微机械加速度传感器及应用 被引量：23

1

作者 石庚辰 《测控技术》 CSCD 2003年第3期5-8,共4页

叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。

关键词 微机电系统 微加速度传感器

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基于微加速度传感器的倾角传感器 被引量：13

2

作者 王巍 李早平 +1 位作者 王军 彭清祥 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第12期12-13,25,共3页

阐述了倾角传感器的应用领域及应用要求,指出了目前倾角传感器存在的问题。分析了倾角传感器的测量原理和计算方法,提出了一种角度分段算法,并通过零位标定补偿微加速度传感器固有的零位偏差。介绍了SYTS倾角传感器的软硬件系统,通过在... 阐述了倾角传感器的应用领域及应用要求,指出了目前倾角传感器存在的问题。分析了倾角传感器的测量原理和计算方法,提出了一种角度分段算法,并通过零位标定补偿微加速度传感器固有的零位偏差。介绍了SYTS倾角传感器的软硬件系统,通过在混凝土泵车上的试用证明SYTS倾角传感器是一款满足工程机械特定要求的倾角传感器。 展开更多

关键词 微加速度传感器 倾角传感器 零位偏差 角度分段

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铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟 被引量：13

3

作者 车录锋 卢云 徐志农 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期199-205,共7页

给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整... 给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响,封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大,但是灌封胶弹性模量很小时(E≤1 GPa)会导致加速度传感器信号失真。模拟结果表明,可以选择弹性模量足够高的材料(E>9 GPa)作为高冲击加速度传感器的灌封材料。 展开更多

关键词 微加速度传感器 封装 有限元模拟

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基于微加速度传感器的无线鼠标的设计 被引量：12

4

作者 黄得志 陈文元 +2 位作者 杨华锋 钱莉 张卫平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第1期50-52,55,共4页

研究基于微加速度传感器的无线鼠标的设计,讨论了MEMS无线鼠标的软件、硬件设计和系统组成,给出了M atlab环境下系统的模型和算法。模拟结果说明:无线鼠标的设计是合理可行的,提出的二次积分近似算法是简捷有效的。

关键词 微加速度传感器 微机电系统 无线鼠标

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微加速度传感器的研究现状及发展趋势 被引量：9

5

作者 刘妤 温志渝 +2 位作者 张流强 刘玉奎 梁玉前 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期81-86,共6页

基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

关键词 微加速度传感器 MEMS

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微机械电容式加速度传感器测试电路研究 被引量：4

6

作者 杨苗苗 陈德勇 +3 位作者 王军波 陈健 毋正伟 陈李 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2421-2424,共4页

在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路... 在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值. 展开更多

关键词 硅微加速度传感器 微弱电容检测 差分检测

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空中手写笔笔迹检测系统(英文) 被引量：5

7

作者 王玮 李德胜 +2 位作者 高宗余 周卫 张鹏飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1286-1292,共7页

提出了一种基于微加速度传感器与微角速度传感器的空间笔迹检测系统,并对轨迹检测系统的算法进行了描述。手写动态采集系统使用安装于手写笔上的加速度传感器和角速度传感器采集手写笔的动态信息,通过A/D转换将得到的数据由串行通信接... 提出了一种基于微加速度传感器与微角速度传感器的空间笔迹检测系统,并对轨迹检测系统的算法进行了描述。手写动态采集系统使用安装于手写笔上的加速度传感器和角速度传感器采集手写笔的动态信息,通过A/D转换将得到的数据由串行通信接口传送至计算机进行处理。该系统可用于检测手写笔在三维空间的运动轨迹,并通过三维空间的姿态角变换矩阵将手写笔动态信息投影到二维坐标平面,经过一系列积分运算最终重现笔迹信息。介绍了手写笔运动过程中重力加速度对笔迹重现的影响以及从检测到的加速度中剔除重力加速度得到纯净运动加速度的方法,对传感器的标定进行了相应的说明。实验结果表明,该系统达到了预期的效果。 展开更多

关键词 笔迹检测 微加速度传感器 微角速度传感器

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电容式微加速度传感器信号处理电路的设计 被引量：2

8

作者 刘海涛 温志渝 温中泉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2190-2192,2196,共4页

介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好... 介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰,同时提高了传感器的整体性能. 展开更多

关键词 电容式 微加速度传感器 信号处理 电荷敏感 闭环模式

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多轴微加速度传感器的进展 被引量：2

9

作者 刘妤 温志渝 杨红韵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第4期4-6,共3页

微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并... 微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。 展开更多

关键词 微机电系统 微加速度传感器 多轴

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磁流变新型微加速度传感器的分析 被引量：3

10

作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第B08期369-372,共4页

首先讨论一种磁流变(MRF)微加速度传感器的基本原理,其次研究这种磁流变微加速度计中的梁在电场力作用下的变形规律,进而得出加速度与输入电压的关系,同时对加速度计稳定性进行分析,为设计磁流变微加速度传感器提供理论依据.

