PERC背钝化工艺卡点位置缺陷导致EL不良研究

1

作者 张福庆 李文涛 +2 位作者 张若凡 胡明强 张朔龙 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期385-390,共6页

以二合一管式PECVD背钝化镀膜工艺过程中出现的石墨舟空心卡点EL发黑品质异常为研究对象,分析讨论二合一管式PECVD背钝化工艺中射频功率、工艺温度、氧化铝沉积厚度等对晶硅太阳电池空心卡点EL发黑品质异常的影响。结果表明,在二合一管... 以二合一管式PECVD背钝化镀膜工艺过程中出现的石墨舟空心卡点EL发黑品质异常为研究对象,分析讨论二合一管式PECVD背钝化工艺中射频功率、工艺温度、氧化铝沉积厚度等对晶硅太阳电池空心卡点EL发黑品质异常的影响。结果表明,在二合一管式PECVD背钝化工艺时采用12~16 nm厚度的氧化铝薄膜、350~370℃的预淀积工艺温度,能有效解决镀膜空心卡点EL发黑品质异常,显著提升晶硅太阳电池在二合一管式PECVD的镀膜品质。 展开更多

关键词 太阳电池 EL发黑 背钝化 预淀积 二合一管式PECVD 卡点钝化缺陷

下载PDF 职称材料

Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)叠层钝化膜对PERC太阳电池性能及LID效应的研究 被引量：2

2

作者 凡金星 陈达明 +2 位作者 许林云 杨言华 周宏平 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期122-127,共6页

由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiO_(x)N_(y)薄膜中含有大量H原子,因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的Al_(2)O_(3)/SiN_(x)背钝化叠层中间插入一层SiO_(x)N_(y)薄膜,形成Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_... 由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiO_(x)N_(y)薄膜中含有大量H原子,因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的Al_(2)O_(3)/SiN_(x)背钝化叠层中间插入一层SiO_(x)N_(y)薄膜,形成Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)结构,可避免SiN_(x)所带的固定正电荷对Al_(2)O_(3)负电荷场钝化效应的负面影响。试验结果表明,硅片少子寿命从原来的130μs提高至162μs,电池转换效率增加0.09%。同时,基于Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)背钝化的PERC太阳电池的LID也得到了改善,由对照组的1.83%下降到实验组的1.09%。 展开更多

关键词 PERC太阳电池 背钝化 SiO_(x)N_(y) LID 叠层膜 场钝化

下载PDF 职称材料

背处理对背钝化晶体硅太阳电池性能的影响 被引量：2

3

作者 钱洪强 席曦 +8 位作者 乔琦 陈丽萍 葛剑 吴文娟 陈如龙 杨健 朱景兵 施正荣 李果华 《太阳能》 2014年第7期23-26,共4页

通过模拟计算,较高的背面反射率对太阳电池电性能的改善很有帮助,短路电流密度的提升是主要贡献。文中对晶体硅应用不同的背面处理方式得到不同形貌结构。考虑到工艺的复杂程度等方面因素,最终确定使用酸处理背面较为理想。同时也确定... 通过模拟计算,较高的背面反射率对太阳电池电性能的改善很有帮助,短路电流密度的提升是主要贡献。文中对晶体硅应用不同的背面处理方式得到不同形貌结构。考虑到工艺的复杂程度等方面因素,最终确定使用酸处理背面较为理想。同时也确定了背面酸处理的程度。在此基础上,正面使用SiNx作为减反膜、背面使用AlOx/SiNx叠层钝化膜制备的电池,背处理后电池转换效率绝对值可提高0.1%以上。 展开更多

