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LCD-ITO膜层导致ESD研究及改善
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作者 黄琛 张幼莲 《光电技术应用》 2021年第4期51-54,共4页
ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象。文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究。通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产... ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象。文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究。通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产和电势差的原因,很容易出现静电放电现象、烧伤甚至烧断ITO走线。根据试验验证了靶材使用时间、温度和气氛工艺,结果发现,气氛工艺的调整是有效解决ESD问题的方法。通过气氛工艺的调整,LCD的ESD测试性能达到了目标要求,生产的ESD不良比例从18.9%下降到了0.002%以下,通过改善提高了产品品质,降低了生产成本,取得了很好的经济效益。 展开更多
关键词 ESD ITO烧伤 ITO表面形貌 气氛工艺
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国内外钢球生产工艺装备概况及发展趋势 被引量:2
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作者 白宇光 《工厂建设与设计》 1995年第3期5-7,15,共4页
介绍了国外轴承钢球生产的工艺装备水平,重点介绍了德国FAG轴承公司、GMN轴承公司钢球分厂的工艺路线、装备水平、工艺水平。介绍了我国轴承钢球生产的工艺装备现状,指出了与国外先进水平相比较的差距,并就我国轴承钢球发展的... 介绍了国外轴承钢球生产的工艺装备水平,重点介绍了德国FAG轴承公司、GMN轴承公司钢球分厂的工艺路线、装备水平、工艺水平。介绍了我国轴承钢球生产的工艺装备现状,指出了与国外先进水平相比较的差距,并就我国轴承钢球发展的趋势进行了评价。 展开更多
关键词 生产工艺 装备 轴承 钢球 热处理保护气氛淬火工艺 光球替代锉球软磨工艺 大循环精研工艺
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