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水中脉冲放电活性粒子的研究 被引量：9
1
作者 叶齐政 李凌云 +1 位作者 张家聪 李劲 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第11期163-167,共5页
通过发射光谱和化学方法检测蒸馏水中脉冲放电产生的活性粒子,研究了氧气流量造成的放电形式变化(流注和火花放电),活性粒子(包括羟基、激发态氢原子、氧原子和过氧化氢)变化。实验表明放电形式对各种活性粒子的产率有明显的影响,而气... 通过发射光谱和化学方法检测蒸馏水中脉冲放电产生的活性粒子,研究了氧气流量造成的放电形式变化(流注和火花放电),活性粒子(包括羟基、激发态氢原子、氧原子和过氧化氢)变化。实验表明放电形式对各种活性粒子的产率有明显的影响,而气体流量的大小直接决定放电形式的转变,其中氢原子发射光谱强度的变化可以直接表示这种转变,这种转变也决定了OH和H发射光谱强度的差异。 展开更多
关键词 水中脉冲放电 活性粒子 放电形式 光谱强度 化学方法 发射光谱 火花放电 氧气流量 过氧化氢 气体流量 原子发射 氢原子 激发态 氧原子 流注
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经鼻高流量湿化氧疗在呼吸衰竭患者拔管后应用进展 被引量：13
2
作者 方国强 徐思成 田雅洁 《临床肺科杂志》 2020年第8期1270-1272,共3页
呼吸支持是呼吸衰竭的主要治疗方法之一,目前呼吸支持主要包括:鼻导管吸氧、面罩吸氧、无创正压通气等,但均存在一些弊端,主要包括:加温、加湿不足、氧气流量不稳定、氧气浓度不足、压疮、呼吸机相关性肺炎等。近年来,HFNC(经鼻高流量... 呼吸支持是呼吸衰竭的主要治疗方法之一,目前呼吸支持主要包括:鼻导管吸氧、面罩吸氧、无创正压通气等,但均存在一些弊端,主要包括:加温、加湿不足、氧气流量不稳定、氧气浓度不足、压疮、呼吸机相关性肺炎等。近年来,HFNC(经鼻高流量湿化氧疗)作为一种新型的氧疗方法,因其良好的加温加湿功能,稳定的吸氧浓度和正压通气模式下的氧疗法相似而广泛应用于呼吸支持。它最早被应用于小儿呼吸衰竭,目前已逐渐应用于各个领域的呼吸支持中,并得到了良好的疗效。 展开更多
关键词 呼吸机相关性肺炎 呼吸支持 吸氧浓度 小儿呼吸衰竭 无创正压通气 压疮 氧疗法 氧气流量
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大型转炉双角度氧枪喷头高供氧强度炼钢 被引量：12
3
作者 蒋晓放 杨文远 +3 位作者 吴亚明 王明林 李洪涛 胡砚斌 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期62-73,共12页
为了把宝钢炼钢厂300t转炉的氧流量由60000提高到69000m^(3)/h,设计了6孔双角度氧枪喷头。根据第一个双角度喷头的试验结果,结合实验室内进行的氧枪喷头射流流场测定、射流与熔池作用的水模研究,对喷头设计进行了改进。为制定正确的供... 为了把宝钢炼钢厂300t转炉的氧流量由60000提高到69000m^(3)/h,设计了6孔双角度氧枪喷头。根据第一个双角度喷头的试验结果,结合实验室内进行的氧枪喷头射流流场测定、射流与熔池作用的水模研究,对喷头设计进行了改进。为制定正确的供氧制度和喷头设计,对宝钢一炼钢的管道压力损失进行了测定。经过优化的3号6孔双角度喷头的主要参数为,氧流出口马赫数Ma≥2.1,小角度喷孔的氧流量不低于总供氧流量的57%,大角度喷孔夹角不小于13°,小角度喷孔夹角为10°左右。利用3号6孔喷头炼钢效果为,氧流量为69000m^(3)/h,吹氧时间平均缩短2.0min/炉,脱磷率平均为87.5%,氧枪喷头寿命平均为190次。通过这次研究工作掌握了大型转炉高供氧强度3.833m^(3)/(t·min)吹炼的双角度6孔喷头设计制作和吹炼操作技术。 展开更多
关键词 转炉炼钢 供氧强度 氧气流量 氧枪喷头 冶金效果
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氧气流量对煤物理吸附氧量的实验研究 被引量：10
