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溶胶-凝胶法制备掺钙钛酸锶铋铁电薄膜 被引量:9
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作者 范素华 徐静 +2 位作者 胡广达 王培吉 张丰庆 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期237-241,共5页
利用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了Ca_xSr_(1-x)Bi_4Ti_4O_(15)(C_xS_(1-x)BT,x=0~1)铁电薄膜。研究了不同Ca^(2+)取代量对薄膜的微观结构、取向生长、铁电性能以及介电性能的影响。结果表明:当Ca^(2+)取代量为x=0.4时,C_(0... 利用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了Ca_xSr_(1-x)Bi_4Ti_4O_(15)(C_xS_(1-x)BT,x=0~1)铁电薄膜。研究了不同Ca^(2+)取代量对薄膜的微观结构、取向生长、铁电性能以及介电性能的影响。结果表明:当Ca^(2+)取代量为x=0.4时,C_(0.4)S_(0.6)BT铁电薄膜样品在一定程度上沿α轴择优取向;样品致密性较好,晶粒呈球型,且大小均匀,尺寸约为100nm。C_(0.4)S_(0.6)BT薄膜的剩余极化强度为8.37μC/cm^2,矫顽场强为72kV/cm:在1Hz~1MHz频率范围内,相对介电常数为234~219,介电损耗为0.009~0.073。 展开更多
关键词 掺钙钛酸锶铋 溶胶-凝胶法 薄膜取向 铁电性能 介电性能
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脉冲激光沉积技术沉积温度对PZT/LSAT薄膜生长取向的影响 被引量:7
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作者 朱杰 谢康 +2 位作者 张辉 胡俊涛 张鹏翔 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1384-1387,共4页
采用固相法分别制备了标准摩尔配比和铅过量10%的两种靶材,并利用脉冲激光沉积技术(PLD)在镧锶铝钽(LaSrAlTaO3,LSAT)单晶衬底上成功制备了锆钛酸铅(Pb(Zr0.3Ti0.7)O3,PZT)铁电薄膜,在550~750℃沉积温度范围内研究了PZT... 采用固相法分别制备了标准摩尔配比和铅过量10%的两种靶材,并利用脉冲激光沉积技术(PLD)在镧锶铝钽(LaSrAlTaO3,LSAT)单晶衬底上成功制备了锆钛酸铅(Pb(Zr0.3Ti0.7)O3,PZT)铁电薄膜,在550~750℃沉积温度范围内研究了PZT薄膜的生长取向和铅含量对薄膜生长取向的影响。利用X射线衍射(XRD)仪和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜生长取向和表面形貌。XRD测量表明在标准摩尔配比情况下薄膜生长从550℃近似c轴取向逐渐过渡到750℃近似a轴取向,而在铅过量情况下薄膜生长取向无明显过渡性变化;AFM测量表明PZT薄膜在近似c轴和a轴生长情况下,表面均方根(RMS)粗糙度分别为16.9nm和13.7nm,而在混合生长无择优取向的情况下,薄膜表面均方根粗糙度达到68nm,这可能是两种取向竞争生长的结果。 展开更多
关键词 薄膜 铁电薄膜 薄膜取向 脉冲激光沉积 X射线衍射 原子力显微镜
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CVD金刚石薄膜取向生长研究现状 被引量:3
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作者 刘之景 周海洋 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期95-97,共3页
单晶衬底上外延生长金刚石薄膜一直是 VCD金刚石技术领域的重要研究方向之一 ,近年来这方面的研究取得了长足的进步。回顾了金刚石取向膜的研究史 ,介绍了提高金刚石膜取向度的方法和目前对金刚石取向膜生长过程、生长机理研究取得的进... 单晶衬底上外延生长金刚石薄膜一直是 VCD金刚石技术领域的重要研究方向之一 ,近年来这方面的研究取得了长足的进步。回顾了金刚石取向膜的研究史 ,介绍了提高金刚石膜取向度的方法和目前对金刚石取向膜生长过程、生长机理研究取得的进展及金刚石取向膜具有独特优异性能的实验研究。 展开更多
关键词 CVD 金刚石薄膜 取向生长 薄膜取向
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应用强磁场控制Zn薄膜取向研究 被引量:3
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作者 任树洋 任忠鸣 任维丽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期430-433,共4页
在不同磁场下,用真空蒸发法制备了不同方向放置的Zn薄膜。对样品进行X射线衍射分析表明,在大于3T的磁场环境下,垂直于磁场放置的基片上制备的Zn薄膜最强衍射峰为(002),而平行于磁场方向放置的基片上制备的试样最强衍射峰为(101)。Zn的... 在不同磁场下,用真空蒸发法制备了不同方向放置的Zn薄膜。对样品进行X射线衍射分析表明,在大于3T的磁场环境下,垂直于磁场放置的基片上制备的Zn薄膜最强衍射峰为(002),而平行于磁场方向放置的基片上制备的试样最强衍射峰为(101)。Zn的磁各向异性引起了晶体在磁场环境下的择优生长,磁能较低的c轴方向是Zn薄膜的优先生长方向。利用磁场诱导晶体取向这一特性,提出了一种控制薄膜取向的新方法,通过调整基片与磁场方向的放置角度即可对制备薄膜的取向进行调整。 展开更多
关键词 薄膜取向 基底材料 强磁场 取向
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射频磁控溅射法LiNbO_3薄膜的制备及其影响因素研究 被引量:1
