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等离子法制备氮化铝粉末原料的研究 被引量：2
1
作者 禹争光 扬邦朝 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期96-97,共2页
以金属铝粉和氮气为原料通过直流电弧等离子法制备氮化铝粉末,经羧酸与盐酸混酸在常温超声条件化学纯化后,X衍射分析表 明:制备出纯度高的氮化铝粉末;样品SEM照片显示:处理后AIN粉末粒度为2～5μm存有少量氮化铝晶须。
关键词 氮化铝 直流电弧等离子 化学纯化 氮化铝晶须
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直流电弧等离子体蒸发法制备超细锡粉
2
作者 郑威 张振忠 +1 位作者 赵芳霞 林峰 《有色金属工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期15-17,共3页
采用自行研制的高真空三枪直流电弧金属纳米粉体连续制备设备,采用正交试验法,通过控制电流、充气压力及氢氩比,制备不同粒径的超细锡粉。利用X射线荧光光谱分析、透射电子显微镜、选区电子衍射、SimplePCI软件及差热分析等,对样品的成... 采用自行研制的高真空三枪直流电弧金属纳米粉体连续制备设备,采用正交试验法,通过控制电流、充气压力及氢氩比,制备不同粒径的超细锡粉。利用X射线荧光光谱分析、透射电子显微镜、选区电子衍射、SimplePCI软件及差热分析等,对样品的成分、形貌、粒径分布及热稳定性进行表征,结果表明,充气压力和氢氩比分别是影响产率和平均粒径的首要因素,等离子体法制备的超细锡粉纯度高,粒径分布窄,分散性好,颗粒呈链球状均匀分布,在200℃下热力学性质稳定。 展开更多
关键词 超细锡粉 制备 直流电弧等离子 粒度 热稳定性
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大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展 被引量：32
3
作者 吕反修 唐伟忠 +2 位作者 李成明 陈广超 佟玉梅 《红外技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期1-7,共7页
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射 (DCArcPlasmaJet)CVD工艺制备大... 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射 (DCArcPlasmaJet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果 ,并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学 (机械 )、热学和微波介电性能的最新研究结果。 展开更多
关键词 光学级金刚石 自支撑膜 高功率直流电弧等离子体喷射 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能
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纳米氧化铋粉体的制备及对ZnO压敏电阻性能的影响 被引量：16
4
作者 禹争光 杨邦朝 敬履伟 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1184-1187,共4页
采用直流电弧等离子法可以制备出包含有a和β相,尺寸约为70 nm的纳米氧化铋粉体,收率可达30％。利用制备的纳米氧化铋粉体替代微米级材料制备氧化锌压敏陶瓷后,研究了其对器件电学性能和陶瓷微观结构的影响。实验发现:纳米氧化铋使用量... 采用直流电弧等离子法可以制备出包含有a和β相,尺寸约为70 nm的纳米氧化铋粉体,收率可达30％。利用制备的纳米氧化铋粉体替代微米级材料制备氧化锌压敏陶瓷后,研究了其对器件电学性能和陶瓷微观结构的影响。实验发现:纳米氧化铋使用量为1.6％摩尔分数时其压敏电压梯度和通流值分别为185 V/mm和4 700 A/cm2,而达到相同值所需微米氧化铋用量则分别为1.9％和1.85％。可见,如采用纳米氧化铋替代微米氧化铋可以减少用量10％～20％,而达到相同的电性能。 展开更多
关键词 直流电弧等离子法 氧化锌压敏陶瓷 纳米氧化铋