4
作者 张树川 戴广龙 蔡正委 《矿业安全与环保》 北大核心 2010年第1期10-11,23,共3页
分析了煤的自燃过程,利用ZRJ-1型煤自燃倾向性鉴定仪,对顾桥煤矿1115(1)工作面煤样在不同氧气流量下煤物理吸附氧进行了实验研究,得到在环境温度等条件相同的情况下煤物理吸附氧量的最佳氧气流量,从而确定出煤自燃倾向性鉴定实验的最适... 分析了煤的自燃过程,利用ZRJ-1型煤自燃倾向性鉴定仪,对顾桥煤矿1115(1)工作面煤样在不同氧气流量下煤物理吸附氧进行了实验研究,得到在环境温度等条件相同的情况下煤物理吸附氧量的最佳氧气流量,从而确定出煤自燃倾向性鉴定实验的最适合吸附氧气流量。 展开更多
关键词 煤炭自燃 氧气流量 物理吸附
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氧气流量对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响 被引量：7
5
作者 曹培江 林传强 +5 位作者 曾玉祥 柳文军 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期239-242,共4页
使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜。测试结果显示:在30～70sccm氧气流量范围内,氧气流量50sccm时制备的ZnO薄膜具有较好的结晶质量、较高的光学透过率(≥80%)、较高的氧含量(... 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜。测试结果显示:在30～70sccm氧气流量范围内,氧气流量50sccm时制备的ZnO薄膜具有较好的结晶质量、较高的光学透过率(≥80%)、较高的氧含量(～40.71%)、较快的生长速率(～252nm/h)和较好的发光特性:450～580nm附近发射峰最弱,同时～378nm附近的紫外发光峰最强,表明薄膜材料中含有较少的氧空位等缺陷。 展开更多
关键词 氧气流量 脉冲激光沉积 ZNO薄膜
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DBD等离子体处理对芳纶织物结构性能的影响 被引量：7
6
作者 刘志英 李发学 +1 位作者 俞建勇 郭颖 《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期434-438,455,共6页
为改善芳纶织物增强复合材料的界面黏结性能,采用常压氦-氧介质阻挡放电(DBD)等离子体处理对芳纶织物进行表面改性,研究氧气流量变化对织物等离子体处理效果的影响.通过测试处理前后芳纶织物的表面形貌、结构组成、润湿性能、粗糙度和... 为改善芳纶织物增强复合材料的界面黏结性能,采用常压氦-氧介质阻挡放电(DBD)等离子体处理对芳纶织物进行表面改性,研究氧气流量变化对织物等离子体处理效果的影响.通过测试处理前后芳纶织物的表面形貌、结构组成、润湿性能、粗糙度和拉伸性能来表征等离子体的改性效果.结果表明:DBD等离子体处理后,芳纶纤维的表面经过刻蚀,粗糙程度明显增加;纤维的化学组成没有显著变化,仅CO等极性基团有所增加;芳纶织物的润湿性显著改善;拉伸性能略有提高.综合考虑,氧气流量为10mL/min时处理效果较好. 展开更多
关键词 芳纶织物 介质阻挡放电 等离子体 氧气流量 表面改性
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等离子体抛光对表面粗糙度的影响 被引量：5
7
作者 刘卫国 田园 《西安工业大学学报》 CAS 2010年第2期108-111,116,共5页
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光.在新设计的等离子加工实验平台上进行了等离子体加工工艺实验,对氧气流量,放电功率大小,磁场大小几个参数对基片表面粗糙度的影响进行了... 为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光.在新设计的等离子加工实验平台上进行了等离子体加工工艺实验,对氧气流量,放电功率大小,磁场大小几个参数对基片表面粗糙度的影响进行了实验研究,且优化了工艺参数.结果表明增加氧气流量,合理控制功率和磁场强度都会使等离子体抛光基片表面粗糙度减小.当氧气流量为50 sccm,功率为80 W,磁场强度为17 mT时,粗糙度达到最小值0.9 nm. 展开更多