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作者 孙大智 熊瑛 杨晓萍 《天津理工大学学报》 2008年第4期39-41,共3页
采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所制备的薄膜取向的关系.报道了在Si(111)基片上制备高c轴... 采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所制备的薄膜取向的关系.报道了在Si(111)基片上制备高c轴取向的LiNbO压电薄膜的制备方法. 展开更多
关键词 LiNbO3薄膜 射频磁控溅射 薄膜取向
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有机极化电致发光进展 被引量:1
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作者 张迎超 朱为宏 +1 位作者 姚蓉 田禾 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期110-116,共7页
对近年来极化电致发光及其材料的进展进行了综述 ,主要介绍了极化电致发光器件的制备。
关键词 极化电致发光 液晶 薄膜取向 有机功能材料 有机电致发光材料 机械处理法 L-B膜法
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热处理对PZT薄膜织构形成的影响 被引量:1
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作者 刘翠华 王久石 《四川师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期114-117,共4页
分别采用传统热处理(CFA)和快速热处理(RTA)对室温溅射在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上的Pb(Zr,Ti)O3(PZT)进行了晶化处理.结果表明:RTA倾向于形成(111)占优取向,而CFA倾向于形成(100)占优取向.不同工艺条件下的取向选择来源于形核机... 分别采用传统热处理(CFA)和快速热处理(RTA)对室温溅射在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上的Pb(Zr,Ti)O3(PZT)进行了晶化处理.结果表明:RTA倾向于形成(111)占优取向,而CFA倾向于形成(100)占优取向.不同工艺条件下的取向选择来源于形核机制的不同.在CFA条件下,形核在薄膜表面的PbO(100)处发生,导致(100)占优取向;在RTA条件下,形核在基片附近的Pt3Pb(111)/PZT界面处发生,导致(111)占优取向.铁电性能测试表明,由RTA处理得到的具有(111)占优取向的PZT薄膜剩余极化达到35μC/cm2. 展开更多
关键词 Pb(Zr Ti)O3 热处理 薄膜取向 铁电性
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电镀铜薄膜及其锡焊点界面化合物形貌
8
作者 王加俊 张家涛 +4 位作者 罗晓斌 彭巨擘 于智奇 吴绪磊 王小京 《焊接技术》 2021年第9期38-42,共5页
文中采用直流电沉积的方法,研究电流密度对铜薄膜织构、形貌的影响。得到具有(111),(110)择优取向的铜薄膜样品。其中(111)取向的铜薄膜表面,呈现出整体柱状上的层状结构,在柱状结构的顶部为锥形;具有(110)面择优生长的薄膜表面分布有... 文中采用直流电沉积的方法,研究电流密度对铜薄膜织构、形貌的影响。得到具有(111),(110)择优取向的铜薄膜样品。其中(111)取向的铜薄膜表面,呈现出整体柱状上的层状结构,在柱状结构的顶部为锥形;具有(110)面择优生长的薄膜表面分布有凹凸不平、尺寸不一的颗粒。在此基础上,选取具有(111)面择优、无择优面的铜薄膜与锡进行液固反应,得到Sn/Cu焊点,焊点界面处的化合物为Cu6Sn5相。观察发现具有织构的薄膜上生长的Cu6Sn5相为小平面棱角结构,也具有一定的择优生长面,而无织构的薄膜上形成的化合物相顶部为光滑的扇贝状。 展开更多
关键词 电流密度 薄膜 薄膜取向 界面化合物
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其它材料
9
《电子科技文摘》 2000年第10期8-10,共3页
0015982极化聚合物薄膜取向有序度及极化寿命的表征[刊]/高福斌//发光学报.—2000,21(2).—165~168(E)0015983MOCVD 生长 GaN:Si 单晶膜的研究[刊]/江风益//发光学报.—2000,21(2).—120~124(E)0015984利用沥青基碳纤维提高卫星结构... 0015982极化聚合物薄膜取向有序度及极化寿命的表征[刊]/高福斌//发光学报.—2000,21(2).—165~168(E)0015983MOCVD 生长 GaN:Si 单晶膜的研究[刊]/江风益//发光学报.—2000,21(2).—120~124(E)0015984利用沥青基碳纤维提高卫星结构及星载天线的尺寸稳定性[刊]/寇艳玲//空间电子技术.—2000,(2).—45~48(E)介绍了日本开发的一种碳纤维增强塑料的特点及其在卫星本体结构和星载天线上的实际应用。 展开更多
关键词 星载天线 绝缘材料 碳纤维增强塑料 极化聚合物 发光学 沥青基碳纤维 尺寸稳定性 卫星结构 真空科学 薄膜取向
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Room-temperature epitaxial growth of V_2O_3 films
10
作者 LIU XiangBo LU HuiBin +2 位作者 HE Meng JIN KuiJuan YANG GuoZhen 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2014年第10期1866-1869,共4页
