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基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜
被引量:
3
1
作者
李霞
王超
+1 位作者
余辉
江晓清
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期259-264,共6页
针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度...
针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度和消光比。实验结果表明,该反射腔在波长1549nm处反射率可达90%,品质因素Q值为3×104,自由光谱范围(FSR)为9.6nm。通过对微环谐振腔进行热光调制,在0~40.5mW功率范围内实现了在FSR内的波长可调。
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关键词
光学器件
反射腔
热
调
特性
微环谐振腔
原文传递
题名
基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜
被引量:
3
1
作者
李霞
王超
余辉
江晓清
机构
浙江大学信息与电子工程学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期259-264,共6页
基金
国家973计划(2013CB632105)
国家自然科学基金(61177055
+1 种基金
61307074)
浙江省杰出青年基金(LR15F050002)
文摘
针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度和消光比。实验结果表明,该反射腔在波长1549nm处反射率可达90%,品质因素Q值为3×104,自由光谱范围(FSR)为9.6nm。通过对微环谐振腔进行热光调制,在0~40.5mW功率范围内实现了在FSR内的波长可调。
关键词
光学器件
反射腔
热
调
特性
微环谐振腔
Keywords
optical devices
reflection cavity
thermal tuning property
microring resonator
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜
李霞
王超
余辉
江晓清
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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