关键词 超光滑表面 等离子体抛光 表面粗糙度 氧气流量 等离子体功率 磁场强度
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氧气流量对射频磁控溅射制备Cu_2O薄膜性能的影响 被引量：6
8
作者 林龙 李斌斌 +2 位作者 鲁林峰 江丰 沈鸿烈 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1221-1226,共6页
通过磁控溅射方法在玻璃衬底上制备Cu2O薄膜,采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等研究了氧气流量对Cu2O薄膜性能的影响。结果表明:氧气流量为4.2 sccm时,薄膜为单相的Cu2O,具有较高的结晶质量... 通过磁控溅射方法在玻璃衬底上制备Cu2O薄膜,采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等研究了氧气流量对Cu2O薄膜性能的影响。结果表明:氧气流量为4.2 sccm时,薄膜为单相的Cu2O,具有较高的结晶质量和可见光透过率,光学带隙为2.29 eV,薄膜的导电类型是p型且空穴浓度为2×1016cm-3。通过XPS能谱分析Cu 2p和O 1s结合能,确定了薄膜中Cu以+1价存在。 展开更多
关键词 氧化亚铜 磁控溅射 电阻率 光透射率 氧气流量
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300T转炉氧气流量控制技术的分析
9
作者 王金河 王瑞华 +1 位作者 孙岩 张舰 《集成电路应用》 2024年第1期232-233,共2页
阐述在炼钢过程中对各种影响因素的控制方法,其中对氧气流量的控制最重要,从而达到炼钢工艺要求的范围,保证转炉炼钢过程安全,分析控制系统的计算模型。
关键词 控制技术 转炉 氧枪 氧气流量 斜坡函数
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微库仑法测定原油中总氯含量 被引量：6
10
作者 张革 李瑞丽 张东媛 《精细石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期56-60,共5页
微库仑法是目前国内外测定原油中的总氯含量主要的测定方法,但是测定结果受仪器的诸多因素影响。考察了国内常用的微库仑综合分析仪的操作参数对测定结果的影响。通过仪器参数的优化,得到了WK-2D型微库仑综合分析仪的最佳工作条件为,偏... 微库仑法是目前国内外测定原油中的总氯含量主要的测定方法,但是测定结果受仪器的诸多因素影响。考察了国内常用的微库仑综合分析仪的操作参数对测定结果的影响。通过仪器参数的优化,得到了WK-2D型微库仑综合分析仪的最佳工作条件为,偏压为275mV,积分电阻为1K,放大倍数为2 000,氧气流量为120mL/min,在此最佳工作条件下,3种浓度分别为10,30,50mg/L的氯化物标准物的转化率达到最佳值90%～100%,相对误差均小于5%,满足仪器使用要求。采用5种不同的原油对仪器进行标定,在最佳操作参数下测得的结果标准偏差SD<1mg/L,相对标准偏差RSD<1%,均呈现很好的重复性。 展开更多
关键词 微库仑法 偏压 积分电阻 放大倍数 氧气流量
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RF磁控溅射条件对ZnO薄膜结构的影响 被引量：4
11
作者 张源涛 殷宗友 +2 位作者 杨树人 马艳 杜国同 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第0Z2期327-331,共5页
