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电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
1
作者
张羽彤
刘文杰
《化工设计通讯》
CAS
2024年第4期104-105,111,共3页
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场...
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。
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关键词
电子
级
超纯水
自主化制备
国产替代
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职称材料
电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
2
作者
张羽彤
刘文杰
《化工设计通讯》
CAS
2024年第5期124-125,129,共3页
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场...
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。
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关键词
电子
级
超纯水
自主化制备
国产替代
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职称材料
Ⅷ族过渡金属对电子级超纯水H_(2)O_(2)强化去除特性与研究进展
3
作者
郑伟
王文龙
+2 位作者
倪卫斌
温鑫
杨光明
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第7期57-66,共10页
在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—...
在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—O键活性氧物种快速解离的绿色清洁技术。简要阐述了微污染H_(2)O_(2)的产生及对半导体材料清洗工艺的影响,着重分析了Ⅷ族过渡元素中铂系金属纳米粒子对H_(2)O_(2)催化解离的反应途径和作用机理。还讨论了金属表面吸附构型、吸附能、电子结构以及载体化学性质、水中卤族阴离子等因素对纳米粒子强化去除特性的影响,综述了Ⅷ族过渡金属在超纯水生产、检测以及半导体工艺辅助系统的应用与研究进展,为超纯水新型反应体系的构建和水处理材料的研发及应用提供参考。
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关键词
电子
级
超纯水
微污染控制
金属纳米粒子
分解活性
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职称材料
电子级超纯水精制混床离子交换树脂生产工艺分析
被引量：
2
4
作者
孙惠国
《净水技术》
CAS
2007年第3期1-4,共4页
对电子工业中制备超纯水的精制混床离子交换树脂的生产工艺进行了分析与探讨,提供了一些思考。
关键词
电子
级
超纯水
精制混床
离子交换树脂
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职称材料
离子交换树脂制备超纯水工艺的影响因素研究
被引量：
7
5
作者
于志勇
宋小宁
+2 位作者
方振鳌
许金刚
骆奇君
《化学与粘合》
CAS
2014年第4期302-305,共4页
介绍了电子级超纯水精制混床离子交换树脂的特点，以出水电导率和总有机碳为考察指标，研究了进水质量、运行流量和树脂粒度均匀性等主要因素对电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水质量的影响。研究结果表明，出水质量随着进水质量的...
介绍了电子级超纯水精制混床离子交换树脂的特点，以出水电导率和总有机碳为考察指标，研究了进水质量、运行流量和树脂粒度均匀性等主要因素对电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水质量的影响。研究结果表明，出水质量随着进水质量的提高而提高，运行流量控制在50～70BV／h时最佳，采用粒度更均匀的树脂出水质量和周期制水量更好。在一定的运行条件下，电子级超纯水精制混床离子交换树脂完全能满足电子行业对出水水质的要求。
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关键词
超纯水
电子
级
超纯水
精制混床离子交换树脂
电导率
总有机碳
原文传递
题名
电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
1
作者
张羽彤
刘文杰
机构
湖南工商大学
出处
《化工设计通讯》
CAS
2024年第4期104-105,111,共3页
基金
大学生创新创业训练计划国家级项目:基于氧化石墨烯混合基质反渗透膜的超纯水生产体系的设计与开发(项目编号:202210554003X)。
文摘
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。
关键词
电子
级
超纯水
自主化制备
国产替代
Keywords
electronic grade ultrapure water
autonomous preparation
