TiO_2薄膜氧敏特性研究 被引量：10

1

作者 姚红军 汪荣昌 +2 位作者 戎瑞芬 徐飞 金海岩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期761-764,共4页

金属氧化物（如ZrO2，TiO2等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器．传统的传感器大多采用体材料或厚膜材料，工作时需加高温．本文描述了TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分区不同而改变的氧... 金属氧化物（如ZrO2，TiO2等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器．传统的传感器大多采用体材料或厚膜材料，工作时需加高温．本文描述了TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分区不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性，讨论了其敏感机理． 展开更多

关键词 二氧化钛 氧敏传感器 半导体薄膜技术

下载PDF 职称材料

TiO_2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展 被引量：6

2

作者 潘海波 陈耐生 +2 位作者 林德娟 沈水发 黄金陵 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第1期101-106,共6页

综合介绍 TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和 TiO2材料的特性，比较了各 种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几 个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产... 综合介绍 TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和 TiO2材料的特性，比较了各 种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几 个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出 了几点建议。 展开更多

关键词 TiO2基氧化物 金红石相 氧敏传感器 半导体器件

原文传递

TiO_2薄膜氧敏元件的研究与发展 被引量：7

3

作者 田立强 潘国峰 +2 位作者 赵彦晓 王静 孙以材 《传感器世界》 2002年第7期7-10,共4页

综述了TiO2氧敏传感器的发展概况、氧敏机理,并对以不同方法制备的TiO2氧敏器件性能进行了比较,分析了如何提高氧传感器的性能,并对TiO2氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。

关键词 氧敏传感器 薄膜 制备方法 二氧化钛 氧敏材料

下载PDF 职称材料

TiO_2薄膜氧敏特性研究 被引量：6

4

作者 姚红军 汪荣昌 +2 位作者 戎瑞芬 徐飞 金海岩 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期50-53,共4页

金属氧化物（如ＺｒＯ２，ＴｉＯ２等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器。传统的传感器大多是体材料或厚膜材料，工作时需加高温。文中描述的是ＴｉＯ２薄膜材料与Ｐｔ薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压... 金属氧化物（如ＺｒＯ２，ＴｉＯ２等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器。传统的传感器大多是体材料或厚膜材料，工作时需加高温。文中描述的是ＴｉＯ２薄膜材料与Ｐｔ薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性。 展开更多

关键词 二氧化钛 氧敏传感器 肖特基 MOCVD 薄膜

下载PDF 职称材料

受主掺杂对钛酸锶氧敏传感器的影响 被引量：4

5

作者 梁崇 杨德安 +1 位作者 赵巍 徐廷献 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2004年第4期76-78,共3页

简单介绍了汽车用氧传感器,总结Mg2+,Fe3+,Al3+,Li+,Ag+,Mn2+,Cu2+,Ni2+等受主离子掺杂对钛酸锶 氧敏性能的影响。综合比较铁、镁掺杂钛酸锶效果较好。

关键词 受主掺杂 钛酸锶 氧敏传感器 尾气排放

下载PDF 职称材料

溶胶-凝胶方法制备薄膜型TiO_2氧敏传感器 被引量：2

6

作者 陈玉峰 李懋强 《中国建材科技》 1995年第3期19-23,3,共5页

用溶胶-凝胶方法制备出了薄膜型TiO_2氧敏传感器.研究了溶胶-凝胶过程中各工艺参数(溶胶浓度;水解程度;烧结温度等)对薄膜质量的影响,用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了观察,测定了薄膜型氧敏传感器的氧敏特性和响应时间,实验表明,随着... 用溶胶-凝胶方法制备出了薄膜型TiO_2氧敏传感器.研究了溶胶-凝胶过程中各工艺参数(溶胶浓度;水解程度;烧结温度等)对薄膜质量的影响,用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了观察,测定了薄膜型氧敏传感器的氧敏特性和响应时间,实验表明,随着温度的升高,传感器的响应时间缩短,且在同一温度下,从富氧态到缺氧态的响应时间比从缺氧态到富氧态的响应时间短. 展开更多

关键词 氧化钛 薄膜 溶胶 凝胶 氧敏传感器 汽车

下载PDF 职称材料

w^6＋掺杂TiO2纳米材料化学吸附与氧敏特性研究 被引量：1

7

作者 赖正全 潘海波 李世云 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A07期2415-2417,共3页

