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强磁场下不同晶粒尺寸Fe薄膜生长模式演变及其对磁性能的影响 被引量:3
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作者 杜娇娇 李国建 +3 位作者 王强 马永会 王慧敏 李萌萌 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期799-806,共8页
采用强磁场下物理气相沉积的方法,通过提高蒸发源温度获得晶粒尺寸逐渐降低的纳米晶Fe薄膜,研究了强磁场对不同晶粒尺寸Fe薄膜生长和磁性能的影响.结果表明,当蒸发源温度为1440℃时,Fe薄膜的晶粒细小,强磁场使薄膜从层状生长变成了柱状... 采用强磁场下物理气相沉积的方法,通过提高蒸发源温度获得晶粒尺寸逐渐降低的纳米晶Fe薄膜,研究了强磁场对不同晶粒尺寸Fe薄膜生长和磁性能的影响.结果表明,当蒸发源温度为1440℃时,Fe薄膜的晶粒细小,强磁场使薄膜从层状生长变成了柱状生长,有效降低了薄膜缺陷.当蒸发源温度为1400和1350℃时,Fe薄膜的晶粒较粗大,强磁场不能改变其柱状生长方式,但是却提高了柱的宽度.强磁场提高了Fe薄膜的平均晶粒尺寸以及颗粒(由晶粒构成)尺寸、降低了薄膜表面粗糙度.随着晶粒尺寸的降低,强磁场提高Fe薄膜矫顽力、饱和磁化强度和剩磁比的能力增强. 展开更多
关键词 强磁场 Fe薄膜 纳米晶 柱状生长 磁性能
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BC_2N薄膜的柱状生长及生长机理
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作者 马锡英 贺德衍 陈光华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期2023-2027,共5页
应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分主要为BC2 N ,B ,C和N原子间互相结合成键 .扫描电镜观察到 ,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体 ,... 应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分主要为BC2 N ,B ,C和N原子间互相结合成键 .扫描电镜观察到 ,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体 ,并且发现这种生长方式与沉积参数密切相关 .最后从结合能方面讨论了柱状BC2 N的生长机理 . 展开更多
关键词 生长机理 BC2N薄膜 柱状生长 CVD法 热丝辅助等离子体化学气相沉积法 硼碳氮化合物
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氧化锌薄膜的生长条件对其结晶及光学特性的影响 被引量:2
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作者 金永军 杜云刚 李继军 《内蒙古工业大学学报(自然科学版)》 2009年第4期262-267,共6页
采用射频磁控溅射方法在硅(100)衬底上制备了ZnO薄膜,运用X射线衍射仪(XRD)分析了不同的生长条件和退火处理对ZnO薄膜结晶特性的影响.应用谢乐公式讨论了不同制备条件下晶粒直径.采用金相显微镜观察样品抛光后的横截面形貌来进一步验证... 采用射频磁控溅射方法在硅(100)衬底上制备了ZnO薄膜,运用X射线衍射仪(XRD)分析了不同的生长条件和退火处理对ZnO薄膜结晶特性的影响.应用谢乐公式讨论了不同制备条件下晶粒直径.采用金相显微镜观察样品抛光后的横截面形貌来进一步验证XRD的分析结果.研究结果表明在溅射功率为120W,衬底温度为500℃时可制备沿c轴取向生长且品质较好的ZnO薄膜.退火后,应用X射线衍射仪分析可知,晶粒直径可增至20 nm左右,但晶面取向有所变化.由布拉格方程讨论了退火处理对样品晶面间距的影响,以此分析了可能的薄膜应力类型的变化.经金像显微镜可观察到氧化锌的柱状生长.应用日本岛津RF-5301PC型紫外-可见分光光度计测试ZnO薄膜的光致发光谱(PL)测的激发波长为363 nm和463nm. 展开更多
关键词 磁控溅射 X射线衍射 柱状生长 光致发光
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磁控溅射ZrN薄膜的生长机理及光学性能 被引量:2
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作者 高洁 姚威振 +3 位作者 杨少延 魏洁 李成明 魏鸿源 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第5期831-837,844,共8页
