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题名LCD正型光致抗蚀剂感光树脂的研制
被引量：2
- 1
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作者
喻小琦
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机构
广州化学试剂厂研究所
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出处
《广东化工》
CAS
2006年第6期58-59,共2页
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文摘
本文研究了液晶显示器件(LCD)正型光致抗蚀剂用感光树脂(PAC)所需接枝母体和2,1,5-重氮萘醌磺酰氯(NDQ)对正型光致抗蚀剂应用性能的影响。结果表明:不同的接枝母体,对正型光致抗蚀剂的分辨率、抗碱性、感光速度有一定影响;NDQ导入率的提高,导致PAC的抑溶效应增大;PAC与NDQ混合使用在特定条件下可以提高正型光致抗蚀剂的感光速度。
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关键词
正型光致抗蚀剂
感光树脂
液晶显示器件
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Keywords
positive photoresist
sensitive resin
LCD
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分类号
TQ572
[化学工程—精细化工]
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究
被引量：2
- 2
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作者
褚战星
程龙
王文君
王力元
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机构
北京师范大学化学学院
北京化学试剂研究所
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出处
《感光科学与光化学》
EI
CSCD
2006年第5期377-381,共5页
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基金
国家"十五""863"专项子课题(2002AA3Z1330-2)
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文摘
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.
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关键词
正型光致抗蚀剂
二乙烯基醚
丙烯海松酸
光产酸剂
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Keywords
positive photoresist
divinyl ether
acrylpimaric acid
photoacid generator
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分类号
TQ577
[化学工程—精细化工]
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题名一种新型分子玻璃光致抗蚀剂材料及其应用
被引量：1
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作者
徐娜
宋金卓
赵飞
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机构
吉林化工学院研究生处
长春市锻造制品中心生产物资处
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出处
《吉林化工学院学报》
CAS
2013年第7期11-14,共4页
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文摘
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,该酯缩醛化合物可以被光产酸剂产生的强酸很快分解,从而易溶于稀的碱溶液.初步测试了它们与光产酸剂组成正型光致抗蚀剂体系的成像性质,得到了分辨率为0.5μm的清晰的图像.
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关键词
分子玻璃体
正型光致抗蚀剂
酯缩醛化合物
光产酸剂
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Keywords
molecular glass
positive photoresist
ester acetal compound
photoacid generators
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分类号
TQ577
[化学工程—精细化工]
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