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基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜 被引量:3
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作者 李霞 王超 +1 位作者 余辉 江晓清 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期259-264,共6页
针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度... 针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度和消光比。实验结果表明,该反射腔在波长1549nm处反射率可达90%,品质因素Q值为3×104,自由光谱范围(FSR)为9.6nm。通过对微环谐振腔进行热光调制,在0~40.5mW功率范围内实现了在FSR内的波长可调。 展开更多
关键词 光学器件 反射腔 特性 微环谐振腔
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