晶片行星式研磨抛光机运动模拟的研究 被引量：13

1

作者 王军 孙军 +1 位作者 杨信伟 吕玉山 《机械设计与制造》 北大核心 2000年第2期55-56,共2页

针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发 ,模拟了磨粒切痕方向、磨粒轨迹形态的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向、表面完整性的影响规律。

关键词 单晶硅片 运动模拟 研磨抛光机

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晶片行星式研磨抛光机运动模拟研究 被引量：2

2

作者 杨信伟 孙军 王军 《沈阳建筑工程学院学报》 2000年第4期292-294,共3页

针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发计算模拟了磨粒平均相对速度、研磨盘磨损的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向的影响规律 。

关键词 单晶硅片 研磨抛光机 运动模拟

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行星式研磨抛光机的机械部分改造设计 被引量：2

3

作者 秦立庆 《中国设备工程》 2017年第20期207-209,共3页

研磨抛光机的机械部分主要是由传动系统、磨盘、磨盘连接接头、主体支架、工件夹紧盘和供液系统组成。在LZM-6B研磨抛光机工作过程中,主体结构影响摆动,传动机构影响加载均匀性。研磨抛光液的均匀性对抛光的质量也有很大的影响。本文从... 研磨抛光机的机械部分主要是由传动系统、磨盘、磨盘连接接头、主体支架、工件夹紧盘和供液系统组成。在LZM-6B研磨抛光机工作过程中,主体结构影响摆动,传动机构影响加载均匀性。研磨抛光液的均匀性对抛光的质量也有很大的影响。本文从抛光机的主体结构、传动机构、夹具和供应系统等方面,介绍改造行星式研磨抛光机的机械部分的设计经验。 展开更多

关键词 研磨抛光机 结构设计

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基于PC的光纤透镜研磨抛光机控制系统的设计

4

作者 杨敏 郑小姣 吕玉山 《机械工程师》 2008年第8期98-100,共3页

为了获得能够完成多种型面光纤透镜研磨与抛光的控制,依照光纤透镜研磨与抛光机的基本运动和功能要求,以工业PC机和运动控制卡(DSP)为核心构建一个PC内藏CNC型的开放式光纤透镜研磨与抛光控制系统系统。重点讨论了整个系统的硬件和软件... 为了获得能够完成多种型面光纤透镜研磨与抛光的控制,依照光纤透镜研磨与抛光机的基本运动和功能要求,以工业PC机和运动控制卡(DSP)为核心构建一个PC内藏CNC型的开放式光纤透镜研磨与抛光控制系统系统。重点讨论了整个系统的硬件和软件的结构、功能。最终得到一套能够满足精密加工控制要求的光纤透镜研磨抛光控制系统。利用该系统可以实现机器的垂直进给、角度调转和光纤夹具自转的控制,也可以实现两轴或者三轴插补运动,从而完成对光纤透镜的几何型面的研磨与抛光。 展开更多

关键词 光纤透镜 研磨与抛光 研磨抛光机 运动控制 数控系统

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基于UMAC的超精密研磨抛光机工件坐标系的建立

5

作者 陈琦 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第10期34-35,39,共3页

在开放式数控系统的研制过程中,基于机床坐标系的加工方式对于某些特定的加工对象不完全能够适用,因此建立工件坐标系很有必要。当不同空间直角坐标系之间进行转换时,常用方法是七参数法,通过最小二乘法求得各参数的最合适值。通过采集... 在开放式数控系统的研制过程中,基于机床坐标系的加工方式对于某些特定的加工对象不完全能够适用,因此建立工件坐标系很有必要。当不同空间直角坐标系之间进行转换时,常用方法是七参数法,通过最小二乘法求得各参数的最合适值。通过采集原点、X轴正向一点和XOY平面第一象限任意一点三个特定点来转换机床坐标系和工件坐标系,该方法采集点数少,计算值准确。由于安装误差等原因导致机床坐标轴的正交性不准确时,该方法建立的工件坐标系不受其影响。 展开更多

关键词 研磨抛光机 超精密加工 工件坐标系 UMAC

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基于PLC、变频器与触摸屏自动压力研磨抛光机的设计

6

作者 张军 《通讯世界》 2017年第13期268-269,共2页

本文通过对研磨抛光机功能、工作原理及流程的分析,设计了基于PLC、变频器和触摸屏综合控制的自动压力调节的研磨抛光机系统,压力系统采用PLC控制压力闭环系统的自动调节的方法,使研磨的压力更加精准稳定可靠,提高了研磨抛光的加工效率... 本文通过对研磨抛光机功能、工作原理及流程的分析,设计了基于PLC、变频器和触摸屏综合控制的自动压力调节的研磨抛光机系统,压力系统采用PLC控制压力闭环系统的自动调节的方法,使研磨的压力更加精准稳定可靠,提高了研磨抛光的加工效率和质量,降低了加工成本,使研磨抛光机的适用范围更强广。 展开更多