关键词 微加速度传感器 加速度 电压关系 稳定性 磁流变 电压

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虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行 被引量：2

11

作者 谢少荣 彭商贤 +1 位作者 赵新 卢桂章 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第5期644-650,共7页

对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 .此微加速度传感器采用悬臂梁式结构 .论文分析了其静态特性和动态特性 ,建立了悬臂梁变形模型和微加速度传感器动态行为模型 ;讨论了在修改结构尺寸过程中 ,梁长、梁厚对微加速度... 对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 .此微加速度传感器采用悬臂梁式结构 .论文分析了其静态特性和动态特性 ,建立了悬臂梁变形模型和微加速度传感器动态行为模型 ;讨论了在修改结构尺寸过程中 ,梁长、梁厚对微加速度传感器的影响 ,并优化了结构参数 ;最后建立虚拟环境 ,进行拟实运行 。 展开更多

关键词 虚拟环境 微加速度传感器 变形 拟实运行 建模

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电容式微加速度传感器微结构的拓扑优化 被引量：2

12

作者 刘齐茂 李微 《机械设计与制造》 北大核心 2006年第6期10-12,共3页

采用均匀化方法,以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数,以微结构的体积作为约束条件,建立了微结构的拓扑优化模型,对叉指式微加速度传感器微结构进行了拓扑优化设计,经计算获得满足体积约束并使第一阶谐振频率最大... 采用均匀化方法,以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数,以微结构的体积作为约束条件,建立了微结构的拓扑优化模型,对叉指式微加速度传感器微结构进行了拓扑优化设计,经计算获得满足体积约束并使第一阶谐振频率最大的微结构拓扑形式。计算结果表明该方法可以很好地解决微加速度传感器灵敏度和谐振频率这一对矛盾,在满足灵敏度的要求下提高微加速度传感器的测量范围上限,不失为一种先进的、有效的电容式微加速度传感器微结构的设计方法。 展开更多

关键词 微加速度传感器 微电子机械系统 均匀化方法 拓扑优化

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电容式微加速度传感器控制电路研究

13

作者 陈佳品 吴智政 程君实 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第1期36-38,43,共4页

本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电压，再经过ＰＩ反馈控制器产生静电反馈力，以提高传感器的噪声抑制能力。

关键词 微加速度传感器 静电力反馈 控制电路 加速度计

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微机电系统实验建模研究 被引量：1

14

作者 陈佳品 吴智政 《半导体情报》 1997年第5期32-35,共4页

获得精确的微机电系统模型是实现系统高精度控制的前提条件，但微系统某些固有特性给系统理论建模带来一定困难。本文以微加速度传感器为例，提出一种理论分析和实验相结合的建模方法，并给出了相应的实验电路。

关键词 微机电系统 微电子机械系统 微加速度传感器

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LIGA技术进展 被引量：1

15

作者 陈迪 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期57-58,共2页

ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先... ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯... 展开更多

关键词 LIGA技术 三维微器件 微电铸 同步辐射光源 微米纳米科学 技术进展 光刻胶 掩模板 微加速度传感器 深度光刻

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叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解 被引量：1

16

作者 何晓平 彭勃 《传感器技术》 CSCD 2000年第6期25-27,共3页

采用结构力学的力法，建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比，简化了推导过程，得到了便于微机计算的结论。

关键词 微加速度传感器 力法 结构刚度

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SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现 被引量：2

17

作者 徐春晓 房立清 周新伟 《微细加工技术》 2008年第6期26-27,64,共3页

设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。

关键词 高温 抗冲击 微加速度传感器 SOI

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工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响 被引量：2

18

作者 刘妤 温志渝 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期331-335,共5页

工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等。结果表明:质量偏心会引... 工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等。结果表明:质量偏心会引起角位移变化,但对主轴刚度无影响,传感器不会有输出;在现有工艺条件下,可忽略梁厚误差的影响,但需严格控制梁宽误差;各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同,不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大;非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小,但静态灵敏度却有所增加。 展开更多

关键词 微加速度传感器 工艺特性

原文传递

批量化微加速度计综合测试平台设计 被引量：2

19

作者 王华 石云波 +1 位作者 王艳阳 杨阳 《电子器件》 CAS 北大核心 2016年第6期1317-1320,共4页

为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只传感器综合测试装置。该装置可分别进行翻转测试和振动测试,并且能够实现传感器测试夹具与测试平台的自动... 为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只传感器综合测试装置。该装置可分别进行翻转测试和振动测试,并且能够实现传感器测试夹具与测试平台的自动结合与分离。通过对该装置测得的加速度计参数和原厂标定的加速度计参数对比,表明所设计测试平台的测试结果可靠。 展开更多

关键词 微加速度传感器 批量化测试 仿真设计 SOLIDWORKS

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基于加速度采集系统的无线输入设备的研究 被引量：1

20

作者 黄得志 陈文元 +2 位作者 杨华峰 钱莉 张卫平 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2007年第2期260-263,共4页

研究基于加速度采集系统的无线输入设备,介绍了硬件系统的组成和工作原理,重点讨论了有限状态机FSM和COM组件软件技术的应用,用C++语言给出了FSM的实现框架和COM接口函数的描述,并基于加速度信息采集平台用C#语言开发了一个测试程序,既... 研究基于加速度采集系统的无线输入设备,介绍了硬件系统的组成和工作原理,重点讨论了有限状态机FSM和COM组件软件技术的应用,用C++语言给出了FSM的实现框架和COM接口函数的描述,并基于加速度信息采集平台用C#语言开发了一个测试程序,既充分展示了采用FSM和COM技术的优点,同时说明了基于该系统的虚拟键盘鼠标系统实现方案的可行性。 展开更多

关键词 有限状态机 COM技术 微加速度传感器 虚拟键盘鼠标系统

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