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磁性Fe、Co、Ni纳米粒子的吸波性能研究 被引量：15
5
作者 张雪峰 李哲男 +1 位作者 王威娜 董星龙 《粉末冶金工业》 CAS 北大核心 2006年第1期11-16,共6页
利用直流电弧等离子法在101.32 kPa（760 Torr）（H2＋Ar）混合气氛下制备了Fe、Co、Ni纳米粒子,通过XRD、TEM、VSM及TC-436（LECO LTD.）N/O分析仪对纳米粒子进行了形貌和成分的表征,并通过矢量网络分析仪,利用同轴方法对粒子复合材料... 利用直流电弧等离子法在101.32 kPa（760 Torr）（H2＋Ar）混合气氛下制备了Fe、Co、Ni纳米粒子,通过XRD、TEM、VSM及TC-436（LECO LTD.）N/O分析仪对纳米粒子进行了形貌和成分的表征,并通过矢量网络分析仪,利用同轴方法对粒子复合材料进行了电磁参数的测定.结果证明：在2～8 GHz频率范围内,Fe、Ni、Co纳米粒子/固体石蜡复合材料的复介电常数虚部ε在3～4 GHz、7～10 GHz、14～16 GHz频段均出现峰值,Fe、Ni纳米粒子/固体石蜡复合材料复磁导率的虚部μ吸收峰值分别在11～13 GHz、4～6 GHz频段处,Co纳米粒子/固体石蜡复合材料复磁导率的虚部μ吸收峰值并没有出现.利用实验所得到的数据模拟了Fe、Ni、Co纳米粒子/固体石蜡复合材料不同厚度的电磁损耗能力,当涂层厚度为2 mm时,Fe纳米粒子/固体石蜡复合材料在8 GHz频率范围达到30 dB的吸收值.在2～18 GHz频率范围内,当涂层厚度为4 mm和5 mm时,Ni纳米粒子/固体石蜡复合材料出现了两个吸收峰,其值均大于10 dB.因此,通过Fe、Co、Ni纳米粒子的复合吸波材料可以展宽吸收电磁波的频段. 展开更多
关键词 直流电弧等离子体法 纳米金属粒子 吸波材料
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直流电弧等离子体炬的特性研究 被引量：18
6
作者 袁行球 李辉 +4 位作者 赵太泽 王飞 俞国扬 郭文康 须平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期3806-3813,共8页
介绍了局部热力学平衡下描述直流电弧等离子体炬的磁流体力学模型 ,采用数值模拟方法研究了等离子体炬内等离子体的传热和流动特性、湍流对等离子体炬内等离子体特性的影响 ,以及等离子体炬运行参数对等离子体特性的影响 .
关键词 等离子体炬 直流电弧等离子体 磁流体力学 局部热力学平衡 湍流 特性研究 流动特性 数值模拟方法 传热 运行参数
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CVD金刚石自支撑膜的研究进展 被引量：18
7
作者 刘金龙 安康 +4 位作者 陈良贤 魏俊俊 唐伟忠 吕反修 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1-10,共10页
金刚石膜以其最高的硬度、热导率、热震性能以及极高的强度等优点得到了越来越多的关注。自20世纪低压化学气相沉积技术成功制备出金刚石以来,在世界范围内,金刚石的制备技术及应用研究得到了快速发展。分别对国内外自支撑金刚石膜材料... 金刚石膜以其最高的硬度、热导率、热震性能以及极高的强度等优点得到了越来越多的关注。自20世纪低压化学气相沉积技术成功制备出金刚石以来,在世界范围内,金刚石的制备技术及应用研究得到了快速发展。分别对国内外自支撑金刚石膜材料的制备技术及相关应用进行简要介绍,并讨论近几年我国在高质量金刚石膜材料制备技术方面取得的进展。目前主要的制备技术有热丝、直流辅助等离子体、直流电弧等离子体喷射、微波等离子体化学气相沉积(CVD)等方法。在小尺寸、高质量金刚石膜的制备技术基础上,21世纪初,国外几大技术强国先后宣布实现了大面积、高质量CVD金刚石膜的制备,并将其用于诸如红外光学窗口等高技术领域。我国也在CVD金刚石膜研发方面不断进步,先后掌握了热丝、直流电弧等离子体喷射、直流辅助等离子体CVD等合成大面积金刚石自支撑膜技术,近几年也掌握了915 MHz微波等离子体CVD技术,这些成果也标志着我国在高质量金刚石膜制备技术领域跟上了世界先进水平。 展开更多
关键词 化学气相沉积 热丝化学气相沉积 直流辅助等离子体化学气相沉积 直流电弧等离子体化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 自支撑金刚石膜