关键词 研磨抛光机 PLC 触摸屏 压力控制

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超精密研磨技术的现状及发展趋势 被引量：5

7

作者 方海生 胡涤新 +1 位作者 邓乾发 袁巨龙 《轻工机械》 CAS 2007年第4期9-12,共4页

概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的N anopo li-100智能型纳米级抛光机,结合该领域的最新研究成果,提出了其向高精度、... 概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的N anopo li-100智能型纳米级抛光机,结合该领域的最新研究成果,提出了其向高精度、高效率发展的方向。 展开更多

关键词 研磨技术 超精密 Nanopoli-100智能型研磨抛光机 发展动向

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高精度大尺寸硅晶片的双面研磨抛光机改进设计 被引量：6

8

作者 陈毓 胡晓珍 李伟 《浙江海洋学院学报（自然科学版）》 CAS 2010年第6期586-590,共5页

随着IC设计技术和制造技术的发展和进步,集成电路芯片的集成度在不断提高,芯片密度呈指数增长趋势。硅晶片作为集成电路芯片的主要材料,尺寸越来越大。在分析国内双面抛光机典型机型原理和特点的基础上,针对运用于大尺寸甚至是直径400 m... 随着IC设计技术和制造技术的发展和进步,集成电路芯片的集成度在不断提高,芯片密度呈指数增长趋势。硅晶片作为集成电路芯片的主要材料,尺寸越来越大。在分析国内双面抛光机典型机型原理和特点的基础上,针对运用于大尺寸甚至是直径400 mm的硅晶片,提出高精度双面研磨抛光机在机械结构和控制系统等方面的改进措施,很好地解决了国内目前对大尺寸硅晶片加工难、加工精度不高等难题。 展开更多

关键词 大尺寸硅晶片 高精度 双面研磨抛光机 改进设计

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大尺寸有机玻璃高精度研磨抛光机技术研究

9

作者 高大勇 姜琳琳 陈傲 《船舶职业教育》 2024年第3期59-62,共4页

大尺寸有机玻璃高精度研磨抛光机是航空航天、电子信息以及新材料产业的关键设备,为了实现研磨机的大尺寸加工能力、高公差要求、低板材厚度变化率的性能指标,对研磨抛光机进行技术研究,完成了大尺寸有机玻璃高精度研磨抛光机的研制,实... 大尺寸有机玻璃高精度研磨抛光机是航空航天、电子信息以及新材料产业的关键设备,为了实现研磨机的大尺寸加工能力、高公差要求、低板材厚度变化率的性能指标,对研磨抛光机进行技术研究,完成了大尺寸有机玻璃高精度研磨抛光机的研制,实现了关键设备自主可控。 展开更多

关键词 有机玻璃研磨抛光机 精度指标驱动 高稳定性工作台 整机智能化

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行星式研磨抛光机传动机构改造及试验 被引量：3

10

作者 王伟 刘伟 +1 位作者 迟岩 郑森伟 《机电技术》 2011年第2期51-53,共3页

针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试验,通过试验研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。试验研究结果表明:传动机构优化... 针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试验,通过试验研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。试验研究结果表明:传动机构优化设计提高了行星式研磨抛光机床的精度和系统性能;在相同的加工速度下,改造前后抛光机的加工效率接近,改造后对工件加工的表面粗糙度约为改造前的1/3。该设备的改造设计对提高抛光机的加工精度有重要意义。 展开更多

关键词 行星式研磨抛光机 传动机构 抛光加工 表面粗糙度

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光纤透镜研磨抛光的轮廓成形控制系统的研究 被引量：2

11

作者 王军 李翔 +1 位作者 吕玉山 孙军 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第11期36-39,共4页

