100 kHz重复频率锡液滴靶研究 被引量：2

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作者 孙海轶 王关德 +14 位作者 李学红 彭凯伦 邹家杰 彭宇杰 王成 冷雨欣 徐静浩 范李立 袁丰华 李中梁 步扬 王天泽 张子怡 新刚 林楠 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第23期178-183,共6页

锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展... 锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40μm,间距约为230μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。 展开更多

关键词 极紫外 光刻光源 液滴发生器 锡液滴

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国际计量前沿资讯

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《中国计量》 2023年第11期51-53,共3页

NIST发布《极紫外(EUV)光刻分析报告》近日,美国国家标准与技术研究院(NIST)召开了交叉工作组会议,并发布了《极紫外光刻(EUVL)工作组会议报告:现状、需求和前进道路》。会议集中讨论了EUVL的研究、开发和制造等方面的关键技术问题和所... NIST发布《极紫外(EUV)光刻分析报告》近日,美国国家标准与技术研究院(NIST)召开了交叉工作组会议,并发布了《极紫外光刻(EUVL)工作组会议报告:现状、需求和前进道路》。会议集中讨论了EUVL的研究、开发和制造等方面的关键技术问题和所需的计量学进展。报告简要总结了EUVL的五个技术主题(液滴发生器、EUV产生的辐射计量学、等离子体物理和建模、EUV组件的表征、EUV光分析工具),并对行业发展提出了建议,同时总结了调查结果和后续工作的建议。 展开更多

关键词 极紫外光刻 等离子体物理 工作组会议 计量学 分析报告 液滴发生器 EUVL

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液滴发生器均匀液滴生成过程的动态特性 被引量：3

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作者 徐云飞 陈鹏飞 +2 位作者 范立华 洪流 杨伟东 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1049-1055,共7页

为了提高液滴发生器生成均匀液滴的稳定性,研究了液滴生成过程的动态特性。在传统射流表面波不稳定性理论的基础上,考虑液滴发生器动态特性的影响,建立了组合动力学模型,确定了传递函数与传递矩阵,并就Re数与We数等对射流表面波增长率... 为了提高液滴发生器生成均匀液滴的稳定性,研究了液滴生成过程的动态特性。在传统射流表面波不稳定性理论的基础上,考虑液滴发生器动态特性的影响,建立了组合动力学模型,确定了传递函数与传递矩阵,并就Re数与We数等对射流表面波增长率的影响以及喷嘴长径比对液滴生成过程动态特性的影响规律进行了分析。采用丙二醇作为液体工质进行了计算与试验校验,结果表明当生成的液滴速度大于19 m/s时,组合动力学模型计算得到的最优无量纲波数较射流表面波不稳定性模型结果偏差超过6%;而对于液滴速度30 m/s设计工况,两种模型计算结果偏差近10%,此时液滴发生器动态特性的影响不能忽略。 展开更多

关键词 液滴发生器 动态特性 传递矩阵 航天器热控

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液滴发生器工作过程的动力学特性 被引量：2

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作者 徐云飞 陈鹏飞 +3 位作者 孙策 洪流 杨岸龙 汪广旭 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期1343-1351,共9页

为了研究喷孔位置对液滴发生器均匀液滴生成稳定性的影响,发展了液滴发生器工作过程的动力学特性计算模型,给出了基于声学理论的集液腔压力响应空间分布函数。考虑到部分小孔径、大长径比直流喷嘴的工作特点,在传统集中参数模型的基础上... 为了研究喷孔位置对液滴发生器均匀液滴生成稳定性的影响,发展了液滴发生器工作过程的动力学特性计算模型,给出了基于声学理论的集液腔压力响应空间分布函数。考虑到部分小孔径、大长径比直流喷嘴的工作特点,在传统集中参数模型的基础上,建立了分布参数模型。随后,分析了Rayleigh模式下射流表面波色散关系的影响因素。结果表明,在特定的激励频率区间内,喷注面会产生近似圆环形状的波节结构,并随着频率的改变沿径向移动,因此液滴发生器的喷孔位置设计应当考虑喷注面的压力分布特性。与集中参数模型类似,喷嘴分布参数模型计算出的脉动流量也是随着激励频率的提高而减小,但滞后相位角保持约90°不变。分布参数与集中参数模型的适用界限要根据射流表面波的色散关系以及喷嘴长径比共同确定。 展开更多

关键词 液滴发生器 压力分布特性 分布参数模型 动态特性

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基于单液滴实验的闪沸喷雾二次破碎机理研究 被引量：1

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作者 李世琰 张玉银 齐文元 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2485-2490,共6页

