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半导体重入加工过程自动组合装置的建模与分析 被引量：8
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作者 白丽平 伍乃骐 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期320-325,共6页
利用面向资源的着色赋时Petri网,对半导体业中自动组合装置的可重入加工过程进行了建模,描述了具体的加工过程,同时从定性和定量的角度出发,分别分析单手机器人和双手机器人自动组合装置模型的死锁问题和产能,研究了避免死锁的控制策略... 利用面向资源的着色赋时Petri网,对半导体业中自动组合装置的可重入加工过程进行了建模,描述了具体的加工过程,同时从定性和定量的角度出发,分别分析单手机器人和双手机器人自动组合装置模型的死锁问题和产能,研究了避免死锁的控制策略,以及初始特性、稳态特性和结束特性。 展开更多
关键词 自动组合装置 建模 重入过程
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半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析 被引量：4
2
作者 白丽平 伍乃骐 《系统工程理论与实践》 EI CSCD 北大核心 2005年第6期11-18,共8页
　将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresource orientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳... 　将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresource orientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析. 展开更多
关键词 自动组合装置 PETRI网 建模 非重入过程
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