local substitution Chemical Engineering Design Communications
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
2
作者
张羽彤
刘文杰
机构
湖南工商大学
出处
《化工设计通讯》
CAS
2024年第5期124-125,129,共3页
基金
大学生创新创业训练计划国家级项目:基于氧化石墨烯混合基质反渗透膜的超纯水生产体系的设计与开发(项目编号:202210554003X)。
文摘
电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。
关键词
电子
级
超纯水
自主化制备
国产替代
Keywords
electronic grade ultrapure water
autonomous preparation
local substitution
分类号
TQ085.41 [化学工程]
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职称材料
题名
Ⅷ族过渡金属对电子级超纯水H_(2)O_(2)强化去除特性与研究进展
3
作者
郑伟
王文龙
倪卫斌
温鑫
杨光明
机构
中国电子工程设计院股份有限公司
清华大学深圳国际研究生院
沃威沃水技术(中国)有限公司
出处
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第7期57-66,共10页
文摘
在电子级超纯水的生产过程中,痕量H_(2)O_(2)主要由真空紫外线降解器产生的羟基自由基复合而成,会影响半导体材料清洗的某些特定工艺。将复相纳米催化技术应用于电子级超纯水制备系统,可以有效去除超纯水中微污染H_(2)O_(2),是促进含O—O键活性氧物种快速解离的绿色清洁技术。简要阐述了微污染H_(2)O_(2)的产生及对半导体材料清洗工艺的影响,着重分析了Ⅷ族过渡元素中铂系金属纳米粒子对H_(2)O_(2)催化解离的反应途径和作用机理。还讨论了金属表面吸附构型、吸附能、电子结构以及载体化学性质、水中卤族阴离子等因素对纳米粒子强化去除特性的影响,综述了Ⅷ族过渡金属在超纯水生产、检测以及半导体工艺辅助系统的应用与研究进展,为超纯水新型反应体系的构建和水处理材料的研发及应用提供参考。
关键词
电子
级
超纯水
微污染控制
金属纳米粒子
分解活性
Keywords
electronic grade ultrapure water
micropollution control
metal nanoparticles
decomposition activity
分类号
TU991.2 [建筑科学—市政工程]
下载PDF
职称材料
题名
电子级超纯水精制混床离子交换树脂生产工艺分析
被引量：
2
4
作者
孙惠国
机构
淄博市技术学院
出处
《净水技术》
CAS
2007年第3期1-4,共4页
文摘
对电子工业中制备超纯水的精制混床离子交换树脂的生产工艺进行了分析与探讨,提供了一些思考。
关键词
电子
级
超纯水
精制混床
离子交换树脂
Keywords
electron-level ultrapure water polishing mixed bed ion exchange resins
分类号
TQ425.23 [化学工程]
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职称材料
题名
离子交换树脂制备超纯水工艺的影响因素研究
被引量：
7
5
作者
于志勇
宋小宁
方振鳌
许金刚
骆奇君
机构
国网浙江省电力公司电力科学研究院
出处
《化学与粘合》
CAS
2014年第4期302-305,共4页
文摘
介绍了电子级超纯水精制混床离子交换树脂的特点，以出水电导率和总有机碳为考察指标，研究了进水质量、运行流量和树脂粒度均匀性等主要因素对电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水质量的影响。研究结果表明，出水质量随着进水质量的提高而提高，运行流量控制在50～70BV／h时最佳，采用粒度更均匀的树脂出水质量和周期制水量更好。在一定的运行条件下，电子级超纯水精制混床离子交换树脂完全能满足电子行业对出水水质的要求。
关键词
超纯水
电子
级
超纯水
精制混床离子交换树脂
电导率
总有机碳
Keywords
Ultra pure water
polishing mixed bed ion exchange resin for electron-level ultra pure water
conductivity
TOC
分类号
TQ425.233 [化学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
张羽彤
刘文杰
《化工设计通讯》
CAS
2024
0
下载PDF
职称材料
2
电子级超纯水制备的现存问题及解决思路
张羽彤
刘文杰
《化工设计通讯》
CAS
2024
0
下载PDF
职称材料
3
Ⅷ族过渡金属对电子级超纯水H_(2)O_(2)强化去除特性与研究进展
郑伟
王文龙
倪卫斌
温鑫
杨光明
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
4
电子级超纯水精制混床离子交换树脂生产工艺分析
孙惠国
《净水技术》
CAS
2007
2
下载PDF
职称材料
5
离子交换树脂制备超纯水工艺的影响因素研究
于志勇
宋小宁
方振鳌
许金刚
骆奇君
《化学与粘合》
CAS
2014
7
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