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808nm大功率量子阱激光器无吸收腔面镀膜的研究 被引量:6
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作者 李秉臣 彭晔 廖显伯 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期698-701,共4页
用电子束反应蒸发法制备的 a Si∶ H 膜和 Al2 O3 膜组成的 a Si∶ H/ Al2 O3 膜系,解决了 a Si/ Al2 O3 膜系在 808nm 波长有较强光吸收问题,吸收系数从 2×103cm - 1 降低到... 用电子束反应蒸发法制备的 a Si∶ H 膜和 Al2 O3 膜组成的 a Si∶ H/ Al2 O3 膜系,解决了 a Si/ Al2 O3 膜系在 808nm 波长有较强光吸收问题,吸收系数从 2×103cm - 1 降低到可以忽略的程度.a Si∶ H 膜的光学带隙为 174e V 左右.应用到 808nm 大功率量子阱激光器腔面镀膜上。 展开更多
关键词 量子阱激光器 镀膜 实验
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808 nm连续输出13.6 W单芯片大功率激光器 被引量:6
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作者 李沛旭 殷方军 +5 位作者 张成山 开北超 孙素娟 江建民 夏伟 徐现刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期75-78,共4页
通过对大功率激光器腔面光学灾变损伤的研究,分析了激光器腔面镀膜的损伤机理。为了提高激光器的输出功率,采用TiO_2替换Si作为高折射率材料,建立非标准膜系降低电场强度,同时优化膜层材料的粗糙度,并采用离子源进行清洗和助镀,有效提... 通过对大功率激光器腔面光学灾变损伤的研究,分析了激光器腔面镀膜的损伤机理。为了提高激光器的输出功率,采用TiO_2替换Si作为高折射率材料,建立非标准膜系降低电场强度,同时优化膜层材料的粗糙度,并采用离子源进行清洗和助镀,有效提高了激光器的腔面光学灾变损伤阈值。结果表明,所制作的808nm激光器,最大连续输出功率达到13.6 W。 展开更多
关键词 激光器 光学灾变损伤 镀膜 TIO2 808 nm波长
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P型调制掺杂1.3μm InAs/GaAs量子点激光器 被引量:5
3
作者 姚中辉 陈红梅 +2 位作者 王拓 蒋成 张子旸 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期1-7,共7页
1.3μm InAs/GaAs量子点(QD)激光器基于自身优异的光电特性,有望成为下一代光通信系统所急需的高性能、低成本光源。理论分析了提高量子点材料增益的几种方法,然后利用分子束外延(MBE)分别生长非掺杂、p型调制掺杂的8层高质量的量子点... 1.3μm InAs/GaAs量子点(QD)激光器基于自身优异的光电特性,有望成为下一代光通信系统所急需的高性能、低成本光源。理论分析了提高量子点材料增益的几种方法,然后利用分子束外延(MBE)分别生长非掺杂、p型调制掺杂的8层高质量的量子点激光器外延结构,并分别制备了量子点激光器。另外,为了抑制量子点激发态与基态的激射竞争,设计并优化了激光器腔面的镀膜工艺。最终实现了300μm超短腔长基态激射的p型调制掺杂1.3μm InAs/GaAs的量子点激光器,展示出了其在高速光通信系统应用中的巨大潜力。 展开更多
关键词 激光器 量子点 p型调制掺杂 分子束外延 镀膜
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光纤光栅外腔激光器光学薄膜的研制
4
作者 游道明 谭满清 +6 位作者 郭文涛 曹营春 王子杰 杨秋蕊 万丽丽 王鑫 刘珩 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期447-457,共11页
腔面光学薄膜是光纤光栅外腔激光器(ECL)的关键结构,平面波方法(PWM)被广泛应用于腔面光学薄膜的设计,然而该设计在ECL中的实际应用效果往往并不理想。本文在使用PWM方法时通过时域有限差分法分析其中的原因,并考虑腔面尺寸和结构影响... 腔面光学薄膜是光纤光栅外腔激光器(ECL)的关键结构,平面波方法(PWM)被广泛应用于腔面光学薄膜的设计,然而该设计在ECL中的实际应用效果往往并不理想。本文在使用PWM方法时通过时域有限差分法分析其中的原因,并考虑腔面尺寸和结构影响。仿真结果显示,PWM设计存在反射率差和反射曲线偏移等问题,实际的反射特性显著偏离设计值。因此本文重点优化了薄膜设计,并采用磁控溅射工艺镀膜。测量结果显示,优化后增透膜的反射率降低了30%,高反膜反射率增至96%以上,所制备的ECL的光纤输出功率超过650 mW。本文研究结果为ECL和其他半导体光电子器件的腔面光学薄膜研制提供了参考。 展开更多
关键词 激光器 光学薄膜 时域有限差分 镀膜
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808nm大功率量子阱激光器腔面镀膜实验研究 被引量:2
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作者 司磊 刘国军 王玉霞 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2004年第1期26-27,40,共3页
