摘要
NIST发布《极紫外(EUV)光刻分析报告》近日,美国国家标准与技术研究院(NIST)召开了交叉工作组会议,并发布了《极紫外光刻(EUVL)工作组会议报告:现状、需求和前进道路》。会议集中讨论了EUVL的研究、开发和制造等方面的关键技术问题和所需的计量学进展。报告简要总结了EUVL的五个技术主题(液滴发生器、EUV产生的辐射计量学、等离子体物理和建模、EUV组件的表征、EUV光分析工具),并对行业发展提出了建议,同时总结了调查结果和后续工作的建议。
出处
《中国计量》
2023年第11期51-53,共3页
China Metrology
