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精密双层气浮直线电机动力学响应分析 被引量：7
1
作者 余显忠 陈学东 +1 位作者 叶燚玺 贾文川 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期761-765,共5页
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,... 高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,应用模态叠加法分析了该系统在各种条件下的动力学响应,得到了在X、Y、Z三个方向的加速度响应曲线;同时,借助实验模态方法,验证了该系统动态响应,从而得到了该系统的谐振频率。仿真计算结果和模态实验结果的偏差小于10%,证明了该模型是正确有效的,为下一步的动态优化和控制设计打下基础。 展开更多
关键词 精密直线电机 响应分析 有限元分析 模态试验
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精密气浮直线电机结构动力学建模与分析 被引量：5
2
作者 陈学东 谢德东 +2 位作者 何学明 姜伟 张玲莉 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期117-121,共5页
高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑精密气浮直线电机结构中气固耦合对直线电机运动精度可能产生的影响,用拉格朗日方法建立了精密直线电机12个自由度的动力学模... 高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑精密气浮直线电机结构中气固耦合对直线电机运动精度可能产生的影响,用拉格朗日方法建立了精密直线电机12个自由度的动力学模型。仿真计算结果和模态试验结果的主要模态偏差均小于5%,且识别出该系统中气浮轴承在平衡位置附近的线性化刚度。仿真计算和模态试验相结合建立的高精密直线电机动力学模型是正确有效的。 展开更多
关键词 精密直线电机 气固耦舍 动力学模型 仿真 模态试验
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精密直线电机气浮轴承参数辨识
3
作者 余显忠 陈学东 +1 位作者 何学明 姜伟 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期62-64,共3页
基于精密直线电机气浮轴承支撑的结构特点,针对气浮轴承动力学参数辨识问题,利用有限元方法建立了该结构系统的有限元模型,运用理论模态分析与实验模态分析相结合的方法,对该结构的气浮轴承的参数进行了辨识验证,得到了精密直线电机气... 基于精密直线电机气浮轴承支撑的结构特点,针对气浮轴承动力学参数辨识问题,利用有限元方法建立了该结构系统的有限元模型,运用理论模态分析与实验模态分析相结合的方法,对该结构的气浮轴承的参数进行了辨识验证,得到了精密直线电机气浮轴承的动力学参数.仿真结果与实验结果相符,证明该方法有效,为该系统进行动力学优化分析提供了基础. 展开更多
关键词 精密直线电机 气浮轴承 参数辨识 有限元方法
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精密直线电机ISD203智能伺服系统驱动器设计
4
作者 杨柳 杨庆煊 +2 位作者 郑大腾 彭曙 李军 《内燃机与配件》 2020年第15期115-116,共2页
精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,建立永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,建立PMSM位置伺服系统矢量控制模型。建立支持梯形图的用户程序编辑平台、用户程序编译器及单板上运行的用户程序解释系统,研究驱动... 精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,建立永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,建立PMSM位置伺服系统矢量控制模型。建立支持梯形图的用户程序编辑平台、用户程序编译器及单板上运行的用户程序解释系统,研究驱动器内部集成了单轴定位功能,支持第一速度定位、中断定位、机械归零、中断停止等模式研究,位置控制、速度控制、转矩控制等控制模式,各轴通过主从式的差分总线连接,通过总线传输参数、控制各轴的运行,支持错误校验和重试。 展开更多
关键词 精密直线电机 智能伺服系统 驱动器 设计
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精密直线电机ISD203智能伺服系统驱动器关键技术研发
5
作者 杨柳 杨庆煊 +2 位作者 郑大腾 彭曙 李军 《内燃机与配件》 2020年第13期94-96,共3页
精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,集永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,可单独使用或多台组网构成多轴控制系统,并可共享各轴的I/O,并支持定位、电子齿轮、凸轮、同步控制。驱动器内部集成了单轴定位功能,各... 精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,集永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,可单独使用或多台组网构成多轴控制系统,并可共享各轴的I/O,并支持定位、电子齿轮、凸轮、同步控制。驱动器内部集成了单轴定位功能,各轴通过主从式的差分总线连接,通过总线传输参数、控制各轴的运行,支持错误校验和重试。 展开更多
关键词 精密直线电机 智能伺服系统 驱动器 技术研发
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