以TiCl3为钛源，采用溶胶-凝胶法制备W^6＋掺杂TiO2纳米粉体，经400℃低温烧结1h，即可得到以金红石相为主相的TiO2基氧敏材料。采用XRD、BET、TPD等手段对其进行表征、分析，结果表明W^6＋掺杂有利于形成以金红石相为主相的晶体结构，... 以TiCl3为钛源，采用溶胶-凝胶法制备W^6＋掺杂TiO2纳米粉体，经400℃低温烧结1h，即可得到以金红石相为主相的TiO2基氧敏材料。采用XRD、BET、TPD等手段对其进行表征、分析，结果表明W^6＋掺杂有利于形成以金红石相为主相的晶体结构，使样品的晶粒尺寸减小、比表面积增加，使氧敏特性提高，其中12％（摩尔分数）W^6＋／TiO2的氧气化学吸附量最大，敏感层表面对氧气的活性最高；在低工作条件（115℃）及1×10^-4氧气下，W^6＋掺杂TiO2的厚膜型气敏元件氧敏特性得以明显提高，且掺杂12％（摩尔分数）W^6＋灵敏度最佳（S=16．5）。 展开更多

关键词 TIO2 W^6+掺杂 氧敏传感器 气敏机理

下载PDF 职称材料

TiO_2薄膜氧敏特性研究

8

作者 姚红军 汪荣昌 +2 位作者 戎瑞芬 徐飞 金海岩 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第1期30-34,共5页

金属氧化物(如ZrO_2,TiO_2等)随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器.传统的传感器大多是体材料或厚膜材料。工作时需加高温。本文描述的是TiO_2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧... 金属氧化物(如ZrO_2,TiO_2等)随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器.传统的传感器大多是体材料或厚膜材料。工作时需加高温。本文描述的是TiO_2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象,测定了该肖特基二极管的氧敏特性,并讨论了它的敏感机理。 展开更多

关键词 氧敏传感器 肖特基 MOCVD 薄膜 二氧化钛

下载PDF 职称材料

CO对氧化锆氧传感器的电性能和结构的影响 被引量：1

9

作者 陈宗璋 李素芳 +1 位作者 王昌贵 张仲生 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1992年第6期71-76,88,共7页

本文用Lissajous图形法和DC电压降测阻法,分别测量了氧化锆氧传感器长时间处于700℃的CO气体中固体电解质的电导率和电极电导率的变化,实验结果表明CO气体使固体电解质的电导率和电极电导,率降低,但其变化在高温下具有可逆性.固体电解... 本文用Lissajous图形法和DC电压降测阻法,分别测量了氧化锆氧传感器长时间处于700℃的CO气体中固体电解质的电导率和电极电导率的变化,实验结果表明CO气体使固体电解质的电导率和电极电导,率降低,但其变化在高温下具有可逆性.固体电解质的导电活化能增大,电极电导率与温度的关系偏离Arrhenius方程.CO影响后传感器的内壁铂和内壁锆的物相发生了变化,本文研究了CO气体影响传感器的机理,指出CO与ZrO_2基体及其电极Pt发生了反应. 展开更多

关键词 氧化锆 氧敏传感器 一氧化碳

下载PDF 职称材料

一种新型的YSZ栅MOS氧传感器及其响应机理

10

作者 张之圣 刘志刚 +1 位作者 张维新 王文生 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期115-118,共4页

ＹＳＺ栅ＭＯＳ氧传感器是一种新型的氧敏器件，它是通过在场效应晶体管的绝缘栅上沉积一薄层ＹＳＺ制成，本文介绍这种传感器的响应机理，讨论ＹＳＺ固体电解质的晶体结构对电导率的影响，给出微观分析结果和对时间的迅速响应特性。

关键词 氧敏传感器 固体电解质 电导率

下载PDF 职称材料

机电

11

《中国高校科技》 1999年第Z1期22-29,共8页

一、项目介绍 氧传感器利用了氧化锆固体电解质材料能够导通氧离子并产生电动势的原理,电动势的大小是由氧化锆浓差决定的,电势值可由能斯特方程求出。 氧敏传感器可以直接测量环境气氧中氧分压或氧含量,可以用于汽车废气、锅炉电厂废... 一、项目介绍 氧传感器利用了氧化锆固体电解质材料能够导通氧离子并产生电动势的原理,电动势的大小是由氧化锆浓差决定的,电势值可由能斯特方程求出。 氧敏传感器可以直接测量环境气氧中氧分压或氧含量,可以用于汽车废气、锅炉电厂废气、可控气氛热处理等气氛中氧分压的监测与控制。 二、技术水平 我们研制的片状可控气氛热处理炉用氧敏传感器和TZ型氧敏传感器都已通过部级鉴定。 展开更多

关键词 氧敏传感器 冷弯型钢 软启动 传动装置 冷弯成形 回转夹具 液体粘性制动器 同步电机 氧传感器 计算机模拟

下载PDF 职称材料

SO_2对氧化锆氧传感器电性能的影响

12

作者 陈宗璋 肖晓瑶 张仲生 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期155-162,共8页

研究了氧化锆氧传感器在700℃和SO_2气氛中较长时间内电导率的变化情况。实验表明,其电解质总电导率和电极电导率增大,而且电极电导率与温度的关系不再符合Arrhenius公式。此外.还研究了氧化锆氧浓差电池的电动势受SO_2影响的情况,有SO_... 研究了氧化锆氧传感器在700℃和SO_2气氛中较长时间内电导率的变化情况。实验表明,其电解质总电导率和电极电导率增大,而且电极电导率与温度的关系不再符合Arrhenius公式。此外.还研究了氧化锆氧浓差电池的电动势受SO_2影响的情况,有SO_2存在时,氧浓差电池的电动势增大,但电动势与氧分压的关系不再符合Nernst公式。 展开更多