用实验方法研究了高反射和减反射薄膜对 80 8nm大功率量子阱激光器光电性能参数的影响 ,发现腔面镀膜能够显著提高激光输出功率、斜率效率和电光转换效率 ,可以对激射波长进行微调 。
关键词 量子阱激光器 镀膜 光电性能 减反射膜 高反射膜
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射频磁控溅射腔面镀膜半导体激光器的可靠性 被引量:1
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作者 鲁鹏程 郭伟玲 +4 位作者 邹德恕 刘莹 崔碧峰 李建军 沈光地 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期229-232,共4页
利用射频磁控溅射法对半导体激光器的腔面镀 Si O2 膜 ,并对镀膜后的器件在恒定电流下进行了加速寿命实验 ,结果表明镀膜后器件的特性得到了很大改善。器件平均输出功率提高了 49.8% ,平均阈值电流下降了 7% ,平均斜率效率提高了 5 0 % ... 利用射频磁控溅射法对半导体激光器的腔面镀 Si O2 膜 ,并对镀膜后的器件在恒定电流下进行了加速寿命实验 ,结果表明镀膜后器件的特性得到了很大改善。器件平均输出功率提高了 49.8% ,平均阈值电流下降了 7% ,平均斜率效率提高了 5 0 % ,而且射频磁控溅射方法所镀的膜具有粘附性好、膜层致密、厚度易控制、稳定性好、成本低等优点 ,器件的可靠性也有明显提高。 展开更多
关键词 半导体激光器 射频磁控溅射 镀膜 可靠性
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大功率半导体激光器腔面镀膜的理论研究 被引量:2
7
作者 辛国锋 陈国鹰 +4 位作者 陈高庭 瞿荣辉 方祖捷 花吉珍 赵润 《中国材料科技与设备》 2006年第6期57-60,共4页
从平面波假设出发推导了多层薄膜的特性矩阵,得到了膜系的反射率计算公式。研究了腔面反射率对大功率半导体激光器的外量子效率、阈值增益和输出功率比的影响,并给出了整个膜系反射率随膜层的光学厚度、折射率差及其层数的变化趋势。... 从平面波假设出发推导了多层薄膜的特性矩阵,得到了膜系的反射率计算公式。研究了腔面反射率对大功率半导体激光器的外量子效率、阈值增益和输出功率比的影响,并给出了整个膜系反射率随膜层的光学厚度、折射率差及其层数的变化趋势。该模型对半导体激光器的腔面膜层设计具有实际的指导意义。 展开更多
关键词 大功率半导体激光器 镀膜 光学厚度 反射率
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Optimization of the cavity facet coating in high power GaN-based semiconductor laser diodes 被引量:1
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作者 FENG MeiXin ZHANG ShuMing +7 位作者 JIANG DeSheng WANG Hui LIU JianPing ZENG Chang LI ZengCheng WANG HuaiBing WANG Feng YANG Hui 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第4期883-887,共5页
A method to calculate the reflectivity of the coated cavity facet was proposed, and the distribution of the optical power near the two coated cavity facets was calculated for GaN-based laser diodes. A new design metho... A method to calculate the reflectivity of the coated cavity facet was proposed, and the distribution of the optical power near the two coated cavity facets was calculated for GaN-based laser diodes. A new design method for reducing the optical power at the two cavity facets without changing the output power of laser diodes was discussed, which is helpful to optimize the cavity facet coating and raise the threshold current at which catastrophic optical damage occurs. 展开更多
关键词 GaN-based laser diodes facet coating AR coating HR coating COD
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腔面镀膜对1342nm分布反馈半导体激光器输出功率的影响
9
作者 张煜俊 闫长春 +4 位作者 陈建抗 赵春龙 罗帅 徐鹏飞 李璇 《红外》 CAS 2022年第11期26-32,共7页
