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SiGe/GAP合金的高温退火特性 被引量:2
1
作者 高敏 D.M.Rowe 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第9期713-717,共5页
对SiGe/GaP合金进行的退火研究发现,当这种合金经受了高温-低温-高温三步骤退火后,材料的温差电功率因子(α~2σ)得到了进一步的改善。
关键词 -合金 高温退火 温差电性质
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用于HBT的SiGe合金材料层的腐蚀工艺研究 被引量:1
2
作者 欧益宏 刘道广 李开成 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期76-78,共3页
探索利用反应离子刻蚀 ( RIE)和湿法腐蚀 Si1-x Gex 合金材料的工艺条件。对两种腐蚀方法的利弊进行了对比 ,找出腐蚀 Si1-x Gex 合金材料的实用化途径 ,并且解决了不同 Ge含量的 Si1-x Gex
关键词 -合金 反应离子刻蚀 异质结 双极晶体管
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粉粒在等离子体中沉降的运动学分析 被引量:7
3
作者 陶甫廷 王敬义 +5 位作者 冯信华 罗文广 张巍 陈文辉 赵宁 尹盛 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期11-14,共4页
对粉粒受力情况进行了分析 ,建立了速度方程 ,并对硅 -锗合金粉料进行了计算。为了提高沉降过程中的提纯效果 ,着重对增加沉降时间进行研究 ,提出了一些措施。
关键词 运动学 冷等离子体 冶金效应 -合金材料 提纯
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GeSi/SiMach-Zehnder干涉型调制器的研制 被引量:1
4
作者 李宝军 万建军 +6 位作者 李国正 刘恩科 胡冬枝 裴成文 秦捷 蒋最敏 王迅 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 2000年第1期14-16,共3页
基于 Ge Si合金的等离子体色散效应 ,研制了一种 Mach- Zehnder干涉型调制器 ,通过对其损耗和调制特性的测试得到 :调制器对 1 .3μm光的插入损耗为 6 .5 d B,最大调制深度达 86 % ,相应的 π相移调制电压为 0 .9V,关断电流和调制区的... 基于 Ge Si合金的等离子体色散效应 ,研制了一种 Mach- Zehnder干涉型调制器 ,通过对其损耗和调制特性的测试得到 :调制器对 1 .3μm光的插入损耗为 6 .5 d B,最大调制深度达 86 % ,相应的 π相移调制电压为 0 .9V,关断电流和调制区的注入电流密度分别为 40 m A和 0 .97k A/ cm2 。 展开更多
关键词 调制器 光波导 合金 干涉型
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巨磁热效应材料Gd_5Si_xGe_(4-x)三元合金的制备及晶体结构 被引量:1
5
作者 李卓棠 吴佩芳 +1 位作者 张晓燕 潘璋敏 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第1期35-38,43,共5页
三元合金 Gd5Six Ge4- x是一种具有巨磁热效应的材料 .作者用熔炼法在氩气气氛中合成了四种 Gd5Six Ge4- x样品 (其中 x =4 ,3 .2 ,2 .16,2 ) .粉末 X射线衍射结果表明 ,当 4≥ x >2时 Gd5Six Ge4- x为正交晶体 ;当 x =2时Gd5Si2 Ge2... 三元合金 Gd5Six Ge4- x是一种具有巨磁热效应的材料 .作者用熔炼法在氩气气氛中合成了四种 Gd5Six Ge4- x样品 (其中 x =4 ,3 .2 ,2 .16,2 ) .粉末 X射线衍射结果表明 ,当 4≥ x >2时 Gd5Six Ge4- x为正交晶体 ;当 x =2时Gd5Si2 Ge2 畸变成单斜晶体 .随着 Ge量的增加 ,晶胞参数及单胞体积都随之增加 . 展开更多
关键词 钆--合金 晶体结构 制备 巨磁热效应材料
