断裂口的形貌,分析电镀金刚石线切割过程中的断裂行为以及断裂机理。研究结果表明,电镀金刚石线的断裂分为两种:一种是非正常拉断;另外一种是金刚石线的镀层脱皮以致基体被磨断。 展开更多

关键词 电镀金刚石线 YAG 晶体 切割 断裂模式

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不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究

20

作者 元云岗 程星华 +1 位作者 张昕 霍思媛 《材料研究与应用》 CAS 2023年第3期572-578,共7页

采用电花火加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割钕铁硼材料,分析电火花加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割对烧结钕铁硼磁体的微观形貌和表面粗糙度的影响。利用SJ-410粗糙度仪、JMS-6010LA型扫描电子显微镜,对不同加工方式的切割工具的微... 采用电花火加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割钕铁硼材料,分析电火花加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割对烧结钕铁硼磁体的微观形貌和表面粗糙度的影响。利用SJ-410粗糙度仪、JMS-6010LA型扫描电子显微镜,对不同加工方式的切割工具的微观形貌、磁体的表面微观形貌及表面粗糙度进行表征。结果表明:电火花加工材料的去除方式为熔化、气化和热应力,内圆锯片和电镀金刚线的材料去除方式为塑性去除和塑性变形;在不同加工方式和切割速度条件下,电火花加工表面粗糙度最高达到了7.5μm;在0.15 mm∙min^(-1)切割速度下,电镀金刚石线的材料外形规则并呈球状,切割以面与面切削,单位应力小,金刚石压入深度小,粗糙度最小;在高切割速度下,电镀金刚石线的往复运动存在线锯切割换向,对工件会产生较大的正应力,表面粗糙度值高于内圆锯片。 展开更多

关键词 电火花加工 电镀金刚石线 内圆锯片 烧结钕铁硼 表面微观形貌 表面粗糙度

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