关键词 太阳电池 背钝化 背处理

下载PDF 职称材料

原子层沉积Al_2O_3钝化膜在太阳电池上的应用研究 被引量：2

4

作者 权微娟 贺海晏 +3 位作者 单伟 王仕鹏 黄海燕 陆川 《太阳能》 2017年第6期29-31,共3页

通过原子层沉积(ALD)法制备晶体硅钝化发射极背面接触(PERC)太阳电池中的Al_2O_3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝(TMA)流量、H_2O流量对Al_2O_3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al_2O_3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al_2... 通过原子层沉积(ALD)法制备晶体硅钝化发射极背面接触(PERC)太阳电池中的Al_2O_3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝(TMA)流量、H_2O流量对Al_2O_3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al_2O_3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al_2O_3膜厚的增加呈先升后降趋势,Al_2O_3厚度为7 nm时电池效率最高,达到了19.15%。 展开更多

关键词 原子层沉积 背钝化 AL2O3

下载PDF 职称材料

多晶硅太阳电池丝网印刷工艺优化研究 被引量：2

5

作者 陈丽 杨进 梁玲 《山西化工》 2018年第5期89-90,93,共3页

通过对影响电池片转换效率的因素进行分析,以实现优化多晶硅太阳电池丝网印刷工艺的目标。结果表明,一定程度上降低电池片正面电极栅线的遮光面积,更便于电流的收集。同时,硅片在印刷铝背场时需考虑尽可能发挥其背部钝化的作用。电极烧... 通过对影响电池片转换效率的因素进行分析,以实现优化多晶硅太阳电池丝网印刷工艺的目标。结果表明,一定程度上降低电池片正面电极栅线的遮光面积,更便于电流的收集。同时,硅片在印刷铝背场时需考虑尽可能发挥其背部钝化的作用。电极烧结过程中设定与所用银浆匹配的烧结窗口,以实现良好的欧姆接触,最终提高电池片的转换效率。 展开更多

关键词 工艺优化 转换效率 栅线 电极烧结 背钝化

下载PDF 职称材料

PERC背面银浆性能研究 被引量：2

6

作者 杨红 苟鹏飞 +2 位作者 朱健 吴红兵 陈浩宇 《东方汽轮机》 2019年第1期69-72,78,共5页

通过研究三种不同背面银浆的性能,发现三种背面银浆的黏度、细度、拉力性能均比较接近,而PERC背面银浆的固含量比普通背面银浆高,方阻比普通背面银浆低。不同背面银浆最大的性能差异在于其对PERC电池钝化层的破坏程度不同。通过电性能... 通过研究三种不同背面银浆的性能,发现三种背面银浆的黏度、细度、拉力性能均比较接近,而PERC背面银浆的固含量比普通背面银浆高,方阻比普通背面银浆低。不同背面银浆最大的性能差异在于其对PERC电池钝化层的破坏程度不同。通过电性能测试我们发现普通背面银浆制备的PERC电池Eff低0.4%左右,说明普通背面银浆不能用于PERC电池的制备。通过EL定量分析的方法我们发现,普通背面银浆的灰度值显著低于PERC背面银浆,说明其对钝化层的破坏程度大,这与电性能测试数据吻合。 展开更多

关键词 背面银浆 背钝化

下载PDF 职称材料

Al_2O_3背钝化太阳电池量产工艺研究 被引量：2

7

作者 董鹏 陈璐 吴翔 《太阳能》 2014年第8期47-49,60,共4页

通过在大规模工业生产线上进行Al2O3背钝化太阳电池试制,对最终结果进行分析研究,总结出对Al2O3背钝化太阳电池有着主要影响的工艺过程与工艺步骤,为Al2O3背钝化太阳电池的生产提供参考。

关键词 AL2O3 背钝化 太阳电池 PERC 背面复合

下载PDF 职称材料

背钝化太阳电池背面钝化膜与金属化技术的匹配研究 被引量：1

8

作者 葛剑 陆红艳 +5 位作者 乔琦 席曦 陈丽萍 钱洪强 陈如龙 李果华 《太阳能》 2014年第5期33-36,共4页

随着高效太阳电池研发的不断推进,优质的表面钝化已成为高转换效率太阳电池不可或缺的组成部分。本文通过对背面金属化过程铝浆对钝化膜侵蚀作用的分析,匹配背面钝化膜对金属化过程的侵蚀抵御能力,确定了钝化膜折射率的范围,结合背面钝... 随着高效太阳电池研发的不断推进,优质的表面钝化已成为高转换效率太阳电池不可或缺的组成部分。本文通过对背面金属化过程铝浆对钝化膜侵蚀作用的分析,匹配背面钝化膜对金属化过程的侵蚀抵御能力,确定了钝化膜折射率的范围,结合背面钝化效果的研究,进一步确定了钝化膜折射率的目标值。 展开更多