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硅锗合金氧化后生成的锗纳米结构的特性研究(英文) 被引量:10
6
作者 黄伟其 蔡绍洪 刘世容 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期83-87,共5页
我们将SiGe合金在干氧吹气环境下以不同的温度和不同的时值进行氧化处理,用卢摄福散射仪RBS和高精度椭偏仪HP-ESM测量样品,获得10-80 nm厚的硅氧化层和1 nm厚的富锗层。新发现快速氧化生成的氧化膜表面有1-2 nm厚的锗层。分析了锗纳米... 我们将SiGe合金在干氧吹气环境下以不同的温度和不同的时值进行氧化处理,用卢摄福散射仪RBS和高精度椭偏仪HP-ESM测量样品,获得10-80 nm厚的硅氧化层和1 nm厚的富锗层。新发现快速氧化生成的氧化膜表面有1-2 nm厚的锗层。分析了锗纳米结构对应的PL发光谱,注意到锗纳米层对应的541 nm波长的尖锐的发光峰和不同尺寸的锗原子团对应的从550-720 nm波长的发光带。从量子受限模型和局域密度泛函计算出发,合理地解释了实验的结果。 展开更多
关键词 合金 纳米结构 发光谱 光电子学 团簇
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硅-锗合金废料中锗的回收研究 被引量:10
7
作者 普世坤 严云南 陈代凤 《中国有色冶金》 北大核心 2011年第4期57-59,共3页
研究了硅-锗合金废料中锗的回收,采用碳酸钠+Na2O2熔融-磷酸中和-盐酸蒸馏法,并对工艺进行了优化。该工艺具有回收率高、成本低、环境友好等优点。
关键词 合金废料 回收
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应变Si_(1-x)Ge_x层本征载流子浓度和有效态密度的解析计算 被引量:6
8
作者 张万荣 曾峥 罗晋生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期314-318,共5页
计算了应变Si1-xGex层的本征载流子浓度及导带和价带有效态密度。用解析方法研究了它们与Ge组分x和温度T的依赖关系。发现随Ge组分x的增加,导带和价带有效态密度随之快速减小,而本征载流于浓度却随之而近乎指数式地增... 计算了应变Si1-xGex层的本征载流子浓度及导带和价带有效态密度。用解析方法研究了它们与Ge组分x和温度T的依赖关系。发现随Ge组分x的增加,导带和价带有效态密度随之快速减小,而本征载流于浓度却随之而近乎指数式地增加。而且,温度T越低,导带和价带有效态密度随Ge组分x的增加而减小得越快,而本征载流于浓度上升得越快。同时还发现,具有大Ge组分x的应变Si1-xGex层,其用Si相应参数归一化的导带和价带有效态密度及它们的积对温度T的依赖关系弱,而具有小Ge组分x的应变Si1-xGex层,上述归一化参数对温度T的依赖关系强,这和目前仅有的文献[8]中,它们与温度依赖关系的定性研究结果相一致。 展开更多
关键词 合金 应变 有效态密度 本征载流子浓度
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球磨制备硼/磷掺杂Si_(80)Ge_(20)材料及其热电性能 被引量:1
9
作者 陈啸 宋庆峰 柏胜强 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期354-358,共5页
作为最重要的高温热电材料之一,SiGe合金的制备和性能优化一直备受关注。本工作利用机械合金化结合放电等离子烧结技术成功制备了B和P掺杂的Si_(80)Ge_(20)合金,并利用X射线衍射技术、电子扫描显微镜结合能谱仪技术对样品的物相进行分... 作为最重要的高温热电材料之一,SiGe合金的制备和性能优化一直备受关注。本工作利用机械合金化结合放电等离子烧结技术成功制备了B和P掺杂的Si_(80)Ge_(20)合金,并利用X射线衍射技术、电子扫描显微镜结合能谱仪技术对样品的物相进行分析表征,重点研究了B和P掺杂对Si_(80)Ge_(20)合金的电热输运性能影响。研究表明,B和P掺杂可有效优化材料载流子浓度,提升材料的电学性能;B掺杂能有效增强声子散射降低材料晶格热导率,因为电学性能的提升和热导率的降低,在1000 K时,Si_(80)Ge_(20)+2.0vol%B样品的zT值约达到1.01;不同含量P掺杂样品的zT值在整个测试温度范围内基本维持不变,在1000 K时,Si_(80)Ge_(20)+2.0vol%P样品的zT值约为1.16。 展开更多
关键词 合金 热电材料 晶格热导 机械合金
