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硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究 被引量：2
1
作者 席文柱 闫卫平 +1 位作者 杜立群 郭吉洪 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期332-334,337,共4页
采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔 ,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器 ,分析了微型加热器和温度传感器的特性 ,并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器 ,NiCr是较好... 采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔 ,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器 ,分析了微型加热器和温度传感器的特性 ,并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器 ,NiCr是较好的微型加热器材料 。 展开更多
关键词 硅基pcr 生物芯片 微型加热器 温度传感器 聚合酶链式反应 微反应腔
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