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刀具表面超晶格TiN/AlN纳米多层膜的制备及性能的研究 被引量：1
1
作者 潘应君 陈淑花 +2 位作者 张细菊 吴新杰 陈大凯 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第11期23-25,共3页
采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的薄膜。并从与标准图谱的对比中可知,TiN/AlN超晶格是AlN在立方TiN... 采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的薄膜。并从与标准图谱的对比中可知,TiN/AlN超晶格是AlN在立方TiN簿膜的影响下,在TiN层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成。另研究显示,TiN/AlN薄膜具有一定的超硬效应以及在硬质合金刀具上优良的使用性能。 展开更多
关键词 刀具 超晶格tin/aln纳米多层膜 多弧离子镀 超硬效应
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