摘要
本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电压，再经过ＰＩ反馈控制器产生静电反馈力，以提高传感器的噪声抑制能力。
Based-on analysis of the structure of an acceleration microsensor and its system modelling, an electrostatic force feedback control circuit is proposed in this paper. By using a high frequency modulation signal, the detector voltage is produced, and with PI feedback control, an electrostatic force is generated, which can improve the linearity and the resonance scale of the sensors.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第1期36-38,43,共4页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家自然科学基金
关键词
微加速度传感器
静电力反馈
控制电路
加速度计
Capacitive, Acceleration, Microsensor, Control Circuit, Electrostatic Feedback Force.