关键词 晶体硅 太阳电池 背钝化 钝化膜 金属化

下载PDF 职称材料

不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响

9

作者 江坚 陈刚 +4 位作者 张斌 张剑峰 王仕鹏 黄海燕 陆川 《太阳能》 2018年第3期48-49,53,共3页

介绍了一种通过调整背钝化工艺流程改善多晶硅太阳电池缺陷的方法,通过将正背背流程改为背正背流程,电池片EL舟印的问题可以解决,同时还可提升电池片效率。

关键词 PECVD 背正背流程 舟印 电池片效率 背钝化 EL ALD

下载PDF 职称材料

单晶PERC背钝化层自动化设备降低吸盘印的研究 被引量：1

10

作者 张云鹏 赵科巍 +6 位作者 鲁桂林 郭鹏 郭丽 郭卫 杨飞飞 吕涛 刘文超 《山东化工》 CAS 2019年第18期121-122,共2页

单晶PERC全称为发射极及背表面钝化的太阳能电池,是一种高效的晶硅光伏电池结构。在单晶PERC电池生产过程中,自动化设备极易对背钝化层造成吸盘印。针对此现象,对机械手点位、吸盘的压力和打磨吸盘并调整机械手运行轨迹三个方面进行优化... 单晶PERC全称为发射极及背表面钝化的太阳能电池,是一种高效的晶硅光伏电池结构。在单晶PERC电池生产过程中,自动化设备极易对背钝化层造成吸盘印。针对此现象,对机械手点位、吸盘的压力和打磨吸盘并调整机械手运行轨迹三个方面进行优化后,吸盘印问题得到了彻底的解决,改善了设备的运行状态,提高了产品的良率。 展开更多

关键词 PERC 背钝化 吸盘印 良率

下载PDF 职称材料

正交实验法分析单晶PERC电池背钝化最优条件 被引量：1

11

作者 贾艳飞 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第9期1636-1640,共5页

为了实现单晶背钝化PERC电池最优化背钝化效果,找出最佳工艺条件,利用正交实验方法对主要工艺参数因素进行了最优化研究。采用掺镓P型单晶硅片经过背钝化后测试膜厚、折射率以及电池片最终的转化效率等电学性能参数。通过正交实验表明,... 为了实现单晶背钝化PERC电池最优化背钝化效果,找出最佳工艺条件,利用正交实验方法对主要工艺参数因素进行了最优化研究。采用掺镓P型单晶硅片经过背钝化后测试膜厚、折射率以及电池片最终的转化效率等电学性能参数。通过正交实验表明,背钝化的最优化工艺条件为0.25 mbar的工艺腔压强、360℃温度设定、2.8的NH 3/SiH 4比率、1500 W的微波功率,在该条件下电池的平均测试效率可达22.35%,且V oc以及I sc等电学性能指标均达到较高水平。 展开更多

关键词 PERC电池 背钝化 单晶 正交实验 转换效率

下载PDF 职称材料

双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺

12

作者 孙晓凯 田凤美 +2 位作者 靳迎松 张福庆 胡明强 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期312-316,共5页

基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背... 基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响。测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiN_x膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96%和68.69%。 展开更多

关键词 双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池 背面效率 双面率 背钝化 双面减反射膜

下载PDF 职称材料

PERC电池EL暗片研究

13

作者 康忠平 陈刚 +4 位作者 江坚 张剑峰 王仕鹏 黄海燕 陆川 《太阳能》 2018年第5期38-40,35,共4页

介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺,在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗,严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火温度,使电池片EL区域发暗得到解决,同时还... 介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺,在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗,严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火温度,使电池片EL区域发暗得到解决,同时还提升了电池片效率。 展开更多