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Si_(1-x)Ce_x/Si量子阱发光材料制备及特性研究 被引量:2
10
作者 杨宇 卢学坤 +8 位作者 黄大鸣 蒋最敏 杨敏 章怡 龚大卫 陈祥君 胡际璜 张翔九 赵国庆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期995-1002,共8页
在si(100)衬底上用分子束外延成功生长了Si_(1-x)Ge_x/si量子阱发光材料,发现在生长过程中背景杂质含量直接影响材料的发光特性,用光致发光(PL)和卢瑟福背散射(RBS)对样品质量进行标定。在PL测量中观察到合金量子阱带边激子分辨峰,并对... 在si(100)衬底上用分子束外延成功生长了Si_(1-x)Ge_x/si量子阱发光材料,发现在生长过程中背景杂质含量直接影响材料的发光特性,用光致发光(PL)和卢瑟福背散射(RBS)对样品质量进行标定。在PL测量中观察到合金量子阱带边激子分辨峰,并对发光峰能和峰宽作了讨论。 展开更多
关键词 合金 量子阱 发光材料 特性 分子束外延
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B掺杂调控Si_(0.85)Ge_(0.15)合金的热电性能研究
11
作者 景丹阳 李杰 +2 位作者 程展旗 况菁 段兴凯 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期11182-11187,共6页
SiGe合金是重要的高温热电材料,其热电性能的优化一直备受关注。采用电弧熔炼和热压烧结成功制备了Si_(0.85)Ge_(0.15) B x(x=0.01,0.015,0.04,0.045,0.05,0.06)合金。利用X射线衍射技术、扫描电子显微镜并结合能谱技术对样品的物相结... SiGe合金是重要的高温热电材料,其热电性能的优化一直备受关注。采用电弧熔炼和热压烧结成功制备了Si_(0.85)Ge_(0.15) B x(x=0.01,0.015,0.04,0.045,0.05,0.06)合金。利用X射线衍射技术、扫描电子显微镜并结合能谱技术对样品的物相结构、微观形貌和化学成分进行了表征。研究了B掺杂对Si_(0.85)Ge_(0.15)合金的电热输运性能影响。研究表明,在300~950 K的温度范围内,塞贝克系数均为正值,表明了P型半导体特性,且随温度的升高,塞贝克系数增大。随着B掺杂浓度的增加,电导率逐渐增加,塞贝克系数则不断降低。在950 K时,Si_(0.85)Ge_(0.15) B 0.01样品的塞贝克系数最大,温度为750 K时,B掺杂含量为0.04的样品功率因子具有最大值,为1.72×10^(-3) Wm^(-1)·K^(-2),900 K时,B掺杂含量为0.04的样品ZT值达到了0.4,相比于B掺杂含量为0.01的样品,其热电性能提升了约1.5倍。 展开更多
关键词 合金 电导率 塞贝克系数 硼掺杂 晶格热导率
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纳米散射中心对P型Si_(80)Ge_(20)合金热电性能的影响 被引量:2
12
作者 徐亚东 徐桂英 葛昌纯 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期802-804,807,共4页
理论模型表明,通过向SiGe合金中掺杂惰性纳米相-声子散射中心可以减小材料的热导率进而可以达到提高材料热电优值的目的。为了验证该结论的正确性,通过超声分散的方式将纳米相的C60及BN散射中心加入到P型Si80Ge20合金中,后采用热等静压... 理论模型表明,通过向SiGe合金中掺杂惰性纳米相-声子散射中心可以减小材料的热导率进而可以达到提高材料热电优值的目的。为了验证该结论的正确性,通过超声分散的方式将纳米相的C60及BN散射中心加入到P型Si80Ge20合金中,后采用热等静压的方式制备了P型Si80Ge20热电合金块体材料。实验结果表明,通过掺杂惰性纳米相-声子散射中心可以显著地降低材料的热导率而对材料的电导率及See-beck系数影响不大,其最终结果可以达到提高材料的热电优值的目的,但提高的幅度较传输模型预测的小。 展开更多
关键词 热电材料 合金 纳米相散射中心 热导率 热电性能
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B掺杂p型SiGe合金的制备与热电性能表征 被引量:4
13
