等离子体光谱光源技术的研究进展 被引量：4

1

作者 辛仁轩 《中国无机分析化学》 CAS 2019年第1期17-26,共10页

光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱... 光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱技术研究和改进的重要目标。为此目的,已研究过各种低耗氩ICP光源,非氩气ICP光源,微波等离子体光源,射频电容耦合等离子体光源等。综述了近年这些等离子体发射光源的结构,分析性能及特点,以及它们所用工作气体情况。并归纳总结出,评价各种等离子体发射光谱光源应包括:等离子体温度(激发温度,气体温度),电子密度,工作气体种类及用量,元素检出限,光源的稳健性及经济方面等。 展开更多

关键词 等离子体光源 ICP-AES 高功率微波等离子体光源(MWP) 射频电容耦合等离子体(rf-CCP)

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射频无电极放电氮气等离子体光源研究 被引量：1

2

作者 李朝阳 陈强 张广秋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期346-349,共4页

本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%。最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitive plate,PS版)进行... 本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%。最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitive plate,PS版)进行了曝光,通过曝光前后PS版感光层颜色的光密度变化评价了感光效果。 展开更多

关键词 射频无电极放电 等离子体光源 转换效率 预涂感光版

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印刷制版用N_2等离子体蓝紫光源的实验研究 被引量：1

3

作者 李朝阳 陈强 张广秋 《信息记录材料》 2006年第3期36-39,共4页

我国的印刷制版行业目前正处于从传统PS版向计算机直接制版(Computertoplate)技术转变的进程之中,PS版的产销量十分可观,在CTP技术中继续使用传统的PS版对我国印刷包装行业意义重大。实现传统PS版的CTP技术关键在于解决曝光光源问题。... 我国的印刷制版行业目前正处于从传统PS版向计算机直接制版(Computertoplate)技术转变的进程之中,PS版的产销量十分可观,在CTP技术中继续使用传统的PS版对我国印刷包装行业意义重大。实现传统PS版的CTP技术关键在于解决曝光光源问题。本文采用连续直流源空心阴极放电方式产生氮气等离子体蓝紫光源,成功地对一种超感度重氮萘醌系PS版进行曝光,从注入功率、放电气压等方面探讨了氮气等离子光源的最佳工作条件,在工作气压70Pa、放电电压580V、电流1.8A下获得了0.46mW/cm2的蓝紫光输出。气体放电光源还可轻易实现高频大功率脉冲输出,本研究结果表明,新型空心阴极氮气等离子体光源在实现PS版CTP技术方面具有一定的发展前景。 展开更多

关键词 计算机直接制版技术 空心阴极放电(HCD) 等离子体光源 高频脉冲

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关于颗粒物质动态蒸发理论的若干讨论 被引量：1

4

作者 王延龄 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS 1982年第Z2期209-213,共5页

颗粒物质在高温光源中的动态蒸发,是光谱分析(发射光谱、原子吸收)最常用的一种原子化技术。它又分固体粉末引入和溶液引入两种。前者快速、简单、灵敏度高,因此应用愈来愈广。例如电弧光源的撒样法和吹样法,等离子光源的吹样法等,都属... 颗粒物质在高温光源中的动态蒸发,是光谱分析(发射光谱、原子吸收)最常用的一种原子化技术。它又分固体粉末引入和溶液引入两种。前者快速、简单、灵敏度高,因此应用愈来愈广。例如电弧光源的撒样法和吹样法,等离子光源的吹样法等,都属此类。样品颗粒在光源中蒸发的完全性。 展开更多

关键词 等离子体光源 颗粒物质 粒度效应

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一种用于CTCP技术的新型脉冲等离子体光源 被引量：1

5

作者 李朝阳 陈强 +2 位作者 叶李明 蒲可懿 张广秋 《信息记录材料》 2006年第6期39-42,共4页

继续沿用传统PS版的计算机直接制版技术(CTCP)对于我国的印刷包装行业具有特殊重要的意义。亟待解决的问题是实现光源对PS版的脉冲式曝光。本文报道了一套采用正弦脉冲高频电源激励的新型氮气等离子体光源,首次获得了光源的准脉冲输出,... 继续沿用传统PS版的计算机直接制版技术(CTCP)对于我国的印刷包装行业具有特殊重要的意义。亟待解决的问题是实现光源对PS版的脉冲式曝光。本文报道了一套采用正弦脉冲高频电源激励的新型氮气等离子体光源,首次获得了光源的准脉冲输出,并成功的对一种超感度PS版进行了曝光。光谱分析表明氮气等离子体光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。进一步从电源电压、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,随着电源功率的增大和光源结构参数的优化,可望得到更大的光输出功率。本文对实现CTCP技术的脉冲式曝光具有一定的参考价值。 展开更多

