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电极材料对BST薄膜介电性能的影响 被引量：2
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作者 张柏顺 章天金 +1 位作者 江娟 刘江华 《湖北大学学报（自然科学版）》 CAS 2003年第3期219-223,共5页
BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简... BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述. 展开更多
关键词 BST薄膜 介电性能 电极材料 薄膜微观结构 介电参数 稳定性 氧空位 可靠性
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