利用直流反应磁控溅射法在Si衬底上沉积了高结晶质量的氮化锆(ZrN)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和光谱椭偏仪(SE)研究了沉积时间对ZrN薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响。结果表明:... 利用直流反应磁控溅射法在Si衬底上沉积了高结晶质量的氮化锆(ZrN)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和光谱椭偏仪(SE)研究了沉积时间对ZrN薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响。结果表明:所沉积薄膜均为NaCl结构的立方相ZrN,具有(111)面单一取向;沉积时间的增加提高了薄膜的结晶质量;ZrN薄膜的表面形貌、晶粒尺寸以及表面粗糙度随沉积时间发生变化,沉积45 min的薄膜表面出现致密的三角锥晶粒,且表面粗糙度最大,薄膜呈柱状生长。随后利用Extend Structure Zone Model解释了ZrN薄膜的生长机制,最后研究了ZrN薄膜的光反射特性,发现反射光谱与晶粒形状和表面粗糙度密切相关,表面具有三角锥状晶粒的薄膜,其反射谱在300~800 nm波长范围内存在振荡现象,相比于具有不规则晶粒形貌的薄膜其反射率明显下降。本文中研究的生长条件与晶体结构、微观形貌和光学性能之间的关系,可为器件中应用的ZrN薄膜最佳制备条件的优化提供重要的参考价值。 展开更多
关键词 氮化锆 反应磁控溅射 单一取向 表面形貌 柱状生长 光学性能
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Mo_2FeB_2基金属陶瓷的相变及其显微组织演变研究Ⅱ:组织演变 被引量:1
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作者 余海洲 刘文俊 +1 位作者 张明松 郑勇 《硬质合金》 CAS 北大核心 2011年第4期199-205,共7页
本文运用XRD和SEM等研究了不同烧结温度和保温时间下Mo2FeB2基金属陶瓷显微组织演变规律。结果表明:Mo2FeB2硬质相在固相烧结阶段生成,其颗粒形貌为等轴状。在液相烧结过程中随烧结温度的升高,粘结相团聚程度逐渐降低,组织逐渐均匀;同... 本文运用XRD和SEM等研究了不同烧结温度和保温时间下Mo2FeB2基金属陶瓷显微组织演变规律。结果表明:Mo2FeB2硬质相在固相烧结阶段生成,其颗粒形貌为等轴状。在液相烧结过程中随烧结温度的升高,粘结相团聚程度逐渐降低,组织逐渐均匀;同时硬质相颗粒柱状生长,粘结相中Mo元素固溶量增加。高温保温过程中,部分硬质相颗粒出现异常长大,异常长大的大颗粒总是伴随着颗粒合并。 展开更多
关键词 MO2FEB2基金属陶瓷 显微组织 柱状生长 异常长大
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钛酸钡/钛酸锶多层薄膜微观结构及其生长机制研究 被引量:1
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作者 何俊明 周艺 +5 位作者 丁莹 李骏驰 陈江华 刘明 马春蕊 陈充林 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第6期486-492,共7页
采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁(MgO)单晶的(001)晶面上制备出钛酸钡(BaTiO3)/钛酸锶(SrTiO3)多层薄膜。利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)以及高角环形暗场(HAADF)像对其微观结构进行了详细研究,并探讨了多层膜的生长机制。结果表明:(1... 采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁(MgO)单晶的(001)晶面上制备出钛酸钡(BaTiO3)/钛酸锶(SrTiO3)多层薄膜。利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)以及高角环形暗场(HAADF)像对其微观结构进行了详细研究,并探讨了多层膜的生长机制。结果表明:(1)在基体/薄膜界面附近存在周期性的失配位错,伯格斯矢量为a2<110>;(2)界面附近存在界面层(过渡层),层内可能存在局部畴域;(3)薄膜内存在位移矢量为12<110>的富Ti型和富Ba型两种层错;(4)薄膜生长过程中,由于弛豫产生的应变分布不均使得沉积原子倾向于在低应力处成核,最终多层膜显示柱状结构。 展开更多