关键词 氧化锆 氧敏传感器 二氧化硫 氧浓差电池

下载PDF 职称材料

向您介绍高校科技成果

13

《现代制造》 1995年第5期30-31,共2页

仿金电镀新工艺该工艺采用低氰电镀液以获得铜—锌—锡三元金色镀层,镀液稳定,成分容易控制,工艺范围宽。该工艺所镀镀层外观光亮可达14～18K金色(可调节),能在金属及非金属材料上施镀。镀层经电化学或化学钝化处理并涂覆透明有机膜,可... 仿金电镀新工艺该工艺采用低氰电镀液以获得铜—锌—锡三元金色镀层,镀液稳定,成分容易控制,工艺范围宽。该工艺所镀镀层外观光亮可达14～18K金色(可调节),能在金属及非金属材料上施镀。镀层经电化学或化学钝化处理并涂覆透明有机膜,可经久不变色。该项目可广泛用于灯具、仪表、工艺品及证章等的高级表面装饰。 展开更多

关键词 高校科技成果 氧敏传感器 电镀液 非金属材料 电镀新工艺 金色镀层 工艺品 钝化处理 电化学 技术转让

下载PDF 职称材料

Cr掺杂ZnO纳米纤维的低温氧敏性能

14

作者 欧刚 贾秋阳 +2 位作者 刘巍 姚蕾 潘伟 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S1期29-32,共4页

采用静电纺丝法制备了Cr掺杂ZnO纳米纤维,通过DSC-TG、Raman和SEM等表征了纳米纤维的热学性质、物相和微观形貌,并测量了所制备纳米纤维的低温氧敏性能。研究了煅烧温度和Cr掺杂含量对纳米纤维低温氧敏性能的影响。结果表明:所制备的纳... 采用静电纺丝法制备了Cr掺杂ZnO纳米纤维,通过DSC-TG、Raman和SEM等表征了纳米纤维的热学性质、物相和微观形貌,并测量了所制备纳米纤维的低温氧敏性能。研究了煅烧温度和Cr掺杂含量对纳米纤维低温氧敏性能的影响。结果表明:所制备的纳米纤维直径均匀,表面光滑;在600℃煅烧的1%Cr掺杂含量的ZnO纳米纤维具有最佳的低温氧敏性能,并分析了各因素的影响及其可能的机理。 展开更多

关键词 ZNO 纳米纤维 氧敏传感器 电纺丝

原文传递

产品技术荟萃

15

《中国.城乡桥》 2001年第1期14-29,共16页

氧传感器及氧敏传感器性能测试仪 氧传感器利用了氧化锆固体电解质材料能够导通氧离子并产生电动势的原理,电动势的大小是由氧化锆浓差决定的,电势值可由能斯特方程求出。 氧敏传感器可以直接测量环境气氛中的氧分压或氧含量,可以用于... 氧传感器及氧敏传感器性能测试仪 氧传感器利用了氧化锆固体电解质材料能够导通氧离子并产生电动势的原理,电动势的大小是由氧化锆浓差决定的,电势值可由能斯特方程求出。 氧敏传感器可以直接测量环境气氛中的氧分压或氧含量,可以用于汽车废气、锅炉电厂废气。 展开更多

关键词 氧敏传感器 升华剂 产品技术 合作方式 电热膜 通信地址 牛绒 切粒 平方 发热剂

下载PDF 职称材料

机电

16

《中国高校科技》 1997年第8期3-9,共7页

气固分离及粉体处理技术编号:JD97—8—1 一、技术特征与用途可以提供的技术及用途有: 1、PV高效旋风分离器及其设计技术 (1)旋风分离器优化设计"PVOD"电算软件只要用户输入气量、含尘浓度及其颗料分布等基本参数。

关键词 汽车驾驶模拟器 复铜导线 多管旋风分离器 氧敏传感器 优化设计 气固分离 处理技术 高效旋风分离器 国内首创 经济效益

下载PDF 职称材料

烟道用ZrO_2氧敏传感器测氧的仪表化方程 被引量：2

17

作者 娄彦良 夏玉泉 《实用测试技术》 CAS 2000年第6期17-18,6,共3页

本文提出一个新的烟道氧敏传感器测氧的仪表化方程 ,并给出方程中两个重要参数的标定方法。实测结果表明 ,用该方程可实现恒温测氧 ,且快速准确、方便实用 ,测量误差不大于 0 .0 5%

关键词 烟道测氧 仪表化方程 ZrO2氧敏传感器

下载PDF 职称材料