关键词 计算机直接制版技术 正弦脉冲电源 等离子体光源 PS版

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等离子体极端紫外线光刻光源技术

6

《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第8期70-71,共2页

关键词 等离子体光源 极端紫外线 光刻技术 激发能 锡微粒子簇

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红外线与紫外线

7

《中国照明文摘》 2009年第1期26-27,共2页

红外发光二极管辐射强度的测量;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究.

关键词 紫外线 红外线 红外发光二极管 等离子体光源 远紫外光刻 辐射强度 光学性质

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用于软X射线光学技术中的脉冲等离子体光源

8

作者 郭玉彬 《LSI制造与测试》 1993年第5期22-28,共7页

关键词 X辐射 等离子体光源 X射线光学

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用于CTCP技术的射频无电极放电氮气等离子体光源研究

9

作者 李朝阳 陈强 张广秋 《信息记录材料》 2007年第1期21-24,共4页

本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对“星光”PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,... 本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对“星光”PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,得到在230Pa、160W采用两个传输透镜聚焦后获得的光源功率密度是2.23mW/cm2。最后给出了运用此光源对PS版的曝光结果。 展开更多

关键词 计算机直接制版技术 射频无电极放电 等离子体光源

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等离子体光源及其应用探讨

10

作者 蒋长军 《低碳世界》 2015年第23期254-255,共2页

简单介绍了等离子体光源的结构与运行方式，在此之上细致的阐述了等离子体光源所具备的优势与特点，并深入探讨了该光源的具体应用，为新型光源在各大领域中的使用提供参考与指导。

关键词 等离子体光源 优势 应用

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等离子体光源与摄谱信快速对接法

11

作者 王家风 周正敏 《河北师范学院学报（自然科学版）》 1996年第4期84-85,共2页

本文提出一种不用专用仪器，快速调整等离子体光源照明系统的方法，经实验经法简单快速，经调整后，仪器的准确度和精密度均能满足分析要求。

关键词 等离子体光源 摄谱仪 对接 发射光谱

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用于CTCP技术的射频无电极放电氮气等离子体光源研究

12

作者 李朝阳 陈强 张广秋 《影像技术》 CAS 2007年第3期47-50,共4页

本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对“星光”PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,... 本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对“星光”PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,得到在230Pa、160W、采用两个传输透镜聚焦后获得的光源功率密度是2.23mW/cm2。最后给出了运用此光源对PS版的曝光结果。 展开更多

关键词 计算机直接制版技术 射频无电极放电 等离子体光源

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光谱测量

13

《中国照明电器光源灯具文摘》 2006年第2期16-17,共2页

0621501纳秒激光等离子体光源的光谱测量技术；0621502基于AOTF的便携式近红外光谱测量仪；0621503新型荧光光谱测定仪；0621504近红外光谱仪专用实验台；0621505在线近红外光谱仪。

关键词 光谱测量技术 近红外光谱仪 等离子体光源 纳秒激光 AOTF 荧光光谱 测量仪 便携式 测定仪 实验台

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射频等离子体光源高效固态功率源的设计

14

作者 贾华 单家芳 +1 位作者 刘甫坤 宦维定 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期91-96,共6页