关键词 PERC PECVD ARD 背钝化 氧化铝 EL暗片

下载PDF 职称材料

多晶硅背钝化太阳电池的光致衰减研究

14

作者 刘石勇 何胜 单伟 《太阳能》 2019年第4期33-36,共4页

背钝化技术可以显著提升太阳电池的效率,但会使电池存在较大的光致衰减。该文系统研究了硅片种类和氢钝化技术对量产多晶硅背钝化太阳电池的光致衰减特性的影响,结果显示,掺Ga和B-Ga共掺硅片可以显著抑制多晶硅背钝化太阳电池的光致衰减... 背钝化技术可以显著提升太阳电池的效率,但会使电池存在较大的光致衰减。该文系统研究了硅片种类和氢钝化技术对量产多晶硅背钝化太阳电池的光致衰减特性的影响,结果显示,掺Ga和B-Ga共掺硅片可以显著抑制多晶硅背钝化太阳电池的光致衰减,通过电注入诱导氢钝化技术可进一步改善电池的光稳定性。因此,在量产中实现B-Ga共掺硅片或掺B硅片与电注入处理技术相结合的方式都可以较好地解决多晶硅背钝化太阳电池光致衰减过大的问题。 展开更多

关键词 太阳电池 背钝化 光致衰减(LID)

下载PDF 职称材料

背钝化自动上下料机稳定性分析及优化设计

15

作者 穆星泽 王志宏 《机械管理开发》 2024年第6期164-166,共3页

背钝化自动上下料机的稳定性指标主要体现在开机率、硅片卡堵次数及硅片碎片率上。基于此,分析了影响设备稳定运行的因素,通过对设备结构及流程优化设计,有效提升了设备的稳定性,降低了设备碎片率和卡堵次数,提升了设备的开机率,为客户... 背钝化自动上下料机的稳定性指标主要体现在开机率、硅片卡堵次数及硅片碎片率上。基于此,分析了影响设备稳定运行的因素,通过对设备结构及流程优化设计,有效提升了设备的稳定性,降低了设备碎片率和卡堵次数,提升了设备的开机率,为客户创造了可观的经济效益。 展开更多

关键词 背钝化自动插片机 设备稳定性 硅片 搬近组件

下载PDF 职称材料

PERC电池激光开窗技术应用研究 被引量：4

16

作者 陈龙 卢玉荣 +2 位作者 王仕鹏 黄海燕 陆川 《太阳能》 2017年第1期28-31,共4页

背钝化技术以能有效提高电池片性能在工业化生产中得到广泛应用,本文通过比较PERC电池激光开窗技术的激光频率、开窗形貌、设备功率对电池片性能的影响,优化生产工艺,为激光开窗在背钝化技术上的应用提供参考。

关键词 晶体硅电池片 背钝化技术 激光 电性能

下载PDF 职称材料

PERC背银浆烧蚀性检测方法研究 被引量：3

17

作者 张瑶瑶 吴斌 +3 位作者 刘子英 徐建伟 王小记 张文静 《信息记录材料》 2019年第4期11-14,共4页

本文对比了电极金属化过程对钝化层烧蚀程度的多种检测方法,并通过显微镜观测钝化层颜色以及形貌的方式来判断电极对钝化层是否烧穿并且统计烧穿点数量和烧穿面积。通过碱洗处理电池片的方法,可以得到更为直观判定结果。本文采用的检测... 本文对比了电极金属化过程对钝化层烧蚀程度的多种检测方法,并通过显微镜观测钝化层颜色以及形貌的方式来判断电极对钝化层是否烧穿并且统计烧穿点数量和烧穿面积。通过碱洗处理电池片的方法,可以得到更为直观判定结果。本文采用的检测方法能够便捷快速地判断钝化层烧蚀程度,排除了晶硅电池片制作过程多种因素对电性能的干扰,简化了检测过程,实验成本相比仪器分析明显降低,为今后PERC背银浆的配方改进提供简便的方法。 展开更多