关键词 多层薄膜 柱状生长 微观结构 高分辨透射电子显微镜
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ZrO_2溅射膜的柱状生长机制 被引量:3
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作者 夏风 钱晓良 +3 位作者 刘石明 杨欣 刘光葵 孙尧卿 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期443-446,共4页
气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 ... 气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 (玻璃 )基片上形成的柱状晶源自于在基片表面形成的具有 { 111}面织构的最初晶核 ;在较为粗糙 (多晶Al2 O3)基片表面上形成的柱状晶源自于〈111〉晶向与沉积物质流方向一致的晶核择优生长及随后对其它取向的小晶核的吞噬而形成的晶核群 .基片表面粗糙时 ,由于柱状晶核经过晶核筛选产生 ,柱状晶底部可能有等轴晶层 ;若温度较低 。 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 溅射 织构 柱状生长机制
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基于相场法模拟VAR强迫流场中柱状晶生长
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作者 周杨 朱红春 +3 位作者 李花兵 姜周华 何志禹 倪卓文 《特殊钢》 2024年第4期41-46,共6页
基于相场法建立了流-热-质全耦合模型,模拟了真空自耗电弧重熔(VAR)过程铸锭柱状晶在强制流场中的生长。对比柱状晶在有无流场条件下的生长特征解析熔体流动对柱状晶生长的影响机制。模拟结果表明:凝固前沿流场速度大小为45μm/s,方向... 基于相场法建立了流-热-质全耦合模型,模拟了真空自耗电弧重熔(VAR)过程铸锭柱状晶在强制流场中的生长。对比柱状晶在有无流场条件下的生长特征解析熔体流动对柱状晶生长的影响机制。模拟结果表明:凝固前沿流场速度大小为45μm/s,方向与枝晶生长方向垂直时,二次枝晶表现出“迎流”生长,枝晶干受冲刷作用向下游倾斜;相邻枝晶形成细小涡流,枝晶干上游侧溶质和热量随熔体带入下游侧,上游侧溶质和温度边界层厚度减小,由无流场时的51μm降至31.5μm,温度梯度大促进二次枝晶发展;下游侧边界层溶质和热量富集程度大,边界层厚度增至78μm,梯度减小明显抑制二次枝晶发展。下游溶质浓度高于无流场情况,枝晶生长缓慢增大微观偏析风险。 展开更多
关键词 真空自耗重熔 相场法 柱状生长 强制流场 溶质场 温度场
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铸造TiAl合金凝固组织的截面尺寸效应 被引量:3
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作者 胡海涛 张熹雯 +2 位作者 朱春雷 李胜 张继 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期751-758,共8页
采用数值计算和试验的方法,研究了直径30~50 mm Ti Al合金铸锭凝固组织的截面尺寸效应。结果表明:受径向散热和轴向散热竞争的影响,Ti Al合金铸锭的宏观组织存在竞争生长区、径向生长区和冒口影响区,随铸锭高径比增大,竞争生长区和冒口... 采用数值计算和试验的方法,研究了直径30~50 mm Ti Al合金铸锭凝固组织的截面尺寸效应。结果表明:受径向散热和轴向散热竞争的影响,Ti Al合金铸锭的宏观组织存在竞争生长区、径向生长区和冒口影响区,随铸锭高径比增大,竞争生长区和冒口影响区占比减小,径向生长区占比增大。在径向生长区内,对于同一Ti Al合金铸锭,随散热距离的增加,柱状晶宽度增大,但增大的幅度逐渐减小;对于不同直径的Ti Al合金铸锭,在相同散热距离处,较大直径铸锭的柱状晶宽度更宽,且不同直径铸锭柱状晶宽度的差值随径向散热距离的增加而增大。通过拟合径向温度梯度和轴向温度梯度与铸锭直径和轴向散热距离的关系,建立了柱状晶生长方向与铸锭直径和轴向散热距离的关系。通过拟合温度梯度和凝固速率与铸锭直径和径向散热距离的关系,并耦合柱状晶宽度与温度梯度和凝固速率的关系,建立了柱状晶宽度与铸锭直径和径向散热距离的关系。 展开更多
关键词 铸造TIAL合金 尺寸效应 柱状生长方向 柱状晶宽度
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