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ITO薄膜的制备工艺及进展 被引量：17
1
作者 王树林 夏冬林 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 2004年第5期51-54,共4页
对玻璃表面ITO膜的组成、导电机制、性质和制备工艺进行描述。
关键词 ITO薄膜 磁控溅射 真空沉积 溶胶-凝胶
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高定向石墨表面金纳米粒子和金纳米线的研究 被引量：10
2
作者 侯士敏 陶成钢 +3 位作者 刘虹雯 赵兴钰 刘惟敏 薛增泉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期223-226,共4页
利用真空沉积方法在高定向石墨 (HOPG)基底上直接制备了粒径分布较小的金纳米粒子 .超高真空扫描隧道显微镜 (STM )研究发现 ,在 74℃退火后 ,表观直径为 2 5nm的金纳米粒子在HOPG基底上形成了排列均匀的准一维纳米粒子链 ,并且此金纳... 利用真空沉积方法在高定向石墨 (HOPG)基底上直接制备了粒径分布较小的金纳米粒子 .超高真空扫描隧道显微镜 (STM )研究发现 ,在 74℃退火后 ,表观直径为 2 5nm的金纳米粒子在HOPG基底上形成了排列均匀的准一维纳米粒子链 ,并且此金纳米粒子链结构稳定 .在 12 2℃退火后 ,不同粒径的金纳米粒子在HOPG基底表面上聚合长大形成了准一维金纳米线 .这一发现为制备由金粒子组成的有序纳米结构开辟了探索途径 . 展开更多
关键词 金纳米粒子 金纳米粒子链 金纳米线 高定向石墨 真空沉积 纳米材料
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多弧离子镀技术中的真空放电过程 被引量：7
3
作者 王茂祥 吴宗汉 孙承休 《物理》 CAS 1997年第7期431-434,共4页
多弧离子镀技术是基于阴极弧光放电原理提出的一种新型真空沉积技术．文章对该技术的特点、发展现状及其应用情况作了简单介绍，着重分析了该技术中真空弧光放电的过程并提出了放电的热－场致电子发射模型。
关键词 多弧离子镀 真空放电 机制 PVD 真空沉积
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派拉纶成膜技术在文物及图书保护中的应用研究 被引量：12
4
作者 龚德才 奚三彩 王勉 《文物保护与考古科学》 1996年第1期29-34,共6页
总结了派拉纶成膜技术保护法加固纸张、图书及其它文物的研究结果，提出了加固方法和工艺条件，同时也展望了派拉纶成膜技术保护法在其它质地文物保护上的应用前景。
关键词 派拉纶 纸张 图书 加固 真空沉积
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纳米生色技术的原理与优势 被引量：11
5
作者 刘琼溪 张欣 余荣沾 《染整技术》 CAS 2019年第2期3-6,共4页
本文回顾了天然着色的历史,探讨了化工染色的兴衰,重点论述了纳米生色的原理及特点。纳米生色是指运用真空沉积技术在织物表面溅射纳米量级的膜层,通过对膜层结构、尺度和材料的调整产生色彩。纳米生色具有不用染料不用水的独特优势,彻... 本文回顾了天然着色的历史,探讨了化工染色的兴衰,重点论述了纳米生色的原理及特点。纳米生色是指运用真空沉积技术在织物表面溅射纳米量级的膜层,通过对膜层结构、尺度和材料的调整产生色彩。纳米生色具有不用染料不用水的独特优势,彻底解决了化工印染严重污染环境的难题。 展开更多
关键词 染色 纳米生色 真空沉积
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高阻紫外光阴极导电基底制备及性能 被引量：7
6
作者 赵菲菲 赵宝升 +3 位作者 韦永林 张兴华 赛小锋 邹玮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1211-1216,共6页
在MgF2基片上,采用电子束蒸发镀膜法制备了掺锡氧化铟（ITO）导电基底,研究了充氧及退火对ITO薄膜电阻及紫外透射比的影响。并与传统的金属导电基底Au和Cr进行了性能比较。用光学显微镜、四探针测试仪、高阻计、X射线衍射仪（XRD）和分... 在MgF2基片上,采用电子束蒸发镀膜法制备了掺锡氧化铟（ITO）导电基底,研究了充氧及退火对ITO薄膜电阻及紫外透射比的影响。并与传统的金属导电基底Au和Cr进行了性能比较。用光学显微镜、四探针测试仪、高阻计、X射线衍射仪（XRD）和分光光度计分别测试了薄膜的表面形貌、方块电阻、形态结构和190～800 nm波段范围内薄膜的透射比曲线,得到方块电阻为10^7Ω左右时薄膜在200～400 nm波段内透射比的变化范围。实验结果表明,厚度相同时,充氧会增大ITO薄膜电阻;退火则会降低薄膜电阻并提高紫外透射比,薄膜结构由非晶态变为多晶态。方块电阻同为10^7Ω时,在200～400 nm波段充氧退火后ITO薄膜的平均透射比比Au,Cr的高10%。 展开更多