为了有效地减小光纤透镜的研磨抛光轮廓误差,设计一种两轴联动的交叉耦合轮廓控制器,并且针对光纤透镜研磨抛光机床的运动特点,给出了交叉耦合轮廓误差模型。然后利用Matlab软件对该交叉耦合轮廓控制的效果进行了仿真研究与分析。仿真... 为了有效地减小光纤透镜的研磨抛光轮廓误差,设计一种两轴联动的交叉耦合轮廓控制器,并且针对光纤透镜研磨抛光机床的运动特点,给出了交叉耦合轮廓误差模型。然后利用Matlab软件对该交叉耦合轮廓控制的效果进行了仿真研究与分析。仿真结果表明,利用该控制器能使系统轮廓误差从0·075μm减小到0·03μm,但由于加入了交叉耦合器的补偿量,Z轴的跟随误差也从0·05μm增大到0·07μm。同时也表明两轴联动的交叉耦合控制系统远远优于单轴PID控制系统。 展开更多

关键词 光纤透镜 研磨抛光机床 轮廓控制 交叉耦合 超精密加工

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行星式研磨抛光机通用夹具设计 被引量：2

12

作者 郑森伟 王伟 +2 位作者 迟岩 李梅 刘伟 《机电技术》 2010年第2期55-56,65,共3页

本文针对一种行星式研磨抛光机的通用夹具进行技术改造。采用了行星式可更换内部复合夹具以节省夹具制作时间和夹具的灵活性,采用不同的材料来加工同一个夹具不同的部位来满足工作需求又降低成本。通过对改造后夹具的强度性能研究可得到... 本文针对一种行星式研磨抛光机的通用夹具进行技术改造。采用了行星式可更换内部复合夹具以节省夹具制作时间和夹具的灵活性,采用不同的材料来加工同一个夹具不同的部位来满足工作需求又降低成本。通过对改造后夹具的强度性能研究可得到:在各种待加工工件变换频繁相同情况下下,夹具在改造前后的功能性差别不大,但改造后的夹具对不同工件变更周期与成本明显优于改造前的,极大地满足了生产与科研的需要。 展开更多

关键词 行星式研磨抛光机 复合夹具 夹具改造

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行星式研磨抛光机的设备改造设计 被引量：2

13

作者 刘伟 王伟 +2 位作者 李和仙 王文武 叶坤煌 《机电技术》 2010年第1期57-58,81,共3页

本课题对原有LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了某些方面的改造:采用封闭式龙门箱形的主体式结构以提高机床的刚度及稳定性;改善机床工作环境采用球头轴承浮动连接,保证加载均匀。通过改造后抛光机性能实验可以得到,在各种研磨工艺参... 本课题对原有LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了某些方面的改造:采用封闭式龙门箱形的主体式结构以提高机床的刚度及稳定性;改善机床工作环境采用球头轴承浮动连接,保证加载均匀。通过改造后抛光机性能实验可以得到,在各种研磨工艺参数相同的情况下,抛光机在改造前后的去除率差别不大,但改造后抛光机对工件加工的表面粗糙度明显优于改造前的。研究结果表明该设备的改造设计,可以较低的成本加工出高精密度的产品,极大地满足了生产与科研的需要。 展开更多

关键词 行星式研磨抛光机 设备改造 机械改造

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振动研磨抛光机的改进设计

14

作者 俞志根 李国强 《湖州职业技术学院学报》 2020年第4期54-57,共4页

传统的振动研磨抛光机由带PU复合胶的圆筒形研磨容器、立式振动电机、弹簧支承架和底座机架等组成,属敞开式结构,振动和噪音大,易产生污水,环保性较差。为提高振动研磨抛光机的环境适应性和易操作性,课题组对其传统结构进行了改进:设计... 传统的振动研磨抛光机由带PU复合胶的圆筒形研磨容器、立式振动电机、弹簧支承架和底座机架等组成,属敞开式结构,振动和噪音大,易产生污水,环保性较差。为提高振动研磨抛光机的环境适应性和易操作性,课题组对其传统结构进行了改进:设计一个带隔振降噪材料且能自动启闭的减振消音罩;由振动分选筛对研磨物料进行自动分选,并将废水进行集中收集处理;整机采用PLC自动控制。从而,改善了振动研磨抛光机的自动化程度和环保性能,使其能更好地适应当前绿色制造的要求。 展开更多

关键词 振动研磨抛光机 减振消音罩 振动分选筛 PLC

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光纤透镜研磨抛光的伺服控制系统的研究

15

作者 王军 李翔 +1 位作者 吕玉山 孙军 《机床与液压》 北大核心 2010年第23期32-34,40,共4页

在分析光纤透镜研磨抛光机床伺服进给系统结构的基础上建立系统数学模型,并采用频域参数辨识的方法获得传递函数模型的参数;利用Matlab软件对该系统进行仿真研究与分析。结果表明:采用PID形式的位置控制器,可以使系统获得很好的动态特性。