采用RF磁控溅射法在Si（001）衬底上制备ZnO薄膜。研究发现了工作中溅射频率、氧气和氩气流量比对样品结构的影响。样品的XRD图谱显示了强的（002）ZnO衍射峰，表明ZnO薄膜为c轴高取向生长。比较不同条件下制备的ZnO薄膜，研究发现当氧... 采用RF磁控溅射法在Si（001）衬底上制备ZnO薄膜。研究发现了工作中溅射频率、氧气和氩气流量比对样品结构的影响。样品的XRD图谱显示了强的（002）ZnO衍射峰，表明ZnO薄膜为c轴高取向生长。比较不同条件下制备的ZnO薄膜，研究发现当氧气和氩气的流量比相同时，随着溅射功率的增加，样品的（002）衍射峰增强，半高全宽变小。而当溅射功率相同时，随着氧气和氩气的流量比增加，样品的（002）衍射峰也增强，半高全宽同样变小。此外，本文还分析了溅射工艺和薄膜晶体质量之间关系，发现在相同的功率条件下，溅射率低时晶粒尺寸更大且薄膜的结晶性更好。 展开更多
关键词 RF磁控溅射条件 ZNO薄膜 氧化锌薄膜 结构分析 溅射频率 氧气流量 氩气流量 XRD分析
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氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响 被引量：5
12
作者 丁宇 蒋百灵 +4 位作者 田亚萍 马二云 张晓静 曹智睿 赵志明 《西安理工大学学报》 CAS 北大核心 2011年第3期306-310,共5页
采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响。结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率... 采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响。结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率高但薄膜不导电;当氧气流量低于0.04×10-6 m3/s时沉积的薄膜呈现出金属性特征,薄膜导电不透明;只有在一个较窄的氧气流量范围内才能制备出光电性能均优的AZO薄膜。当氧气流量为0.06×10-6 m3/s时沉积的AZO薄膜具有较低的电阻率,为2.39×10-3Ω.cm,且薄膜在可见光区薄膜的平均透过率在90%以上。 展开更多
关键词 AZO薄膜 直流反应磁控溅射 氧气流量 光电性能
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高温水解-离子色谱法测定石油焦中氟、氯含量研究 被引量：5
13
作者 田发亮 金伟 +2 位作者 王霞 席华 段圣增 《煤质技术》 2017年第5期34-37,共4页
参照煤中氟、氯测定方法的样品预处理过程,采用离子色谱法测定石油焦中的氟、氯含量,并针对氧气流量、燃烧水解温度及水解时间的确定、离子色谱淋洗液浓度的选择、离子色谱分离时间的确定等实验条件对回收率的影响进行相应研究。研究表... 参照煤中氟、氯测定方法的样品预处理过程,采用离子色谱法测定石油焦中的氟、氯含量,并针对氧气流量、燃烧水解温度及水解时间的确定、离子色谱淋洗液浓度的选择、离子色谱分离时间的确定等实验条件对回收率的影响进行相应研究。研究表明:离子色谱法简便、快速、灵敏、准确,可用于石油焦中氟和氯的测定;生焦和煅后焦中的氟含量均很低,而生焦中氯含量一般在200μg/g以内,即生焦属低氯燃料,煅后焦中的氯含量和空白值接近。 展开更多
关键词 石油焦 高温水解 离子色谱法 氟 氯 样品预处理 氧气流量 淋洗液浓度 回收率
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救护飞机氧气系统设计技术研究 被引量：2
14
作者 刘仁志 吴海荣 《飞机设计》 2019年第2期41-44,共4页
根据直升机的状态和任务需求,研究需要加装的伤病员氧气系统总体需求、供氧量需求、氧气面罩的选择,并对伤病员氧气系统的设计和安装进行分析,使氧气系统的设计和安装满足主要战术任务性能指标。归纳总结了某型直升机伤病员氧气系统的... 根据直升机的状态和任务需求,研究需要加装的伤病员氧气系统总体需求、供氧量需求、氧气面罩的选择,并对伤病员氧气系统的设计和安装进行分析,使氧气系统的设计和安装满足主要战术任务性能指标。归纳总结了某型直升机伤病员氧气系统的快速选型的方法。 展开更多