关键词 薄膜光学 导电基底 真空沉积 光学及电学性能 像增强器
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内燃机轴瓦涂层技术综述 被引量：7
7
作者 易智强 《内燃机配件》 2008年第4期41-45,共5页
基于其易适应性和易嵌人性,添加有锡、铜或铟的铜基减磨层已经被广泛应用,它能支持发动机多年正常运行,克服了咬死、腐蚀、磨损等在现代发动机中的无涂层铜基合金轴承上发生的故障。过去15年里,柴油发动机的发展要求材料技术有新的进展... 基于其易适应性和易嵌人性,添加有锡、铜或铟的铜基减磨层已经被广泛应用,它能支持发动机多年正常运行,克服了咬死、腐蚀、磨损等在现代发动机中的无涂层铜基合金轴承上发生的故障。过去15年里,柴油发动机的发展要求材料技术有新的进展。为了生产具有更高承载能力的高抗磨损涂层,以使生产高燃油利用率、低排放的小尺寸高汽缸压力发动机成为可能,PVD工艺流程,尤其是AlSn涂层溅射技术,被广泛应用。随着PVD涂层轴承的出现,产生了新的发动机设计可能性,同时也在PVD轴承和电镀涂层轴承之间产生了巨大的功能差距和费用差距。出于费用的考虑,无人致力于开发改进的电镀简易技术,以占领高性能底端的市场分额。利用新的MSA电解镀层技术,增加了铜和锡在铅中的含量,或是沉积高硬度颗粒后,铜基镀层的性能得到了改善。当前,铅作为合金成分由于环境和健康的原因被质疑。于是,一种新的SnCu6—SnNi—Ni涂层技术已经在开发之中,它将不仅解决铅污染问题,而且,它还提出了一个极好的电镀涂层功能改进方法。 展开更多
关键词 涂层技术 溅射 真空沉积 柴油发动机 轴承 滑动轴承 轴瓦 热力发动机 内燃机
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浅析真空沉积腔室的电气智能化设计
8
作者 贾坚江 《中国设备工程》 2024年第12期46-48,共3页
真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一,腔体真空和温度均匀性要求很高,其结果直接影响镀膜效果,最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求,创造出最理想的效益,应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气... 真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一,腔体真空和温度均匀性要求很高,其结果直接影响镀膜效果,最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求,创造出最理想的效益,应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气设计方面,运用高端的PLC与组态软件提高真空腔体的真空稳定性和温度均匀性,确保能够生产出优质高效的薄膜电池。 展开更多
关键词 真空沉积 电气设计 智能化 PLC 组态软件
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与等离子体相关的真空沉积技术及其应用
9
作者 王茂祥 吴建宁 《电子工程师》 1999年第7期1-3,共3页
介绍了产生等离子体的几种放电方式（如直流二极放电、射频放电、真空辉光放电、真空弧光放电等）、与等离子体相关的溅射沉积、离子镀沉积等常用的真空沉积技术及其在薄膜制备中的应用。
关键词 等离子体 真空沉积 溅射沉积 离子镀
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第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
10
作者 张以忱 《真空》 CAS 2023年第5期102-104,共3页
值得指出的是,平行圆板形电容耦合的RF-PCVD装置在沉积过程中上极板上的沉积物较容易脱离而沾污沉积膜层,影响膜层质量。有时,膜厚均匀性也不够理想。2.5.3电感耦合RF-PECVD装置电感耦合装置,一般是把高频线圈置于真空沉积反应室外,利... 值得指出的是,平行圆板形电容耦合的RF-PCVD装置在沉积过程中上极板上的沉积物较容易脱离而沾污沉积膜层,影响膜层质量。有时,膜厚均匀性也不够理想。2.5.3电感耦合RF-PECVD装置电感耦合装置,一般是把高频线圈置于真空沉积反应室外,利用它产生的交变磁场在反应室内感应交变的电流. 展开更多
关键词 电感耦合 膜厚均匀性 真空沉积 电容耦合 交变磁场 沉积膜 膜层质量 沉积过程
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热铟封技术中多层金属薄膜的研究 被引量：4
11
作者 赵菲菲 赵宝升 +3 位作者 李伟 赛小锋 韦永林 邹玮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期351-354,共4页