作者 王月月 胡美华 +3 位作者 毕宁 韩鹏举 周绪彪 李尚升 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期2942-2946,共5页
以一定化学计量比均匀混合的Si、Ge、B混合粉末为原材料,使用放电等离子烧结(SPS)一步法合金化制备了p型Si_(80)Ge_(20)B_(x)(x=0.5,1.0,2.0)合金热电材料,并对样品的组成、微观形貌、热电性能进行了表征与分析。结果表明,放电等离子烧... 以一定化学计量比均匀混合的Si、Ge、B混合粉末为原材料,使用放电等离子烧结(SPS)一步法合金化制备了p型Si_(80)Ge_(20)B_(x)(x=0.5,1.0,2.0)合金热电材料,并对样品的组成、微观形貌、热电性能进行了表征与分析。结果表明,放电等离子烧结过程实现原位合金化并烧结为块体材料。随着B掺杂量的增加,电导率明显提升,热导率显著下降,当温度为950 K时,热导率为1.79 W/(m∙K)。在1050 K时,ZT值达到了0.899。球磨和掺杂的协同作用使得SiGe合金基体内产生不同类型的缺陷特征而散射不同波长的声子,导致硅锗合金热导率的降低。 展开更多
关键词 热电材料 合金 放电等离子烧结 热导率
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掺碳锗硅合金最新研究进展 被引量:2
14
作者 亓震 叶志镇 《材料科学与工程》 CSCD 1998年第3期22-25,共4页
SiGeC三元合金近几年来受到人们的广泛关注,碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。本文对碳加入锗硅材料中后应变的缓解及碳对合金能带结构的影响进行了概述,并对其机理做了总结。
关键词 能带结构 价带补偿 合金
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低温注入硅片中的锗在快速热处理后的再分布 被引量:2
15
作者 肖清华 屠海令 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1437-1441,共5页
大剂量 (4× 10 1 6 cm- 2 )的 Ge离子在 77K低温下被注入于 (10 0 )硅片中 ,并结合随后的 10 80℃快速热处理(RTP)以形成 Si/ Si Ge异质结构 .用卢瑟福背散射技术和二次离子质谱技术研究注锗硅片退火前后 Ge的分布 .结果表明 ,快... 大剂量 (4× 10 1 6 cm- 2 )的 Ge离子在 77K低温下被注入于 (10 0 )硅片中 ,并结合随后的 10 80℃快速热处理(RTP)以形成 Si/ Si Ge异质结构 .用卢瑟福背散射技术和二次离子质谱技术研究注锗硅片退火前后 Ge的分布 .结果表明 ,快速热处理退火不仅能使注锗硅片发生固相外延生长 ,表层形成合金层 ,而且导致 Ge向表面的质量运输 .最终出现平台式的 Ge分布形态 .快速热处理后 Ge这种再分布被认为有利于提高 展开更多
关键词 合金 低温离子注入 快速热处理 卢瑟福背散射技术 二次离子质谱技术
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P型Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)-SiC纳米复合材料的微观结构与热电性能研究(英文) 被引量:3
16
作者 杨小燕 吴洁华 +2 位作者 任都迪 张天松 陈立东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期997-1003,共7页
采用感应熔炼、球磨与放电等离子烧结的方法制备了SiC第二相均匀分布的Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)-SiC纳米复合热电材料。系统研究了细化Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)晶粒尺寸与复合SiC纳米颗粒对材料热电性能的影响。球磨导致的Si_(80)Ge_(20)B_(... 采用感应熔炼、球磨与放电等离子烧结的方法制备了SiC第二相均匀分布的Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)-SiC纳米复合热电材料。系统研究了细化Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)晶粒尺寸与复合SiC纳米颗粒对材料热电性能的影响。球磨导致的Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)晶粒尺寸的降低显著增加了材料的晶界数量,进而增强了晶界对中长波声子的散射,能够有效降低材料的晶格热导。Si_(80)Ge_(20)B_(0.6)基体中均匀分布的纳米SiC颗粒提供了额外的散射中心和界面,可进一步增强声子散射,降低材料的晶格热导。在纳米结构化与SiC纳米复合的共同作用下,材料在1000 K时热电优值ZT达到了0.62,较基体提高了17%。证明纳米结构化与纳米复合方法能够共同作用于硅锗合金,提高其热电性能。 展开更多
