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题名用表面等离子体共振传感器检测纳米间距
被引量：9
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作者
王二伟
鱼卫星
王成
卢振武
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2013年第2期259-266,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.90923036
No.60977041
+2 种基金
No.60877021
No.61077010)
中科院百人计划资助项目
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文摘
结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度>1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点。
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关键词
表面等离子体共振(SPR)传感器
角度传感器
纳米间距
共振角度
位相差
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Keywords
Surface Plasmon Resonance（SPR） sensor
angle sensor
nanogap width
resonance angle
phase difference
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TB92
[理学—光学]
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题名原子光刻大面积纳米光栅
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作者
殷聪
张彤
王建波
钱进
石春英
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机构
中国计量科学研究院
北京工业大学
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出处
《计量技术》
2020年第5期31-35,共5页
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基金
中国计量科学研究院基本科研业务费项目(AKY1501)。
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文摘
原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用。本文介绍通过椭圆光斑激光汇聚铬原子沉积大面积一维光栅的技术,将纳米周期结构的覆盖范围扩大到1.5mm×1.5mm,同时,沉积条纹高度的一致性得到有效改善。用椭圆光斑驻波场进行原子光刻研究对实验装置调整的精细度和对准提出了更高的要求。并分析了影响大范围原子沉积的几个关键因素。
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关键词
原子光刻
纳米间距
光栅
大面积
椭圆光斑
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Keywords
atom lithography
nanometer pitch
grating
large area
elliptical spot
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分类号
O562
[理学—原子与分子物理]
TB383.1
[理学—物理]
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