在像增强器制备过程中,转移阴极—铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率。相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应用前景。但是,热铟封技术在保证器... 在像增强器制备过程中,转移阴极—铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率。相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应用前景。但是,热铟封技术在保证器件气密性方面仍需进一步改善。本文采用真空蒸镀方式,在玻璃上制备了多层金属薄膜,以提高In-Sn合金与玻璃的润湿性能。采用座滴法比较了合金在玻璃及五种膜层结构表面的润湿及铺展性能。利用JSM-6700F型场发射电子扫描显微镜分析了润湿界面特性。结果表明:In-Sn合金与玻璃的润湿性能差,且在封接界面处容易产生孔洞;In-Sn合金在膜层结构玻璃/Cr/Cu和玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag上表现出良好的铺展性和润湿性,在封接界面处,合金与薄膜表层结合致密,无缝隙或孔洞出现;器件铟封实验表明,采用膜层结构玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag,热铟封制管成品率高,气密性良好。 展开更多
关键词 薄膜 气密性 真空沉积 热铟封 像增强器
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新型涂层聚氯代对二甲苯的性能及其应用研究 被引量：5
12
作者 石耀刚 杨光成 +1 位作者 张长生 王建华 《涂料工业》 CAS CSCD 2006年第7期1-3,共3页
用真空沉积技术制备了聚氯代对二甲苯(Parylene C)涂膜,考核了聚氯代对二甲苯涂膜与特种材料的附着力及涂膜的拉伸性能、耐化学介质性能、表面抗静电性能,并对具有复杂形状的工件表面进行均匀涂覆作了探索研究。结果表明聚氯代对二甲苯... 用真空沉积技术制备了聚氯代对二甲苯(Parylene C)涂膜,考核了聚氯代对二甲苯涂膜与特种材料的附着力及涂膜的拉伸性能、耐化学介质性能、表面抗静电性能,并对具有复杂形状的工件表面进行均匀涂覆作了探索研究。结果表明聚氯代对二甲苯涂膜具有优异的综合性能,可以在复杂形状工件表面形成均匀涂膜,对被涂覆材料起到很好的保护作用。 展开更多
关键词 真空沉积 聚氯代对二甲苯 性能 保护作用
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氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜 被引量：3
13
作者 李有宏 宫泽祥 +1 位作者 龙振湖 纪纯新 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期279-282,共4页
用氩离子束溅射聚四氟乙烯靶材，在黄铜上沉积聚四氟乙烯薄膜．用ＸＰＳ和ＩＲＳ分析方法确定了聚四氟乙烯高分子膜的存在，并依据沉积膜形成过程对沉积膜与靶材在ＩＲＳ谱图上的差异给予了解释．结果表明。
关键词 离子束 溅射 真空沉积 薄膜 聚四氟乙烯 塑料
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Parylene一种最优质的三防材料 被引量：5
14
作者 杨兵论 《舰船电子工程》 2008年第2期156-158,168,共4页
介绍三防技术在国防工业中的重要性,分析Parylene涂层的真空沉积机理。
关键词 PARYLENE 三防工艺 真空沉积
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一种制备优质有机光学薄膜的新方法 被引量：3
15
作者 陈国荣 唐璜 +5 位作者 莫晓亮 顾海华 范智勇 蔡亲佳 平贺隆 守谷哲郎 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期137-139,共3页
提出了一种用真空蒸发和真空热压相结合的技术来制备优质有机光学薄膜的方法。用它制成的有机光学薄膜中没有任何残留有机溶剂 ,在放置过程中也不产生晶化 ,因而不会对光发生散射。在光通讯器件、有机发光、有机光存储器的制作等方面有... 提出了一种用真空蒸发和真空热压相结合的技术来制备优质有机光学薄膜的方法。用它制成的有机光学薄膜中没有任何残留有机溶剂 ,在放置过程中也不产生晶化 ,因而不会对光发生散射。在光通讯器件、有机发光、有机光存储器的制作等方面有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 有机光学薄膜 真空沉积 真空热压 制备方法 真空蒸发
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柔性电子聚合物表面金属化工艺的研究进展
16
作者 张超 马迅 +4 位作者 王静静 刘平 马凤仓 张柯 李伟 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期7080-7092,共13页