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外部磁场对直流电弧等离子体放电特性的影响及其机理 被引量：15
8
作者 胡明 万树德 +2 位作者 夏洋洋 任真诚 邱志坚 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1655-1660,共6页
通过外部磁场驱动电弧旋转产生相对均匀的等离子体是一种可能的改进等离子体放电特性的有效手段。利用高速摄像技术和虚拟仪器技术,观察并测量了大气条件下、非均匀磁场驱动的直流电弧等离子体阳极弧根运动以及电弧电压波动。结果发现:... 通过外部磁场驱动电弧旋转产生相对均匀的等离子体是一种可能的改进等离子体放电特性的有效手段。利用高速摄像技术和虚拟仪器技术,观察并测量了大气条件下、非均匀磁场驱动的直流电弧等离子体阳极弧根运动以及电弧电压波动。结果发现:相比无外部磁场,非均匀外部磁场驱动下的直流电弧等离子体在旋转力和稳弧力的作用下阳极弧根旋转,均匀性提高;其电弧电压波动幅度增大,放电模式发生改变;伏安特性曲线向上平移,电弧等离子体炬放电功率提高。另外,由于等离子体射流的高速运动而引起的等离子体射流在喷口处径向扩张,使等离子体射流横截面扩大,进一步提高了射流的均匀性。从结果中可以看出,外部磁场改善了直流电弧等离子体炬的基本特性,对直流电弧等离子体炬应用效率的提高具有重要的意义。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体炬 外部磁场驱动 旋转阳极弧根 电弧电压波动 伏安特性曲线 等离子体射流
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铁、镍及其合金纳米粒子的制备及电磁性能研究 被引量：10
9
作者 李灿权 张雪峰 +3 位作者 王威娜 朱旭光 董星龙 黄昊 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期46-50,共5页
利用直流电弧等离子法在10^5Pa H2＋Ar混合气氛下制备了Fe，Ni及FeNi合金纳米粒子，通过XRD，TEM，XPS，VSM及TC-436（LECO LTD．）N／O分析仪等对纳米粒子结构、形貌、成分、表面状态及静态磁性能进行了表征，并通过矢量网络分析仪，... 利用直流电弧等离子法在10^5Pa H2＋Ar混合气氛下制备了Fe，Ni及FeNi合金纳米粒子，通过XRD，TEM，XPS，VSM及TC-436（LECO LTD．）N／O分析仪等对纳米粒子结构、形貌、成分、表面状态及静态磁性能进行了表征，并通过矢量网络分析仪，利用同轴波导的方法对金属纳米粒子进行了电磁参数的测定。结果发现：在2～8GHz频率范围内，Fe，Ni，FeNi合金纳米粒子／固体石蜡复合材料的复介电常数虚部ε″在3～4，7～10，14～16GHz频段均出现三个峰值，随着Fe元素含量的增加，FeNi合金纳米粒子的复介电常数ε″损耗值成规律性的增加；复磁导率实部μ′也逐渐增大，且在2－4GHz范围出现极大值，复磁导率虚部μ″吸收峰值向高频段移动，而且当成分（质量分数／％）为Fe49．00Ni和Fe28．35Ni时，材料的吸收频带展宽。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体法 纳米粒子 吸波材料
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直流电弧等离子体法制备铋纳米粉体 被引量：13
10
作者 杨江海 张振忠 +2 位作者 赵芳霞 王超 安少华 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期334-338,共5页
采用自行研制的高真空三枪直流电弧金属纳米粉体连续制备设备,通过控制充气压力制备不同粒径的纳米铋粉。利用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和相应的选区电子衍射(SAED)以及SimplePCI软件等测试手段对样品的成分、晶体结构、形... 采用自行研制的高真空三枪直流电弧金属纳米粉体连续制备设备,通过控制充气压力制备不同粒径的纳米铋粉。利用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和相应的选区电子衍射(SAED)以及SimplePCI软件等测试手段对样品的成分、晶体结构、形貌和粒径分布进行表征。结果表明:等离子体法制备的纳米铋粉纯度高,粒径分布窄,分散性好,颗粒呈链球状均匀分布;纳米粉体的晶体结构与块体材料相同,为六方结构、空间群R-3m,晶格常数略有增大;当电流恒定为250A、充气压力从5kPa增加到60kPa时,纳米铋粉的平均粒径从35nm增加到143nm。 展开更多