为提高1342 nm分布反馈(Distributed Feedback,DFB)半导体激光器的输出功率,设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜,并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明,采用增透膜为基底(Sub)/Al_(2... 为提高1342 nm分布反馈(Distributed Feedback,DFB)半导体激光器的输出功率,设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜,并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明,采用增透膜为基底(Sub)/Al_(2)O_(3)/Ta_(2)O_(5)/空气(Air)、高反膜为Sub/(Al_(2)O_(3)/Si)^(3)Al_(2)O_(3)/Air的腔面膜膜系组合时,激光器的输出功率最高。前腔面反射率为0.2%,后腔面反射率为98.6%。在260 mA的直流电流下,平均输出功率达到了85 mW以上(增加了85.6%),斜率效率提升了82.9%。通过采用此膜系组合进行激光器腔面镀膜,可以大幅提升1342 nm DFB半导体激光器的输出功率。 展开更多
关键词 1342nm 分布反馈 镀膜 输出功率
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Optical facet coatings for high-performance LWIR quantum cascade lasers atλ∼8.5μm
10
作者 MA Yuan LIN Yu-Zhe +5 位作者 WAN Chen-Yang WANG Zi-Xian ZHOU Xu-Yan ZHANG Jin-Chuan LIU Feng-Qi ZHENG Wan-Hua 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期497-502,共6页
We report on the performance improvement of long-wave infrared quantum cascade lasers(LWIR QCLs)by studying and optimizing the anti-reflection(AR)optical facet coating.Compared to the Al2O3 AR coat⁃ing,the Y_(2)O_(3)A... We report on the performance improvement of long-wave infrared quantum cascade lasers(LWIR QCLs)by studying and optimizing the anti-reflection(AR)optical facet coating.Compared to the Al2O3 AR coat⁃ing,the Y_(2)O_(3)AR coating exhibits higher catastrophic optical mirror damage(COMD)level,and the optical facet coatings of both material systems have no beam steering effect.A 3-mm-long,9.5-μm-wide buried-heterostruc⁃ture(BH)LWIR QCL ofλ~8.5μm with Y_(2)O_(3)metallic high-reflection(HR)and AR of~0.2%reflectivity coating demonstrates a maximum pulsed peak power of 2.19 W at 298 K,which is 149%higher than that of the uncoated device.For continuous-wave(CW)operation,by optimizing the reflectivity of the Y_(2)O_(3)AR coating,the maximum output power reaches 0.73 W,which is 91%higher than that of the uncoated device. 展开更多
关键词 quantum cascade lasers long-wave infrared optical facet coatings catastrophic optical mirror damage
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腔面镀膜分布反馈量子级联激光器 被引量:2
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作者 魏林 李耀耀 +2 位作者 李爱珍 徐刚毅 张永刚 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期233-237,共5页
报道了后腔面蒸镀高反射率镀膜工艺及其对分布反馈量子级联激光器性能影响的研究结果。与没有腔面镀膜的器件相比,采用了腔面镀膜工艺的器件,室温下的阈值电流密度降低了20%,前腔面出光峰值功率提高了50%,斜率效率提高了44%。通过对比... 报道了后腔面蒸镀高反射率镀膜工艺及其对分布反馈量子级联激光器性能影响的研究结果。与没有腔面镀膜的器件相比,采用了腔面镀膜工艺的器件,室温下的阈值电流密度降低了20%,前腔面出光峰值功率提高了50%,斜率效率提高了44%。通过对比镀膜和未镀膜器件的阈值电流密度,估算出器件的波导损耗约为7.25cm-1。 展开更多
关键词 分布反馈量子级联激光器 高反射率镀膜
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