Herein we report the room-temperature epitaxial growth of V203 films by laser molecule beam epitaxy. X-ray diffraction pro- files show the room-temperature epitaxial V2O3 films orient in the [ 110] direction on α-Al2... Herein we report the room-temperature epitaxial growth of V203 films by laser molecule beam epitaxy. X-ray diffraction pro- files show the room-temperature epitaxial V2O3 films orient in the [ 110] direction on α-Al2O3 (0001) substrates. Atomic force microscopy measurements reveal that the ultra-smooth surfaces with root-mean-square surface roughness of 0.11 nm and 0.28 nm for 10-nm-thick and 35-nm-thick V2O3 film, respectively. X-ray photoelectron spectroscopy results indicate the V3+ oxida- tion state in the films. Typical metal-insulator transition is observed in films at about 135 K. The resistivities at 300 K are ap- proximately 0.8 mΩ cm and 0.5 mΩ cm for 10-rim-thick and 35-nm-thick V203 film, respectively. 展开更多
关键词 room-temperature epitaxy V2O3 metal-insulator transition
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(Ca,Sr)CuO2薄膜取向的探讨
11
作者 敏键 《电子材料快报》 1995年第8期12-13,共2页
关键词 CaCuO2 SrCuO2 薄膜取向控制 超导材料
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无水取向聚氯乙烯管
12
《现代塑料加工应用》 CAS 北大核心 2012年第3期41-41,共1页
据“WWW.ptoline.com”报道,西班牙管道制造商MolecorTecnologia将在2012年美国佛罗里达州奥兰多市的国际塑料展览会(NPE2012)上展示一种制备取向聚氯乙烯管新方法,有点类似于薄膜取向技术。
关键词 聚氯乙烯管 薄膜取向 美国佛罗里达州 无水 塑料展览会 .com WWW 制造商
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Pb(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3铁电薄膜激光感生电压效应
13
作者 朱杰 张辉 +2 位作者 张鹏翔 谢康 胡俊涛 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期6417-6422,共6页
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在LaSrAlTaO3(LSATO),LaAlO3(LAO)和SrTiO3(STO)的单晶倾斜衬底上成功制备了Pb(Zr0.3Ti0.7)O3(PZT)薄膜,在三种倾斜衬底上生长的PZT薄膜中都首次发现了LIV效应.对PZT/LSATO薄膜在a,c轴两种不同取向择优生长下... 采用脉冲激光沉积(PLD)技术在LaSrAlTaO3(LSATO),LaAlO3(LAO)和SrTiO3(STO)的单晶倾斜衬底上成功制备了Pb(Zr0.3Ti0.7)O3(PZT)薄膜,在三种倾斜衬底上生长的PZT薄膜中都首次发现了LIV效应.对PZT/LSATO薄膜在a,c轴两种不同取向择优生长下的LIV效应做了研究,发现在薄膜c轴取向择优生长的情况下,激光感生电压随着单脉冲激光能量的增加线性增大;而在a取向择优生长的情况下感生电压与激光能量并无明显变化规律,说明PZT薄膜上的LIV效应是原子层热电堆效应,Seebeck系数的各向异性起着重要作用.通过实现薄膜与传输线的阻抗匹配,LITV信号的响应时间得到了很好的改善,上升沿时间由原来的60ns下降到了26ns,半高宽由260ns下降到了38ns. 展开更多
关键词 激光感生电压效应 铁电薄膜 薄膜生长取向 原子层热电堆
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热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的生长取向及内应力研究
14
作者 邢文娟 汪建华 王传新 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期305-308,共4页
采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱对金刚... 采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱对金刚石薄膜的内应力进行了计算。结果表明:当基片与热丝间的距离保持在4.0~8.5mm,基体温度保持在750~800℃时,沉积出的金刚石膜表面晶形主要为(111)面,其内应力随着距离的增加而逐渐减小,在8.0mm时为最小;但是当基底温度高于800℃时,内应力就会随着温度的升高而增加;最终结果导致膜基附着力减弱。 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 薄膜生长取向 内应力
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