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DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题 被引量：1
1
作者 武丰煜 唐文剑 +1 位作者 张福安 安秉谦 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第2期48-53,共6页
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。
关键词 电子束曝光 电子光学柱 试验
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用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
2
作者 陶友松 付世民 +2 位作者 李达耀 刘志雄 西门纪业 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期310-313,共4页
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微... 采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。 展开更多
关键词 电子束曝光系统 电子束曝光机 纳米卫星 电子光学柱 微型机械 结构设计 离子束 工件台 电气系统 光子束
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电子束曝光机的加工精度 被引量：1
3
作者 李士章 冯友彬 余越 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期239-239,共1页
电子束曝光机的加工精度李士章，冯友彬，余越（哈尔滨工业大学电子束技术研究室）０引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国ＩＢＭ公司就用ＳＡ直径的电子束加工出８０Ａ线宽、１００人厚的金属结构... 电子束曝光机的加工精度李士章，冯友彬，余越（哈尔滨工业大学电子束技术研究室）０引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国ＩＢＭ公司就用ＳＡ直径的电子束加工出８０Ａ线宽、１００人厚的金属结构，其本身就是超导量子干涉器件。因此... 展开更多
关键词 电子束曝光机 加工精度 套准精度 超导量子干涉器件 电子束技术 误差因素 哈尔滨工业大学 误差的影响 电子光学柱 超微细加工
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