关键词 光纤透镜 研磨抛光机床 伺服系统 传递函数 超精密加工

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光纤透镜研磨抛光机床伺服系统的研究

16

作者 杨敏 郑小姣 吕玉山 《电子工业专用设备》 2008年第12期42-45,共4页

介绍了光纤透镜研磨抛光机床的伺服进给系统,在分析伺服进给系统的结构基础上建立系统数学模型,采用频域参数辨识的方法得到了传递函数模型的参数并给出了伺服系统进给轴的开环传递函数。确立了位置控制器的形式,得出当位置控制器为比... 介绍了光纤透镜研磨抛光机床的伺服进给系统,在分析伺服进给系统的结构基础上建立系统数学模型,采用频域参数辨识的方法得到了传递函数模型的参数并给出了伺服系统进给轴的开环传递函数。确立了位置控制器的形式,得出当位置控制器为比例积分控制形式时(即PI),可通过合理调节控制器中的参数以改变系统的阻尼比,使系统获得很好的动态特性。这样才能使进给系统稳定地、快速地、精准地完成进给任务以致提高光纤透镜表面研磨抛光精度。 展开更多

关键词 光纤透镜研磨抛光机床 伺服系统 传递函数 位置控制器 比例积分(PI)

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研磨抛光机

17

《粮食加工》 2006年第3期74-74,共1页

本发明公开了一种用于稻米类谷物或其他谷物的研磨和／或抛光机，其具有被筛网包围着的研磨和／或抛光转子，所述筛网由几个可径向调节的筛网段构成，每个所述筛网段分别在一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上。每个筛网段还分别在其另... 本发明公开了一种用于稻米类谷物或其他谷物的研磨和／或抛光机，其具有被筛网包围着的研磨和／或抛光转子，所述筛网由几个可径向调节的筛网段构成，每个所述筛网段分别在一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上。每个筛网段还分别在其另一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上，相邻筛网段的结构上设有共用杠杆，所述共用杠杆跨过形成在每两个毗邻筛网段之间的轴向缝隙。每个杠杆都非常方便地安置在连接杆上，所述连接杆安置在固定位置上。 展开更多

关键词 研磨抛光机 径向调节 连接杆 网段 杠杆 谷物 螺钉 双头 套装 摆动

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CN2770876研磨抛光机自动清料装置

18

《磨料磨具通讯》 2006年第5期14-14,共1页

本实用新型涉及研磨抛光机的配套装置，特别是研磨抛光用自动清除水槽内沉淀研磨料的一种刮板装置。研磨抛光机自动清料装置，由水槽、托盘、研磨盘组成，在水槽内设置有利板，该刮板固定在托盘上。该刮板下部与水槽内底部留有间隙。该... 本实用新型涉及研磨抛光机的配套装置，特别是研磨抛光用自动清除水槽内沉淀研磨料的一种刮板装置。研磨抛光机自动清料装置，由水槽、托盘、研磨盘组成，在水槽内设置有利板，该刮板固定在托盘上。该刮板下部与水槽内底部留有间隙。该刮板可设置多个。 展开更多

关键词 研磨抛光机 配套装置 自动清除 清料 实用新型 刮板 水槽 研磨料 研磨盘 托盘

原文传递

新一代变频调速研磨抛光机

19

《军民两用技术与产品》 2003年第8期29-29,共1页

关键词 变频调速 研磨抛光机 光学加工 BD系列 地脚调平装置

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研磨抛光机

20

《粮食加工》 2008年第3期28-28,共1页

本发明公开了一种用于稻米类谷物或其他谷物的研磨和／或抛光机，其具有被筛网包围着的研磨和／或抛光转子，所述筛网由几个可径向调节的筛网段构成，每个所述筛网段分别在一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上。每个筛网段还分别在其另... 本发明公开了一种用于稻米类谷物或其他谷物的研磨和／或抛光机，其具有被筛网包围着的研磨和／或抛光转子，所述筛网由几个可径向调节的筛网段构成，每个所述筛网段分别在一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上。每个筛网段还分别在其另一端上以可摆动方式套装在双头螺钉上，相邻筛网段的结构上设有共用杠杆，所述共用杠杆跨过形成在每两个毗邻筛网段之间的轴向缝隙。 展开更多

关键词 研磨抛光机 径向调节 网段 谷物 螺钉 双头 套装 摆动

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