为了深入研究闪急沸腾喷雾二次破碎即大尺度液滴的破碎机理,本课题以甲醇和乙醇两种燃料为研究对象,利用特殊设计的过热液滴发生器,通过显微阴影成像技术捕捉并分析处于闪沸状态过热液滴的宏观形态、内部空隙率及其破碎特性,研究表明:... 为了深入研究闪急沸腾喷雾二次破碎即大尺度液滴的破碎机理,本课题以甲醇和乙醇两种燃料为研究对象,利用特殊设计的过热液滴发生器,通过显微阴影成像技术捕捉并分析处于闪沸状态过热液滴的宏观形态、内部空隙率及其破碎特性,研究表明:甲醇及乙醇两种燃料的过热液滴形态主要受液滴温度和过热度影响,而当过热度增加时,液滴内空隙率逐渐增加,从而显著降低了液滴的表面张力。此外,当过热度达到250C时,过热液滴内部空隙率超过50%从而发生剧烈破碎,伴随产生大量小尺度液滴,标志着闪沸喷雾二次破碎模式由传统的机械破碎模式向热力学破碎模式的转变。同时结果表明对于两种实验燃料,过热液滴破碎的临界过热度及对应的空隙率数值基本不变。 展开更多

关键词 闪急沸腾 二次破碎 雾化 液滴发生器 过热液滴

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单分散液滴流生成的实验研究

6

作者 于磊 仇性启 李大树 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期135-137,139,共4页

基于惯性力破碎液柱,设计出一种简易均匀单分散液滴流发生器。利用该发生器研究了不同给液高度、不同喷嘴直径等条件下的液滴生成特性。通过高速相机对生成液滴进行记录,辅以配套的图像处理软件,获取液滴的相关参数,发现单分散液滴的液... 基于惯性力破碎液柱,设计出一种简易均匀单分散液滴流发生器。利用该发生器研究了不同给液高度、不同喷嘴直径等条件下的液滴生成特性。通过高速相机对生成液滴进行记录,辅以配套的图像处理软件,获取液滴的相关参数,发现单分散液滴的液滴间距随相对高度的变化呈现峰值变化规律,同时生成液滴的直径随喷嘴的外径变化而改变,而给液高度的变化对液滴的生成直径没有影响。 展开更多

关键词 液滴蒸发 单分散液滴 液滴发生器 高速相机

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一种硅油均匀液滴喷射过程的数值模拟与实验研究

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作者 朱锦新 柴宝华 +1 位作者 薛松龄 王泽鸣 《科技视界》 2021年第10期7-12,共6页

针对液滴发生器的设计问题,使用FLUENT在实验基础上建立了均匀液滴喷射的计算模型。利用数值模拟方法,研究了大气条件下施加不同频率正弦振动时DC704(一种硅油)单射流碎裂形成的液滴形态,并与理论计算结果及实验结果进行了对比。最终得... 针对液滴发生器的设计问题,使用FLUENT在实验基础上建立了均匀液滴喷射的计算模型。利用数值模拟方法,研究了大气条件下施加不同频率正弦振动时DC704(一种硅油)单射流碎裂形成的液滴形态,并与理论计算结果及实验结果进行了对比。最终得到了不同频率扰动下射流破碎的图像,针对液滴发生器的设计问题,使用FLUENT在实验基础上建立了均匀液滴喷射的计算模型。初步探究了该种硅油生成均匀液滴的频率范围,模拟结果与理论及实验结果符合较好,说明模拟方案可行,为相关实验提供了理论参照,可用来替代部分实验,降低成本。 展开更多

关键词 液滴发生器 射流破碎 数值模拟 液滴形态

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真空环境中压电激励对射流破碎特性的影响

8

作者 陈鹏飞 严小平 +2 位作者 孙策 洪流 夏益志 《火箭推进》 CAS 2020年第4期46-53,共8页

针对真空环境中压电激励液滴生成技术,采用实验方法研究了压电激励波形、频率和位移等参数对射流破碎特性的影响规律。实验结果表明,对0.5 mm的射流在理论最优频率下施加振幅3μm的压电激励作用后,射流破碎距离缩短至90 mm左右;相对于... 针对真空环境中压电激励液滴生成技术,采用实验方法研究了压电激励波形、频率和位移等参数对射流破碎特性的影响规律。实验结果表明,对0.5 mm的射流在理论最优频率下施加振幅3μm的压电激励作用后,射流破碎距离缩短至90 mm左右;相对于正弦波与三角波,方波激励获得的射流破碎距离最短;在最优频率附近,随着激励频率增大,液滴粒径减小,射流破碎长度先减小后增大;随着压电装置位移幅值增大,射流破碎长度略有减小。结果表明:在压电作用下,激励频率对射流特性影响较大,并且射流最短破碎距离对应的激励频率大于理论最优频率;激励波形和位移振幅等参数对射流破碎特性的影响相对较小。 展开更多

关键词 液滴发生器 真空环境 压电激励 实验研究 射流破碎

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海藻酸钙凝胶微球粒径的理论计算与实验 被引量：4

9

作者 陈益清 孙多先 +1 位作者 苏晶 杨军 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期481-484,共4页

通过静电液滴发生器制备海藻酸钙凝胶微球 ,通过理论推导得到了微球粒径的计算公式 .理论计算的结果表明 ,凝胶微球粒径的大小取决于静电压、电极距离、针头内径大小、注射器流速、海藻酸钠粘度和表面张力以及凝胶化体积收缩系数 .