关键词 纳米铋粉 直流电弧等离子体 平均粒径 制备
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煤在直流电弧等离子体中的气化 被引量：8
11
作者 申曙光 王胜 +3 位作者 庞先勇 鲍卫仁 朱素渝 谢克昌 《煤炭转化》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期45-47,共3页
实验利用由我国完全自主研制的一套直流电弧等离子体煤气化装置 ,以空气为等离子发生器气源 ,大同煤为原料 ,在水蒸气参与下 ,初步考察了工艺条件 (等离子发生器功率、供煤速率和空气流量等 )对等离子体煤气化过程的影响 ,并优化了部分... 实验利用由我国完全自主研制的一套直流电弧等离子体煤气化装置 ,以空气为等离子发生器气源 ,大同煤为原料 ,在水蒸气参与下 ,初步考察了工艺条件 (等离子发生器功率、供煤速率和空气流量等 )对等离子体煤气化过程的影响 ,并优化了部分工艺参数 .同时发现没有液体焦油生成 ,并且在气相产物中没有检测到甲烷 . 展开更多
关键词 煤 直流电弧等离子体 气化 煤气化装置
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大面积无衬底自支撑金刚石厚膜沉积 被引量：7
12
作者 黄天斌 刘敬明 +3 位作者 钟国仿 唐伟忠 佟玉梅 吕反修 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期234-237,共4页
讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂现象，主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异引起的巨大热应力，而衬底表面状态的控制、沉积过程中工... 讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂现象，主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异引起的巨大热应力，而衬底表面状态的控制、沉积过程中工艺参数的优化和控制也是一个重要的因素．因此，必须对整个金刚石厚膜沉积过程进行严格而系统的控制，才能有效地保证获得无裂纹大面积金刚石自支撑厚膜． 展开更多
关键词 自支撑金刚石厚膜 直流电弧等离子体喷射CVD
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纳米Ag-Cu-In-Sn合金粉末的制备及其热分析 被引量：11
13
作者 颜秀文 丘泰 +1 位作者 李良峰 张振忠 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期330-333,共4页
利用直流电弧等离子体法成功制备了分散性较好的纳米链状Ag-Cu-In-Sn合金粉末。用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和差示扫描量热分析(DSC)等手段对粉末的结构、粒度和热性能进行了表征。研究结果表明:通过优化工艺可制备粒度分布均匀,... 利用直流电弧等离子体法成功制备了分散性较好的纳米链状Ag-Cu-In-Sn合金粉末。用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和差示扫描量热分析(DSC)等手段对粉末的结构、粒度和热性能进行了表征。研究结果表明:通过优化工艺可制备粒度分布均匀,产率较高,平均粒度在45.03nm的Ag-Cu-In-Sn合金粉末。该粉末具有独特的热性能,与微米合金粉末的熔点相比,其熔点下降了近160℃。 展开更多
关键词 Ag-Cu-In-Sn 热分析 直流电弧等离子体
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直流电弧等离子体喷射在金刚石膜制备和产业化中的应用 被引量：11
14