针对射频等离子体光源(LEP)开发了一种较高抗负载失配能力的高效驱动功率源。采用三次谐波开路和偶次谐波短路,并利用集总参数和分布参数相结合的拓扑结构,实现了谐波控制的高效F类功率放大器;利用单片机控制固态源的工作频率,使其与光... 针对射频等离子体光源(LEP)开发了一种较高抗负载失配能力的高效驱动功率源。采用三次谐波开路和偶次谐波短路,并利用集总参数和分布参数相结合的拓扑结构,实现了谐波控制的高效F类功率放大器;利用单片机控制固态源的工作频率,使其与光源谐振频率的变化一致,减小功放输出的驻波比,提高长期可靠性。对高效固态功率源进行连续波满功率测试和等离子体光源的匹配性测试。结果表明,末级F类功放在435~445MHz频段内输出功率大于200W,漏极效率80.7%以上,功率源在等离子体光源工作频段内整体效率为77.5%;与等离子体光源谐振器的联合热测试中,系统光效为86.21m·W^(-1)。 展开更多

关键词 等离子体光源 固态功率放大器 F类功率放大器 谐振腔 谐波控制

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等离子体光源及其应用

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作者 姚涵春 《演艺科技》 2010年第2期6-12,共7页

通过介绍等离子体光源的特点和先进性,阐述等离子体光源应用于舞台灯光的发展前景。

关键词 等离子体光源 原理 性能 应用

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微波等离子体光谱技术的发展(一) 被引量：10

16

作者 辛仁轩 《中国无机分析化学》 CAS 2012年第4期1-9,共9页

微波等离子体光源是一类有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源(MIP),微波电容耦合等离子体光源及微波等离子体炬光源。文章分两部分,第一部分介绍了微波感生等离子体光源的结构原理和性能,并对它们的技术特... 微波等离子体光源是一类有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源(MIP),微波电容耦合等离子体光源及微波等离子体炬光源。文章分两部分,第一部分介绍了微波感生等离子体光源的结构原理和性能,并对它们的技术特点和进展进行评述。低功率微波感生等离子体光源用于直接测定溶液中某些痕量金属元素是比较困难的,如Pb,Hg,Se等元素,但它已成功地与气相色谱联用用于测定C,H,O,N,S等难激发的非金属元素。高功率磁场激发的氮-微波感生等离子体光源(N2-MIP),允许使用通用玻璃同心雾化器产生湿试液气溶胶直接进入等离子体核心,等离子体能稳定运行,其分析性能近似于商用ICP光源,且运行费用低廉,是有发展前景的一种新型原子发射光谱光源。 展开更多

关键词 微波等离子体光源 微波感生等离子体光源 微波等离子体光谱仪 评述

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微波等离子体光谱技术的发展(二) 被引量：8

17

作者 辛仁轩 《中国无机分析化学》 CAS 2013年第1期1-10,共10页

微波等离子体光源是一类重要的有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源,电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源。本文是微波等离子体光谱技术发展的第二部分,主要介绍了电容耦合微波等离子体光源及微... 微波等离子体光源是一类重要的有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源,电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源。本文是微波等离子体光谱技术发展的第二部分,主要介绍了电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源的结构原理和性能。并对它们的技术特点和进展进行评述。 展开更多

关键词 微波等离子体光源 电容耦合微波等离子体光源 微波等离子体炬 评述

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水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验 被引量：8

18

作者 齐立红 李忠芳 +1 位作者 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期272-275,共4页

实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波... 实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率Δλ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm。另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。 展开更多

关键词 激光等离子体光源 光谱测量 软X射线 水靶

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小型高精度软X射线-极紫外反射率计 被引量：7

19

作者 尼启良 刘世界 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页

针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及... 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1～125nm，光谱分辨率〈0．08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏，而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13．5nm和30．4nm的Mo／Si多层膜的反射率，测量结果表明测量重复性优于±0．5％，实现了对多层膜反射率的高精度测量。 展开更多

关键词 软X射线-极紫外反射率计 多层膜 液体靶激光等离子体光源

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基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究

20

作者 张良乐 韩晓泉 +5 位作者 谢婉露 吴晓斌 方旭晨 高梓翔 沙鹏飞 王魁波 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期196-202,共7页

基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明:在相同光源参数下,SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型;通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的波动误差从6.2%降低到0.64%,多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%,与国外同等实验装置精度相当,实现了高精度反射率测试,可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。 展开更多

关键词 极紫外 气体放电等离子体光源 反射率 能量探测 归一化

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