柔性聚合物具有低密度,极高的柔韧性和可变形等特点,可作为柔性电子器件的基材广泛应用于射频通讯天线、传感检测、医疗健康和微电子等领域。由于柔性聚合物的低导电性和较差的机械特性,限制了其进一步的发展。化学镀、激光成型和真空... 柔性聚合物具有低密度,极高的柔韧性和可变形等特点,可作为柔性电子器件的基材广泛应用于射频通讯天线、传感检测、医疗健康和微电子等领域。由于柔性聚合物的低导电性和较差的机械特性,限制了其进一步的发展。化学镀、激光成型和真空沉积镀膜等工艺方法可有效改善柔性聚合物的电学、光学等物理性能,成为近几年的研究热点,为柔性电子器件制备的图案化、微型化和可定制化提供了有效的解决方案。总结近年来在柔性电子领域常见的表面金属化工艺的研究进展,详细论述了工艺参数对柔性电子材料在性能上的影响规律及作用机制,指出其具备的优势和不足,并对未来的发展方向做出展望。 展开更多
关键词 柔性电子聚合物 表面金属化 化学镀 激光改性 真空沉积
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纳米生色面料防紫外线性能研究 被引量：4
17
作者 刘琼溪 张欣 +1 位作者 余荣沾 梁媛 《染整技术》 CAS 2019年第6期13-15,共3页
简述了纳米生色技术的原理,给出了纳米生色面料防紫外线实验结果。与传统的防紫外线技术比较,纳米生色面料防紫外线整理具有绿色环保、防护系数高和性价比高等优势,具有很好的推广应用价值。
关键词 纳米生色 真空沉积 防紫外线
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纳米生色——织物抗静电的新途径 被引量：4
18
作者 刘琼溪 刘协权 +1 位作者 倪新华 梁媛 《染整技术》 CAS 2020年第2期20-23,共4页
简述了织物静电的产生和危害,介绍了常用的织物抗静电方法,重点介绍了纳米生色面料优良的抗静电性能。与传统的织物抗静电方法相比,纳米生色面料的抗静电功能来自于纳米生色技术在面料表面形成的镀膜,无需再做抗静电后整理,环境友好、... 简述了织物静电的产生和危害,介绍了常用的织物抗静电方法,重点介绍了纳米生色面料优良的抗静电性能。与传统的织物抗静电方法相比,纳米生色面料的抗静电功能来自于纳米生色技术在面料表面形成的镀膜,无需再做抗静电后整理,环境友好、性价比高;而且纳米生色面料表面光滑,手感好,具有更好的穿着舒适性。另外,对某些特殊纤维的面料进行纳米生色处理后,可以用作专业的抗静电服装。 展开更多
关键词 纳米生色 真空沉积 织物 抗静电
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镧与真空沉积银纳米粒子的金属间化合 被引量：3
19
作者 许北雪 吴锦雷 +4 位作者 侯士敏 张西尧 刘惟敏 薛增泉 吴全德 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期1649-1653,共5页
根据Hume Rothery规则 ,分析了银与镧两元素之间形成金属间化合物的倾向性 ,并根据真空蒸发沉积的条件 ,分析了在真空蒸发沉积情况下镧与银之间形成金属间化合物的可能性 .用X射线光电子能谱化学位移方法对真空蒸发沉积的银、镧薄膜进... 根据Hume Rothery规则 ,分析了银与镧两元素之间形成金属间化合物的倾向性 ,并根据真空蒸发沉积的条件 ,分析了在真空蒸发沉积情况下镧与银之间形成金属间化合物的可能性 .用X射线光电子能谱化学位移方法对真空蒸发沉积的银、镧薄膜进行了分析 ,结果表明在真空沉积条件下镧与银之间的确形成了金属间化合物 . 展开更多
关键词 真空沉积 纳米粒子 金属间化合物 镧 银 合金材料 薄膜体系
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稀土钕对真空沉积银纳米粒子细化作用的研究 被引量：4
20
作者 许北雪 吴锦雷 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期818-821,共4页
稀土元素作为微米级晶粒细化剂在有色和黑色金属工业中已经得到广泛应用,试验采用TEM,EDX,HEED和XRD方法研究了稀土钕对真空沉积的纳米级银粒子的细化作用。结果表明,稀土钕对银纳米粒子有细化作用,与稀土钕相关的成分为非晶态,细化作... 稀土元素作为微米级晶粒细化剂在有色和黑色金属工业中已经得到广泛应用,试验采用TEM,EDX,HEED和XRD方法研究了稀土钕对真空沉积的纳米级银粒子的细化作用。结果表明,稀土钕对银纳米粒子有细化作用,与稀土钕相关的成分为非晶态,细化作用使银的XRD衍射峰消失。分析认为,细化作用源于稀土钕增强了基底表面徙动激活能和基底原子吸附能,并由Lewis-Campbell理论估算得到稀土钕的引入使基底表面徙动激活能增加约0.071eV,相应的基底原子吸附能增加约0.142eV～0.426eV。 展开更多
关键词 钕 纳米粒子 银 细化 真空沉积
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