作者 吕反修 唐伟忠 +2 位作者 李成明 宋建华 黑立富 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期43-48,共6页
综述了北京科技大学在直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜沉积系统研制和改进及大面积高质量(包括光学级)金刚石自支撑膜沉积的研究进展和产业化状况。用同样技术研发出了可用于复杂形状硬质合金工具金刚石膜涂层工具批量生产的强电流直... 综述了北京科技大学在直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜沉积系统研制和改进及大面积高质量(包括光学级)金刚石自支撑膜沉积的研究进展和产业化状况。用同样技术研发出了可用于复杂形状硬质合金工具金刚石膜涂层工具批量生产的强电流直流伸展电弧等离子体CVD金刚石膜涂层系统,讨论了利用该设备研发金刚石膜涂层硬质合金工具及其现场切削试验的结果。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体喷射 金刚石自支撑膜 金刚石膜涂层硬质合金工具 产业化
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提高Ni、Cu超微粉生产率的方法研究 被引量：6
15
作者 孙维民 金寿日 李志杰 《应用科学学报》 CAS CSCD 2000年第2期164-166,共3页
研究了用直流电弧等离子体法制备 Ni、Cu超微粉时 ,在原材料中加入高熔点金属 W、Mo后 ,对超微粉产率的影响 .结果表明 ,Ni、Cu超微粉的产率有较大幅度提高 ,并且超微粉中几乎不含有 W和 Mo.探讨了 W、Mo提高超微粉产率的原因 .
关键词 超微粉 生产率 镍 铜 直流电弧等离子体法
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直流电弧等离子体法制备纳米材料的研究进展 被引量：10
16
作者 叶凯 梁风 +3 位作者 姚耀春 马文会 杨斌 戴永年 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1089-1098,共10页
纳米材料由于具有特殊的光学、力学、磁学、电学、超导、催化等特性而被广泛应用于电子、机械装置、药物传输、催化剂等众多领域。直流电弧等离子体法是一种制备高纯度纳米材料的有效手段,通过在两电极之间的电弧放电产生高温,使反应室... 纳米材料由于具有特殊的光学、力学、磁学、电学、超导、催化等特性而被广泛应用于电子、机械装置、药物传输、催化剂等众多领域。直流电弧等离子体法是一种制备高纯度纳米材料的有效手段,通过在两电极之间的电弧放电产生高温,使反应室中的气体变为等离子体态,原材料蒸发分解成气态原子,过饱和的蒸汽流动到反应室中温度较低的部位,并重新成核生长成所需的纳米粒子。使用直流电弧等离子体法制备纳米材料具有操作简单、成本低、合成速度快、产物纯度高、环境友好等优点。在电弧法制备纳米材料的过程中,改变相关实验参数,会对产物的粒径、形貌等特性产生影响;特别是在制备碳纳米材料时,改变实验条件还会得到如碳纳米管、石墨烯、碳纳米角等不同形貌的碳纳米材料。因此,需要从纳米颗粒的生长机理入手,找到不同纳米材料的最佳合成条件,实现其可控制备。如今,电弧法制备纳米材料的研究重点已由单纯的制备方法研究发展到深入分析其机理与探究可控合成的工艺条件,从而实现粒径可控、颗粒分布均匀纳米材料的规模化制备。此外,电弧法相比其他方法具有独特的优点,探索用电弧法制备新型纳米材料也是目前研究的焦点。近年来,使用电弧法制备纳米材料取得了众多成果。在碳纳米材料领域,不但实现了富勒烯、碳纳米管的制备,而且实现了高品质单层石墨烯和碳纳米角的制备。在金属纳米材料领域,制备出了高品质的纳米银粉和镍粉等。此外,难熔金属由于熔点高,使用其他方法难以制备出相关种类的纳米材料。而电弧区温度可以达到104K,使用电弧法可制备出Mo、Cr、V、W等多种难熔金属的纳米材料。在陶瓷纳米材料领域,成功制备了SiC、TiC等高性能陶瓷纳米材料。实现电弧法可控制备纳米材料需要对纳米颗粒的形成及生� 展开更多
关键词 纳米材料 直流电弧等离子体 生长机理
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镍/碳复合纳米粒子的制备及电磁性能研究 被引量：9
17
作者 董星龙 钟武波 +2 位作者 左芳 李哲男 刘顺华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期519-521,共3页