关键词 合金 SiC纳米颗粒 热电材料 纳米复合 纳米结构
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硅锗量子阱发光器件的探索 被引量:1
17
作者 王迅 杨宇 《物理》 CAS 北大核心 1994年第11期658-663,共6页
介绍了提高硅发光效率的一些途径,在阐述硅锗合金发光的基础上,分析了硅锗量子阱的光致发光机理及特性,并介绍了硅锗量子阱电致发光研究的进展。
关键词 合金 量子阱 发光效率 光致发光 电致发光
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室温下硅与硅锗合金的热电性能研究 被引量:1
18
作者 井群 司海刚 +1 位作者 张世华 王渊旭 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第5期464-467,共4页
采用第一性原理方法研究在温度为300 K时,硅单质和两种锗组分不同的硅锗合金的热电性能,发现虽然硅的热电功率因子S2σ较大,但由于其热导率也高,故不是良好的热电材料,但若与其同族的元素锗形成合金,就可使材料的热导率得到显著下降,伴... 采用第一性原理方法研究在温度为300 K时,硅单质和两种锗组分不同的硅锗合金的热电性能,发现虽然硅的热电功率因子S2σ较大,但由于其热导率也高,故不是良好的热电材料,但若与其同族的元素锗形成合金,就可使材料的热导率得到显著下降,伴随而来的载流子迁移率的下降则远不如热导率明显,从而可获得较大的热电优值,而且在硅锗合金中锗含量不同时,热电优值也会有变化. 展开更多
关键词 热电材料 合金 热电优值 输运性质
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SiGe/SiHBT制造中干法、湿法腐蚀技术的研究 被引量:1
19
作者 邹德恕 陈建新 +3 位作者 袁颖 董欣 高国 沈光地 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期26-28,共3页
介绍了对SiGe/Si材料干法、湿法腐蚀的机理、腐蚀方法、影响腐蚀的主要因素。
关键词 合金 干法腐蚀 湿法腐蚀 异质结晶体管
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硅锗合金Seebeck系数影响因素的研究 被引量:2
20
作者 索开南 张维连 +1 位作者 赵嘉鹏 周子鹏 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期578-583,共6页
作为一种洁净能源,硅锗合金的热电转换性能的研究越来越受到人们的重视。本文重点研究了不同Ge浓度的硅锗合金以及Si、Ge单晶在300~1100K温度范围内,Seebeck系数随温度的变化。并对组分相同导电类型不同、晶向不同以及结晶状态不同的... 作为一种洁净能源,硅锗合金的热电转换性能的研究越来越受到人们的重视。本文重点研究了不同Ge浓度的硅锗合金以及Si、Ge单晶在300~1100K温度范围内,Seebeck系数随温度的变化。并对组分相同导电类型不同、晶向不同以及结晶状态不同的样品的Seebeck系数进行了比较。在研究温度区间,Seebeck系数的绝对值大小一般在200~600μV/K之间,随温度不同连续变化。通过对比发现SiGe合金的Seebeck系数大小不仅与Ge的浓度和温度有关,其他因素对其绝对值也有影响,其中晶向最为明显,表现出了明显的各向异性。此外,材料本身的电阻率除了作为一个热电参数影响最优值外,其大小还对Seebeck系数的绝对值有影响,即掺杂济浓度对Seebeck系数的影响。 展开更多
关键词 SEEBECK系数 合金 热电材料 各向异性 热电转换
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