关键词 伤病员氧气 氧气流量 供氧量 氧气瓶 氧气面罩
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用电量-重量法测定固体生物质燃料中碳氢的研究 被引量：4
15
作者 任祥军 金红 +2 位作者 戴昭斌 王剑 康宁 《煤质技术》 2017年第3期29-37,共9页
通过选取麦秸、棉秆、稻秆、竹粉、锯末、花生壳、稻壳、玉米秆、油菜秆和树皮等10种有代表性的固体生物质燃料样品,通过正交试验和不同实验室的协同试验,选取不同的试验条件,对电量-重量法测定固体生物质燃料中碳氢测定的精密度和准确... 通过选取麦秸、棉秆、稻秆、竹粉、锯末、花生壳、稻壳、玉米秆、油菜秆和树皮等10种有代表性的固体生物质燃料样品,通过正交试验和不同实验室的协同试验,选取不同的试验条件,对电量-重量法测定固体生物质燃料中碳氢测定的精密度和准确度进行了试验研究,并与现行国标GB/T 28734—2012测定结果进行比较。研究结果表明,选用80mL/min氧气流量、6min进样时间、0.065g试样质量、三氧化钨为催化剂等适宜的试验条件,采用电量-重量法可准确测得固体生物质燃料中稳定可靠的碳氢结果。 展开更多
关键词 电量-重量法 碳 氢 固体生物质燃料 正交试验 精密度 准确度 氧气流量 进样时间 试样质量 三氧化钨 均匀性检验
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生活垃圾与生物质共热解气化过程的模拟及优化
16
作者 黄秀辉 杨文凯 +1 位作者 黄玉 李泽秋 《建模与仿真》 2023年第3期1749-1759,共11页
基于Aspen Plus平台,从热平衡角度出发,结合Gibbs自由能最小化原理,模拟了生活垃圾与生物质共热解气化工艺。利用实验数据与模拟结果比较,证明了该模型可用于共气化特性预测。进一步进行了灵敏度分析,研究了不同操作条件对共气化特性的... 基于Aspen Plus平台,从热平衡角度出发,结合Gibbs自由能最小化原理,模拟了生活垃圾与生物质共热解气化工艺。利用实验数据与模拟结果比较,证明了该模型可用于共气化特性预测。进一步进行了灵敏度分析,研究了不同操作条件对共气化特性的影响,结果表明:生活垃圾占比减小,气体热值和干气产率降低,气化效率提高;气化温度在750℃以前对模拟结果影响很大;水蒸气流量在0.1 kg·h−1 时气化效率最高;氧气流量增加对模拟结果产生负面影响。通过总结各指标变化规律,得到了适宜的操作条件:原料混合比例取50:50,气化温度取750℃,水蒸气流量取0.1 kg·h−1 ,氧气流量取0.005 kg·h−1 。在该条件下运行模拟,优化了模拟结果:合成气中H2为54.43%,CO为33.23%,CO2为11.77%,CH4为0.57%,低位热值为10.27 MJ·Nm−3 ,干气产率为1.26 N m3 ·kg−1 ,气化效率为70.10%。 展开更多
关键词 气化效率 氧气流量 气化温度 气化工艺 共气化 生活垃圾 低位热值 热解气化
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氧气流量对电弧离子镀制备氧化铬薄膜结构及摩擦学性能的影响 被引量：4
17
作者 廖孟德 许文举 +3 位作者 吉利 刘晓红 孙初锋 李红轩 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期168-176,共9页
目的研究氧气流量对多弧离子镀制备的氧化铬薄膜结构、力学性能以及摩擦学性能的影响。方法采用多弧离子镀技术在不同氧气流量下(70、90、110、130、150 mL/min)在Inconel718高温合金表面制备了氧化铬薄膜。利用扫描电子显微镜、冷场发... 目的研究氧气流量对多弧离子镀制备的氧化铬薄膜结构、力学性能以及摩擦学性能的影响。方法采用多弧离子镀技术在不同氧气流量下(70、90、110、130、150 mL/min)在Inconel718高温合金表面制备了氧化铬薄膜。利用扫描电子显微镜、冷场发射扫描电镜分别分析薄膜的表面形貌与断面形貌。利用X射线衍射仪和Raman光谱仪对薄膜的物相组成及晶体结构进行分析;利用划痕仪、纳米压痕仪评价薄膜的力学性能。