关键词 背钝化电池 背银浆 制绒 表面织构 碱洗

下载PDF 职称材料

V2O5–B2O3金属氧化物玻璃对背钝化电池局域铝背场性能的影响 被引量：3

18

作者 华锴玮 付明 +3 位作者 刘雷 尹光 汪小红 范琳 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期719-724,共6页

采用不同V2O5–B2O3比例的金属氧化物玻璃粉(V–B–MO)制备了背钝化硅太阳能电池(PERC),对电池进行了电性能、扫描电子显微镜和电池电致发光(EL)等测试分析。对玻璃粉进行了热分析,研究了V–B–MO玻璃粉对PERC电池局域铝背场性能的影响... 采用不同V2O5–B2O3比例的金属氧化物玻璃粉(V–B–MO)制备了背钝化硅太阳能电池(PERC),对电池进行了电性能、扫描电子显微镜和电池电致发光(EL)等测试分析。对玻璃粉进行了热分析,研究了V–B–MO玻璃粉对PERC电池局域铝背场性能的影响。结果表明:当玻璃的V–B比例在质量比为25:35的情况下,电池有较高的开路电压和转换效率。通过对V–B–MO玻璃添加稀土元素氧化物La2O3,CeO2等,可提高电池的电性能。玻璃的相变温度、熔化温区和熔化吸热量等热特性对局域铝背场的形成及填充率有直接的影响,熔点较低、熔化温区较窄的玻璃制作的电池有较好的光电转换效率。局域铝背场处存在完全填充、部分填充和没有填充3种状态,填充较差部位会在EL图像中产生黑线。 展开更多

关键词 背钝化电池 局域铝背场 玻璃粉 转换效率

原文传递

基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺研究 被引量：3

19

作者 赵科巍 刘文超 郭卫 《山西能源学院学报》 2017年第3期220-222,共3页

本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV。采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺。在工艺上采用和磷扩散工艺类似的工艺步骤,通过优化沉积时间,推进氧化... 本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV。采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺。在工艺上采用和磷扩散工艺类似的工艺步骤,通过优化沉积时间,推进氧化过程中的O2,N2流量等,达到最佳的Uoc提升效果,经过优化后的背面钝化工艺可以有效提高多晶电池的转换效率0.5%,从而实现了在多晶电池提高电池效率的目的。 展开更多

关键词 多晶硅太阳能电池 背钝化工艺 硼扩散

下载PDF 职称材料

PERC背钝化结构提升多晶硅太阳电池的光电转换性能研究 被引量：2

20

作者 吕文辉 邱小永 +4 位作者 赵庆国 姚春梅 何一峰 高拥刚 陆波 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第5期685-688,694,共5页

在工业产线上制备了PERC结构的多晶硅太阳电池,并研究了在电池背表面引入PERC背钝化结构对其光电转换性能的影响。结果表明:PERC背钝化结构能够提升电池的短路电流和开路电压,光电转换效率超过了20%。结合光学仿真及分析电池的关键光电... 在工业产线上制备了PERC结构的多晶硅太阳电池,并研究了在电池背表面引入PERC背钝化结构对其光电转换性能的影响。结果表明:PERC背钝化结构能够提升电池的短路电流和开路电压,光电转换效率超过了20%。结合光学仿真及分析电池的关键光电参数知,其光电转换性能改善的原因可归结为PERC背钝化结构降低了长波太阳光子在背铝电极的寄生吸収损失和光生载流子的背表面复合损失。PERC背钝化结构能够提升多晶硅太阳电池的光电转换效率,并且其制备工艺与传统产线兼容,是一种优选的产业电池结构。 展开更多

关键词 多晶硅太阳电池 PERC背钝化结构 光电转换效率

下载PDF 职称材料