关键词 海藻酸钙凝胶微球 静电液滴发生器 粒径 理论计算 药物释放微球

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压电式共振腔均匀液滴发生器的设计与研制 被引量：5

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作者 周守荣 黄建群 《四川联合大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第2期65-67,共3页

本文设计建立了一台共振胶结构的均匀液滴发生器，发生器的共振频率约１１ＫＨｚ，射流小孔直径可在９０微米到１５０微米范围内调整，产生的均匀液简直径可从１００微米调整至２００微米。

关键词 核聚变 均匀液滴发生器 共振腔 空心玻璃微球

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小角弹性光散射粒径测量技术与准确性验证 被引量：7

11

作者 孙晗 Grazia Lamanna Bernhard Weigand 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期192-196,共5页

改变了用中心有孔的环形光电元件接收前向散射光的传统做法,选择采用高灵敏度、低噪声、高分辨率带冷却的CCD采集散射光。采用光导纤维使透射光导出光轴,从CCD采集到的图像得到光强随散射角变化的分布曲线,用米氏散射程序反算出粒径分布... 改变了用中心有孔的环形光电元件接收前向散射光的传统做法,选择采用高灵敏度、低噪声、高分辨率带冷却的CCD采集散射光。采用光导纤维使透射光导出光轴,从CCD采集到的图像得到光强随散射角变化的分布曲线,用米氏散射程序反算出粒径分布;采用CCD为接收设备提高了测量系统的灵敏度和角度分辨率,使测量稀薄液雾或悬浊液的粒径分布成为可能。尽管激光散射粒径测量方法从测量原理上看更加准确,但此测量技术不是利用颗粒的放大成像确定粒径,不直观,通常需要验证激光粒径测量结果的准确性,常采用经其他光学方法测量过的标准粒子验证。提出了一种非光学的准确性验证方法,即利用单分散液滴串发生器产生的大小可控的等直径、等间距液滴串来验证小角弹性光散射粒径测量系统的准确性。 展开更多

关键词 物理光学 小角弹性光散射 单分散液滴发生器 粒径

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压电式高温液滴喷射元件研制 被引量：1

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作者 邹凯 张文斌 +8 位作者 关胜 孙海轶 彭凯伦 邹家杰 李学红 王成 冷雨欣 梁瑞虹 周志勇 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期987-988,共2页

极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐... 极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备,以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术,成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台,基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz,直径~100μm的高温锡液滴靶的稳定输出。 展开更多

关键词 极紫外光刻 微细压电陶瓷管 高温液滴发生器 高温压电陶瓷

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单分散液滴发生器(MDDG)结合静电自组装制备益生菌微胶囊 被引量：2

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作者 罗丹阳 韩凯宁 杨晓泉 《现代食品科技》 EI CAS 北大核心 2020年第12期227-233,251,共8页

本研究利用单分散液滴发生器(MDDG),以海藻酸钙凝胶(-)为基质,壳聚糖(+)和阿拉伯胶(-)为涂层原料,利用静电引导的逐层自组装法制备多层益生菌微胶囊。研究结果表明,多层包埋的微胶囊具有更高的机械强度,多层益生菌微胶囊在乳酸细菌培养... 本研究利用单分散液滴发生器(MDDG),以海藻酸钙凝胶(-)为基质,壳聚糖(+)和阿拉伯胶(-)为涂层原料,利用静电引导的逐层自组装法制备多层益生菌微胶囊。研究结果表明,多层包埋的微胶囊具有更高的机械强度,多层益生菌微胶囊在乳酸细菌培养基(MRS)中培养9 h后依然维持完整的球形结构,包载的益生菌数量也提高了2.06 log cfu/g。此外,多层包埋还延长了微胶囊在胃肠液中的崩解时间,单层海藻酸钙微胶囊在模拟肠液中快速崩解,消化1 h时益生菌的释放量已达到8.23 log cfu/g。壳聚糖,壳聚糖-阿拉伯胶涂层的益生菌微胶囊在消化3 h后才达到相应对数值,分别为8.42 log cfu/g和8.33 log cfu/g。此外,相比于单层益生菌微胶囊,多层益生菌微胶囊在4℃和25℃下均表现出更高的贮藏稳定性,在4℃下贮藏12 d后,海藻酸钙-壳聚糖-阿拉伯胶三层胶囊内的活菌数仅由8.90 log cfu/g下降到8.81 log cfu/g。实验表明,MDDG结合静电引导的逐层自组装是高效制备均匀稳定的多层益生菌微胶囊,实现益生菌肠道输送的有效手段。 展开更多

关键词 单分散液滴发生器(MDDG) 静电自组装 益生菌 微胶囊 输送

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