利用高温球盘摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能,并利用光学显微镜及三维表面轮廓仪观察磨痕的形貌并测量摩擦后的磨损体积。结果随着氧气流量的增加,薄膜的沉积速率先增大后减小,表面逐渐变得致密光滑,除110 mL/min氧气流量下的截面形貌是无序紧密堆积的纳米级晶体颗粒外,其他流量下制备的薄膜截面形貌均为柱状晶。薄膜的主要物相组成由Cr_2O_(2.4)逐渐转变为Cr_2O_3,且薄膜的晶化程度增加。薄膜与基底的粘结强度逐渐降低,薄膜的硬度和弹性模量先升高后降低。在110 mL/min氧气流量下沉积的氧化铬薄膜表现出较好的宽温域摩擦学性能,在室温下(25℃)的摩擦因数较高,约为0.49,高温下(400、600、800℃)的摩擦因数为0.27~0.30。其他氧气流量下制备的氧化铬薄膜的常温摩擦学性能均较差。结论氧气流量对沉积的薄膜的表面形貌、断面形貌、物相组成以及力学性能有很大的影响。110m L/min氧气流量下制备的氧化铬薄膜不仅具有较好的力学性能,而且表现出了较为优异的宽温域摩擦学性能。 展开更多
关键词 氧气流量 多弧离子镀 氧化铬 宽温域 摩擦学性能
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医用浮标式氧气吸入器“工作压力”的讨论 被引量：3
18
作者 刘麒麟 殷小蓉 +3 位作者 聂伟 田永明 黄琪杰 吴大勇 《生物医学工程与临床》 CAS 2013年第6期624-628,共5页
浮标式氧气吸人器（以下简称吸入器）是医疗卫生机构的基础给氧装置。40余年的临床应用中，由于其成本低廉、操作简便、输出氧气流量可调，深受临床医务人员好评．普遍应用于病人的急救给氧和湿化氧疗。
关键词 氧气吸入器 工作压力 医用 医疗卫生机构 临床医务人员 给氧装置 临床应用 氧气流量
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扩散气体流量对单晶硅太阳电池性能的影响 被引量：3
19
作者 倪玉凤 董鹏 +2 位作者 屈小勇 吴翔 代同光 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期422-424,共3页
以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压(V_(oc))、短路电流(I_(sc))、转换效率(η)等电性能参数的影响。通... 以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压(V_(oc))、短路电流(I_(sc))、转换效率(η)等电性能参数的影响。通过逐步改变小氮和氧气流量,找出小氮和氧气流量的最佳比值,优化了扩散工艺。实验证明,小氮流量在1 100m L/min,氧气流量在500 mL/min时,太阳电池的转化效率最高。 展开更多
关键词 小氮流量 氧气流量 方块电阻 少子寿命 转化效率
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氧氩流量比对溅射氧化钒薄膜结构和光学性能的影响 被引量：3
20
作者 杜姗 黄美东 +2 位作者 刘春伟 唐晓红 吕长东 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期24-27,共4页
采用射频反应磁控溅射方法制备氧化钒(VOx)薄膜,对样品的沉积速率、物相结构、表面形貌和可见光波段的透过率进行表征,研究了在沉积气压一定的情况下,氧氩流量比对氧化钒薄膜结构和光学性能的影响。结果表明,改变氧氩流量比可明显改变... 采用射频反应磁控溅射方法制备氧化钒(VOx)薄膜,对样品的沉积速率、物相结构、表面形貌和可见光波段的透过率进行表征,研究了在沉积气压一定的情况下,氧氩流量比对氧化钒薄膜结构和光学性能的影响。结果表明,改变氧氩流量比可明显改变薄膜结构,随着氧气比例的增加,沉积速率下降,薄膜表面出现了颗粒结构,颗粒尺寸具有增大的趋势,光透过率增大。 展开更多
关键词 氧化钒薄膜 氧气流量 氩气流量 反应磁控溅射
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