用直流电弧等离子体法分别在甲烷和 (H2+Ar)气氛下制备了纳米镍粒子,利用XPS和TEM等分析手段对两种纳米镍粒子的表层特征和形貌进行了分析,发现甲烷气氛下制备的纳米镍粒子表面包覆了多层碳膜,H2+Ar气氛下制备的纳米镍粒子由于要进行钝... 用直流电弧等离子体法分别在甲烷和 (H2+Ar)气氛下制备了纳米镍粒子,利用XPS和TEM等分析手段对两种纳米镍粒子的表层特征和形貌进行了分析,发现甲烷气氛下制备的纳米镍粒子表面包覆了多层碳膜,H2+Ar气氛下制备的纳米镍粒子由于要进行钝化处理表面包覆有氧化物膜(Ni2O3).测定了两种纳米粉体的复介电常数和复磁导率以及以此为填料制备的导电涂料的导电率,证明了碳包覆纳米镍粒子的2～18GHz频率范围内电磁参数大小搭配及频响特性优于氧化物包覆纳米粒子. 展开更多
关键词 金属纳米材料 碳包覆纳米镍粒子 直流电弧等离子体法 甲烷
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大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备 被引量：9
18
作者 吕反修 唐伟忠 +9 位作者 刘敬明 宋建华 佟玉梅 于文秀 李国华 罗廷礼 张永贵 郭辉 孙振路 何其玉 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期41-48,共8页
介绍了一种新型的磁控／流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬，并据此设计建 造了 １００千瓦级高功率 ＤＣ Ａｒｃ Ｐｌａｓｍａ Ｊｅｔ ＣＶＤ金刚石膜沉积系统　讨论了该系统采用的半封闭式 气体循环系统的工作原理。
关键词 直流电弧等离子体炬 化学气相沉积系统 气体循环系统 金刚石自支撑膜 制备
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直流电弧等离子体法合成金属和陶瓷纳米颗粒 被引量：6
19
作者 李星国 廖复辉 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期295-300,共6页
介绍了直流电弧等离子体法制备纳米颗粒的原理和条件以及由此法制备的纳米颗粒的种类、结构和性能. 用直流电弧等离子体法能够合成金属、氧化物、氮化物、碳化物及氢化物等多类纳米颗粒. 合成的颗粒大小因合成条件和成份而变化,一般在10... 介绍了直流电弧等离子体法制备纳米颗粒的原理和条件以及由此法制备的纳米颗粒的种类、结构和性能. 用直流电弧等离子体法能够合成金属、氧化物、氮化物、碳化物及氢化物等多类纳米颗粒. 合成的颗粒大小因合成条件和成份而变化,一般在10~200 nm. 这种方法的合成速度比传统的真空蒸发法快10倍以上,适合工业化生产. 展开更多
关键词 直流电弧等离子体 金属 陶瓷 纳米颗粒 合成
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金刚石自支撑膜的高温红外透过性能 被引量：9
20
作者 黑立富 闫雄伯 +6 位作者 朱瑞华 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 廉伟艳 张荣实 李成明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期1-6,共6页
由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑... 由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑膜进行变化温度的红外光学透过性能研究,采用光学显微镜、X射线衍射、激光拉曼和傅里叶变换红外-拉曼光谱仪检测CVD金刚石膜的表面形貌、结构特征和红外光学性能。结果表明:在27℃时金刚石膜长波红外8~12μm之间的平均透过率达到65.95%,在500℃时8~12μm处的平均透过率为52.5%。透过率下降可分为3个阶段。对应于透过率随温度的下降,金刚石膜的吸收系数随温度的升高而增加。金刚石自支撑膜表面状态的变化,对金刚石膜光学性能的影响显著大于内部结构的影响。 展开更多
关键词 直流电弧等离子喷射 金刚石自支撑膜 高温红外透过
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